【技术实现步骤摘要】
振动器件、电子设备以及移动体
本专利技术涉及振动器件、电子设备以及移动体。
技术介绍
专利文献1记载的振动器件具有：箱状的基座；电路元件，其搭载于基座；角速度传感器元件，其搭载于电路元件；以及盖，其与基座接合，并且覆盖电路元件和角速度传感器元件。另外，角速度传感器元件具有：传感器元件主体；两个支承部，它们在两侧支承传感器元件主体；一对梁部，它们将一个支承部与传感器元件主体连接起来；以及一对梁部，它们将另一个支承部与传感器元件主体连接起来。并且，角速度传感器元件的一对支承部借助导电性的接合部件固定在电路元件的上表面。专利文献1：日本特开2016-85179号公报在这样的振动器件中，通常在将电路元件和角速度传感器元件搭载于基座的状态下向角速度传感器元件照射激光，将电极的一部分除去来调整质量，由此进行驱动频率的调整。但是，由于电路元件位于角速度传感器元件的正下方，因此透过了加速度传感器元件的激光有可能照射在电路元件上而损伤电路元件。另外，需要设置用于保护电路元件免受激光影响的保护膜等其他部件，成为导致装置结构复杂化...
【技术保护点】
1.一种振动器件，其特征在于，该振动器件具有：/n基座；/n电路元件，其配置于所述基座；/n振动元件，其在俯视观察时至少一部分与所述电路元件重叠配置；以及/n支承基板，其配置在所述电路元件与所述振动元件之间，对所述振动元件进行支承，/n所述振动元件具有频率调整部，该频率调整部是通过将所述振动元件的至少一部分除去来进行频率调整的，/n所述支承基板具有：/n基部，其对所述振动元件进行支承；/n支承部，其对所述基部进行支承；/n梁部，其将所述基部和所述支承部连接起来；以及/n具有遮光性的遮蔽部，其配置于所述梁部，在俯视观察时与所述频率调整部重叠。/n
【技术特征摘要】
20190308 JP 2019-0423211.一种振动器件，其特征在于，该振动器件具有：
基座；
电路元件，其配置于所述基座；
振动元件，其在俯视观察时至少一部分与所述电路元件重叠配置；以及
支承基板，其配置在所述电路元件与所述振动元件之间，对所述振动元件进行支承，
所述振动元件具有频率调整部，该频率调整部是通过将所述振动元件的至少一部分除去来进行频率调整的，
所述支承基板具有：
基部，其对所述振动元件进行支承；
支承部，其对所述基部进行支承；
梁部，其将所述基部和所述支承部连接起来；以及
具有遮光性的遮蔽部，其配置于所述梁部，在俯视观察时与所述频率调整部重叠。
2.根据权利要求1所述的振动器件，其特征在于，
所述振动元件具有振动基板和配置于所述振动基板的电极，
所述振动基板和所述支承基板分别由石英构成。
3.根据权利要求2所述的振动器件，其特征在于，
所述振动基板和所述支承基板彼此的晶轴方向一致。
4.根据权利要求1所述的振动器件，其特征在于，
在所述遮蔽部配置有金属膜。
5.根据权利要求4所述的振动器件，其特征在于，
所述振动器件具有布线，该布线配置于所述支承基板并与所述振动元件电连接，
所述金属膜的厚度比所述布线的厚度厚。
6.根据权利要求1所述的振动器件，其特征在于，
所述支承基板在所述支承部处与所述基座连接。
7.根据权利要求1所述的振动器件，其特征在于，
所述振动元件是检测物理量的物理量传感器元件。
8.一种振动器件，其特征在于，该振动器件具有：
基座；
电路元件，其配置于所述基座；
振动元件，其在俯视观察时至少一部分与所述电路元件重叠配置；以及
支承基板，其配置在所述电路元件与所述振动元件之间，对所述振动元件进行支承，
所述振动元件具有频率调整部，该频率调整部是通过将所述振动元件的至少一部分除去来进行频率调整，
所述支承基板具有：
基部，其对所述振动元件进行支承；
支承部，其对所述基部进行支承；
梁部，其将所述基部和所述支承部连接起来；以及
具有遮光性的遮蔽部，其配置于所述基部，在俯视观察时与所述频率调整部重叠。
9.根据权利要求8所述的振动器件，其特征在于，
所述振动元件具有振动基板和配置于所述振动基板的电极，
所述振动...
【专利技术属性】
技术研发人员：小仓诚一郎，西泽龙太，山口启一，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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