【技术实现步骤摘要】
一种激光Bar条芯片光电性能检测方法
本专利技术涉及一种激光Bar条芯片光电性能检测方法,属于激光半导体检测领域。
技术介绍
激光Bar条芯片的检测是激光芯片生产过程中的重要工艺。而目前的检测方法存在几个缺点:1、Bar条的上料不够智能,也不能连续,一般的操作是人工利用气动吸嘴或其他的工具将Bar条摆放到检测平台上检测,无法保证Bar条已经摆正,同时人工操作也有可能对Bar条上的芯片造成损伤。2.目前的检测方法人工将Bar条送至检测平台上,由于摆放位置不正确,因此一般需要对Bar条进行位置调整,但是调整位置的操作不方便,操作困难,其定位调整的方式有些是通过工人的经验和人眼识别移动Bar条,也有一些是通过额外增加定位机构进行定位,但是增加的定位机构效率较低,同时由于Bar条比较薄,该定位机构的安装非常难调试。并且该定位机构也占用了一定的设备的空间。3.由于Bar条上的芯片数量有多个,而Bar条的位置定位难度高,导致各个芯片的位置也不准确,要对每个芯片都进行性能检测时需要对每个芯片进行导电使其发光,而目前的检测装置是无法给位置不准确的芯片进行逐个导电,也就无法高效率的对Bar条上所有的芯片进行全检,尤其是对其光电性能的检测,目前的检测方法对其发光强度和发散角检测效率低。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是:提供一种激光Bar条芯片光电性能检测方法,该检测方法可以连续对Bar条盒内的所有Bar条上的所有芯片进行全检,检测效率更高。为解决上述技术问题,本专利技术的 ...
【技术保护点】
1.一种激光Bar条芯片光电性能检测方法,其特征在于:包括以下步骤:/nS1、将放置有多根Bar条的Bar条盒摆放在放置座的Bar条检测工位上;/nS2、利用Bar条检测相机对Bar条检测工位上的Bar条盒拍照确认Bar条盒内Bar条的摆放位置;/nS3、利用Bar条转移机构采用负压气吸的方式将Bar条盒中其中一根Bar条移送至处于上料工位的检测平台上;/nS4、对检测平台上的Bar条微调定位;/nS5、检测平台移动使Bar条上的第一个待检芯片处于芯片检测工位;/nS6、利用芯片位置检测装置对第一个待检芯片的外观和位置进行检测,根据位置检测结果微调检测平台;/nS7、利用供电装置给第一个待检芯片供电使其发光;/nS8、利用设置于芯片发光侧的光强检测装置对第一个待检芯片的发光强度进行检测;/nS9、光强检测装置检测完成后移动避让检测空间;/nS10、利用水平发散角检测装置和竖直发射角检测装置分别对第一个待检芯片的水平发散角和竖直发散角进行检测完成第一个待检芯片的光电性能检测;/nS11、供电装置与芯片分离停止供电;/nS12、重复步骤S5至S11将Bar条上的所有芯片均检测完成;/nS1 ...
【技术特征摘要】
1.一种激光Bar条芯片光电性能检测方法,其特征在于:包括以下步骤:
S1、将放置有多根Bar条的Bar条盒摆放在放置座的Bar条检测工位上;
S2、利用Bar条检测相机对Bar条检测工位上的Bar条盒拍照确认Bar条盒内Bar条的摆放位置;
S3、利用Bar条转移机构采用负压气吸的方式将Bar条盒中其中一根Bar条移送至处于上料工位的检测平台上;
S4、对检测平台上的Bar条微调定位;
S5、检测平台移动使Bar条上的第一个待检芯片处于芯片检测工位;
S6、利用芯片位置检测装置对第一个待检芯片的外观和位置进行检测,根据位置检测结果微调检测平台;
S7、利用供电装置给第一个待检芯片供电使其发光;
S8、利用设置于芯片发光侧的光强检测装置对第一个待检芯片的发光强度进行检测;
S9、光强检测装置检测完成后移动避让检测空间;
S10、利用水平发散角检测装置和竖直发射角检测装置分别对第一个待检芯片的水平发散角和竖直发散角进行检测完成第一个待检芯片的光电性能检测;
S11、供电装置与芯片分离停止供电;
S12、重复步骤S5至S11将Bar条上的所有芯片均检测完成;
S13、检测平台复位移动到上料工位,Bar条转移机构将检测完的芯片移送至Bar条盒内;
S14、重复步骤S3至步骤S13直至Bar条盒内所有Bar条的芯片均检测完成。
2.如权利要求1所述的一种激光Bar条芯片光电性能检测方法,其特征在于:所述步骤S3中Bar条转移机构负压气吸转移的具体方式为:定义X轴为与Bar条检测工位到上料工位之间的连线平行的坐标轴,定义Y轴为水平面上与X轴垂直的坐标轴,定义Z轴为垂直于X轴和Y轴所在平面的坐标轴;Bar条转移机构采用转移吸嘴实现负压吸附,转移吸嘴设置在转移支座上,其具体转移流程为:
S31、转移支座先在X轴和Y轴所组成的XY平面移动到bar条盒的上方;
S32、转移支座沿Z轴方向下降利用负压原理将Bar条盒中的一根Bar条吸取;
S33、转移支座沿Z轴上升并移动到上料工位后下降将Bar条放置在检测平台上。
3.如权利要求2所述的一种激光Bar条芯片光电性能检测方法,其特征在于:所述步骤S4中对检测平台上的Bar条微调定位的具体方式为:
在转移支座上固定一个定位刮板,所述定位刮板高于转移吸嘴的最低端,检测平台的一侧设置有方便转移吸嘴避让的避让斜面,该避让斜面与检测平台上表面相交的边缘线定义为定位边缘线:且该定位边缘线与X轴平行,所述微调定位的步骤为:
S41、经过步骤S33后,Bar条被放置在检测平台上,转移支座沿Y轴移动使转移吸嘴与避让...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵亮,涂洪森,王志刚,邹宇,
申请(专利权)人:哈工大机器人南昌智能制造研究院,
类型:发明
国别省市:江西;36
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