一种导光板光刻设备制造技术

本发明专利技术公开了一种导光板光刻设备，包括底座、设置在所述底座上用于放置导光板的平台和用于光刻所述导光板的光刻机构，以及用于实现所述光刻机构相对于所述平台运动且运动时所述光刻机构用于光刻的光束始终与所述平台垂直的导向机构，所述导向机构分别连接所述光刻机构和所述平台，所述导向机构包括用于实现所述光刻机构沿第一方向运动的第一导向机构和用于实现所述光刻机构沿第二方向运动的第二导向机构。通过上述结构，使得光刻后网点形貌不会出现异常现象，极大地提高了产品的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种导光板光刻设备
本专利技术涉及导光板加工设备
，特别是涉及一种导光板光刻设备。
技术介绍
液晶显示器的广泛使用，也促使了导光板加工行业的兴起。目前市场上的产品例如手机、电脑、电视等包含显示器的电子产品的导光板都为小尺寸类型，而现有在制作大尺寸导光板时，如图1所示，激光出射场镜61在同一位置雕刻范围由小逐渐变大的情况下，会导致光束偏心，从而使光束与导光板安放平台62不垂直，从而影响导光板的质量（使得网点形貌出现异常现象，极大地影响产品的质量），同时也限制了作业的效率提升。因此，为了满足市场需求，急需开发一种在能制作大尺寸（如110寸）导光板时又能保证导光板质量的设备。前面的叙述在于提供一般的背景信息，并不一定构成现有技术。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种提升导光板质量的导光板光刻设备。本专利技术提供一种导光板光刻设备，包括底座、设置在所述底座上用于放置导光板的平台和用于光刻所述导光板的光刻机构，以及用于实现所述光刻机构相对于所述平台运动且运动时所述光刻机构用于光刻的光束始终与所述平台垂直的导向机构，所述导向机构分别连接所述光刻机构和所述底座，所述导向机构包括用于实现所述光刻机构沿第一方向运动的第一导向机构和用于实现所述光刻机构沿第二方向运动的第二导向机构，所述第二导向机构包括固定结构，所述固定结构包括竖直板和搭接于所述竖直板的横板，所述光刻机构包括激光器、光学器件密封罩、光路密封管、振镜和场镜，所述激光器和所述光学器件密封罩分别安装在所述横板的上表面，所述光路密封管、所述振镜和所述场镜分别安装在所述竖直板的外侧，所述激光器发射的激光依次经所述光学器件密封罩、所述光路密封管、所述振镜和所述场镜照射到所述平台上。在其中一实施例中，所述第一导向机构连接所述平台，所述第二导向机构分别连接所述第一导向机构和所述光刻机构，所述第一导向机构沿第一方向运动时带动所述第二导向机构和所述光刻机构沿第一方向运动，所述第二导向机构沿第二方向运动时带动所述光刻机构沿第二方向运动。在其中一实施例中，所述第一导向机构包括分别安装在所述平台两相对侧的第一导轨，以及安放在所述第一导轨上的第一滑块和连接两个所述第一滑块的横梁，所述第二导向机构包括两个第二导轨、一个第三导轨、第二滑块和第三滑块，两个所述第二导轨平行地安装在所述横梁的侧面，所述第三导轨安装在所述横梁的上表面，所述第二滑块安放在所述第二导轨上，所述第三滑块安放在所述第三导轨上，且所述第二滑块和所述第三滑块均固定在所述固定结构上。在其中一实施例中，所述第一导轨的两端均设有第一缓冲限位块，两个平行的所述第二导轨之间的两端均设有第二缓冲限位块。在其中一实施例中，两个所述第二导轨之间设有贯穿所述横梁的凹槽，所述凹槽内安装所述第二缓冲限位块。在其中一实施例中，所述竖直板的内侧连接所述第二滑块，所述横板下表面连接所述第三滑块。在其中一实施例中，所述平台为分区吸附平台，所述分区吸附平台设有若干真空吸附区域。本专利技术提供的导光板光刻设备，通过用于实现所述光刻机构相对于所述平台运动且运动时所述光刻机构与所述平台运动垂直的导向机构，使得光刻后网点形貌不会出现异常现象，极大地提高了产品的质量。附图说明图1为现有一种导光板光刻设备的场镜的工作示意图；图2为本专利技术实施例导光板光刻设备的结构示意图；图3为本专利技术实施例导光板光刻设备的部分结构示意图；图4为本专利技术实施例光学平台的光路示意图；图5为本专利技术另一实施方式中的光学平台的光路示意图；图6为图2中导光板光刻设备的场镜的工作示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。请参图2和图3，本专利技术实施例中提供的导光板光刻设备，包括底座1、设置在底座1上用于放置导光板的平台2和用于光刻导光板的光刻机构3，以及用于实现光刻机构3相对于平台2运动且运动时光刻机构3用于光刻的光束始终与平台2垂直的导向机构4。导向机构4分别连接光刻机构3和平台2。导向机构4包括用于实现光刻机构沿第一方向水平运动的第一导向机构41或/和用于实现光刻机构沿第二方向水平运动的第二导向机构42。底座1及平台2的长宽分别为2.5米和1.5米，且平台2为分区吸附平台，即，平台2设有若干真空吸附区域，每一真空吸附区域都能独立工作。当制作不同尺寸的导光板时，可依据尺寸大小来选择对应吸附区域。在本实施例中，导向机构4包括第一导向机构41和第二导向机构42。具体地，第一导向机构41设置在平台2上，第二导向机构42分别连接第一导向机构41和光刻机构3；其中，第一导向机构41类似为龙门架的结构。第一导向机构41在第一方向水平运动时带动第二导向机构42和光刻机构3沿第一方向水平运动，第二导向机构42在第二方向运动时带动光刻机构3沿第二方向水平运动。其中，第一方向和第二方向分别为平台2两相交的侧边分别所在的方向。第一导向机构41包括分别安装在平台2两相对侧的第一导轨411，以及安放在第一导轨411上的第一滑块412和连接两个第一滑块412的横梁415。第一导轨411为一具有一定宽度的长形铁条，数量为2个；第一导轨411的安装方向与第一导向机构41的运动方向相同。第一滑块412呈U型，U型结构的第一滑块412倒扣（U型的开口朝第一导轨411）在第一导轨411上，即，第一滑块412横跨第一导轨411。U型结构的第一滑块412的顶部长度略大于横梁415的宽度，以保证第一导向机构41运动时横梁415稳定性。第一滑块412可沿第一导轨411滑动以实现第一导向机构41在第一方向水平运动及带动第二导向机构42和光刻机构3沿第一方向水平运动。横梁415为一方形块条，横梁415一侧的侧面设有凹槽4151，该凹槽4151在第二方向贯穿横梁415。第二导向机构42包括第二导轨421、第三导轨424、第二滑块422、第三滑块426和固定结构427。第二导轨421为一具有一定宽度的长形铁条，数量为2个；2个相互平行的第二导轨421安装在横梁415的侧面，且位于凹槽4151的两侧；第二导轨421的安装方向与第二导向机构42的运动方向相同。第三导轨424为一具有一定宽度的长形铁条，数量为1个；第三导轨424安装在横梁415的上表面，且位于该上表面的中央；第三导轨424的安装方向与第二导向机构42的运动方向相同。第一导轨411、第二导轨421和第三导轨424的结构可以相同，也可以不同，但三者的长度则根据需要选择适合各自导向装置所需运动的长度。在本实施例中，为节约开发成本，第一导轨411、第二导轨421和第三导轨424的结构相同，其中，第一导轨411的长度大于第二导轨421的长度，第二导轨421的长度与第三导轨424的长度相等。第二滑块422呈U型，U型结构的第二滑块422倒扣（U型的开口朝第二导轨421）在第二导本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种导光板光刻设备，其特征在于，包括底座、设置在所述底座上用于放置导光板的平台和用于光刻所述导光板的光刻机构，以及用于实现所述光刻机构相对于所述平台运动且运动时所述光刻机构用于光刻的光束始终与所述平台垂直的导向机构，所述导向机构分别连接所述光刻机构和所述底座，所述导向机构包括用于实现所述光刻机构沿第一方向运动的第一导向机构和用于实现所述光刻机构沿第二方向运动的第二导向机构，所述第二导向机构包括固定结构，所述固定结构包括竖直板和搭接于所述竖直板的横板，所述光刻机构包括激光器、光学器件密封罩、光路密封管、振镜和场镜，所述激光器和所述光学器件密封罩分别安装在所述横板的上表面，所述光路密封管、所述振镜和所述场镜分别安装在所述竖直板的外侧，所述激光器发射的激光依次经所述光学器件密封罩、所述光路密封管、所述振镜和所述场镜照射到所述平台上。/n

