下载具有提高的信噪比和探测灵敏度的低聚物探针阵列及其制造方法的技术资料

文档序号:2580438

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种即使当采用的减小的设计规则时也具有提高的信噪比和希望的探测灵敏度的低聚物探针阵列,包括衬底、在衬底上或在衬底中形成的多个探针单元有源区,该多个探针单元有源区的每一个具有三维表面并与具有其自己序列的至少一个低聚物探针耦合、以及限定探针单元...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。