具有提高的信噪比和探测灵敏度的低聚物探针阵列及其制造方法技术

一种即使当采用的减小的设计规则时也具有提高的信噪比和希望的探测灵敏度的低聚物探针阵列，包括衬底、在衬底上或在衬底中形成的多个探针单元有源区，该多个探针单元有源区的每一个具有三维表面并与具有其自己序列的至少一个低聚物探针耦合、以及限定探针单元有源区并且没有与表面上的低聚物探针耦合的官能团的探针单元隔离区。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及一种低聚物探针阵列，更具体，涉及一种具有提高的信噪比(下面，称为“SNR”)和探测灵敏度的低聚物探针阵列及其制造方法。
技术介绍
低聚物探针阵列是已被广泛地用于基因表达谱、基因分型、诸如单个-核苷酸多态(SNP)的突变或多态的探测、蛋白质或缩氨酸分析、潜在药物筛选、新药物的研制和制备等的工具。当前可广泛地利用的低聚物探针阵列包括通过使用光(例如，UV)照射，激活衬底的预定区域，然后在光激活区中原地合成低聚物探针而制造的多个探针单元阵列。但是，当为低聚物探针的原地合成重复光刻工序时，可以引起掩模未对准，或可能从衍射光产生杂散光，由此导致激活衬底的某些不希望的区域，因此，在该不希望的区域中形成低聚物副产物。这种非特定的低聚物形成在用于具有低聚物探针的目标样品的杂化(hybridization)的数据分析中引起低SNR，这致使准确的数据分析变得困难。其间，因为基于低聚物探针阵列的分析从基因级向下转移到核苷酸(DNA的最小单元)级，探针单元的设计规则被减小超过几十μm至几μm。因此，对于数据分析的精确度的SNR的效果显著地增加。在当前可用的低聚核苷酸(“低聚物”)探针阵列中，为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低聚物探针阵列，包括：　　　　衬底；　　　　在衬底上或在衬底中形成的多个探针单元有源区，该多个探针单元有源区的每一个具有三维表面并与具有其自己序列的至少一个低聚物探针相耦合；以及　　　　限定探针单元有源区，且没有与表面上的低聚物探针相耦合的官能团的探针单元隔离区。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：夏政焕，池圣敏，金京善，金媛善，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]