【技术特征摘要】
1.一种导光板光刻设备，其特征在于，包括底座、设置在所述底座上用于放置导光板的平台和用于光刻所述导光板的光刻机构，以及用于实现所述光刻机构相对于所述平台运动且运动时所述光刻机构用于光刻的光束始终与所述平台垂直的导向机构，所述导向机构分别连接所述光刻机构和所述底座，所述导向机构包括用于实现所述光刻机构沿第一方向运动的第一导向机构和用于实现所述光刻机构沿第二方向运动的第二导向机构，所述第二导向机构包括固定结构，所述固定结构包括竖直板和搭接于所述竖直板的横板，所述光刻机构包括激光器、光学器件密封罩、光路密封管、振镜和场镜，所述激光器和所述光学器件密封罩分别安装在所述横板的上表面，所述光路密封管、所述振镜和所述场镜分别安装在所述竖直板的外侧，所述激光器发射的激光依次经所述光学器件密封罩、所述光路密封管、所述振镜和所述场镜照射到所述平台上。


2.如权利要求1所述的导光板光刻设备，其特征在于，所述第一导向机构连接所述平台，所述第二导向机构分别连接所述第一导向机构和所述光刻机构，所述第一导向机构沿第一方向运动时带动所述第二导向机构和所述光刻机构沿第一方向运动，所述第二导向机构沿第二方向运动时带动所述光刻机构沿第二方向运动。
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【专利技术属性】
技术研发人员：张恒，方宗豹，浦东林，陈林森，
申请(专利权)人：苏州苏大维格科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32