流体混合装置及其控制方法、刻蚀设备制造方法及图纸

本发明专利技术涉及半导体技术领域，提出一种流体混合装置及其控制方法、刻蚀设备。该流体混合装置包括混合阀、混合器以及预排器；混合阀连接有第一流体供应装置和第二流体供应装置，第一流体供应装置和第二流体供应装置分别向混合阀供应第一流体和第二流体，混合阀输出第一流体和第二流体的混合物；混合器通过第一管道连接于混合阀的出液口，第一管道上设有第一控制阀门；预排器通过第二管道连接于混合阀的出液口，第二管道上设有第二控制阀门。使用本发明专利技术的流体混合装置使刻蚀液浓度稳定，不会对晶圆的刻蚀量产生影响，不会影响产品的良率。

【技术实现步骤摘要】
流体混合装置及其控制方法、刻蚀设备
本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种流体混合装置及流体混合装置的控制方法、安装有该流体混合装置的刻蚀设备。
技术介绍
在半导体器件的制备过程中，会使用刻蚀设备对晶圆进行刻蚀。目前，刻蚀设备中刻蚀液的浓度波动较大，刻蚀液的浓度波动会严重影响对晶圆的蚀刻量，最终直接影响产品的良率。因此，有必要研究一种流体混合装置及流体混合装置的控制方法、安装有该流体混合装置的刻蚀设备。所述
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于加强对本专利技术的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述现有技术的刻蚀液的浓度波动较大的不足，提供一种刻蚀液的浓度波动较小的流体混合装置及流体混合装置的控制方法、安装有该流体混合装置的刻蚀设备。本专利技术的额外方面和优点将部分地在下面的描述中阐述，并且部分地将从描述中变得显然，或者可以通过本专利技术的实践而习得。根据本公开的一个方面，提供一种流体混合装置，包括：混合阀，所述混合阀连接有第一流体供应装置和第二流体供应装置，所述第一流体供应装置和所述第二流体供应装置分别向所述混合阀供应第一流体和第二流体，所述混合阀输出所述第一流体和所述第二流体的混合物；混合器，所述混合器通过第一管道连接于所述混合阀的出液口，所述第一管道上设有第一控制阀门；预排器，所述预排器通过第二管道连接于所述混合阀的出液口，所述第二管道上设有第二控制阀门。r>在本公开的一种示例性实施例中，所述混合器的排液口通过管道连接至所述预排器的进液口。在本公开的一种示例性实施例中，所述流体混合装置还包括：预混器，通过第三管道连接于所述混合阀的出液口，所述第三管道上设有第三控制阀门。在本公开的一种示例性实施例中，所述预混器的出液口连接至所述混合器的进液口。在本公开的一种示例性实施例中，所述第一控制阀门、所述第二控制阀门以及所述第三控制阀门均为气动阀门。根据本公开的一个方面，提供一种流体混合装置的控制方法，用于控制上述任意一项所述的流体混合装置，所述控制方法包括：在启动所述流体混合装置、补充所述第一流体、补充所述第二流体、更换所述第一流体或更换所述第二流体后的预设时间段内，开启所述第二控制阀门，关闭所述第一控制阀门；在预设时间段后，关闭所述第二控制阀门，开启所述第一控制阀门。在本公开的一种示例性实施例中，所述预设时间段大于等于6秒且小于等于10秒。在本公开的一种示例性实施例中，所述流体混合装置还包括第三管道、第三控制阀门以及预混器，所述预混器通过所述第三管道连接于所述混合阀的出液口，所述第三管道上设置所述第三控制阀门；所述控制方法还包括：在启动所述流体混合装置、补充所述第一流体、补充所述第二流体、更换所述第一流体或更换所述第二流体后的所述预设时间段内，关闭所述第三控制阀门；在所述预设时间段后，开启所述第三控制阀门。在本公开的一种示例性实施例中，所述预混器的出液口通过管道连接至所述混合器的进液口，所述管道上设置有第八控制阀门；所述控制方法还包括：当所述混合器内的所述混合物的液位低于第一预设值时，控制所述第八控制阀门打开；当所述混合器内的所述混合物的液位高于第二预设值时，控制所述第八控制阀门关闭；其中，所述第一预设值小于所述第二预设值。根据本公开的一个方面，提供一种刻蚀设备，包括：上述任意一项所述的流体混合装置。由上述技术方案可知，本专利技术具备以下优点和积极效果中的至少之一：本专利技术的流体混合装置，在混合阀的出液口通过第一管道连接有混合器，在第一管道上设有第一控制阀门；在混合阀的出液口通过第二管道连接有预排器，在第二管道上设有第二控制阀门。在刻蚀液浓度不稳定的情况下可以打开第二控制阀门并关闭第一控制阀门，使刻蚀液流入预排器而不是流入混合器，避免使用浓度不稳定的刻蚀液；在刻蚀液浓度稳定的情况下可以打开第一控制阀门并关闭第二控制阀门，使刻蚀液流入混合器而不是流入预排器，开始对晶圆进行刻蚀，由于此时刻蚀液浓度稳定，不会对晶圆的刻蚀量产生影响，不会影响产品的良率。附图说明通过参照附图详细描述其示例实施方式，本专利技术的上述和其它特征及优点将变得更加明显。图1是相关技术中流体混合装置的结构示意图；图2是图1所示的流体混合装置中第一流体的流量和第二流体的流量与第一控制阀门开关时间和第三控制阀门开关时间的对应示意图；图3是本专利技术流体混合装置一实施方式的结构示意图；图4是图3所示的流体混合装置中第一流体的流量和第二流体的流量与第一控制阀门开关时间、第二控制阀门开关时间和第三控制阀门开关时间的对应示意图；图5是改进前混合器内混合液浓度值变化与改进后混合器内混合液浓度值变化对比的示意图；图6是本专利技术流体混合装置的控制方法一实施方式的流程示意框图；图7是本专利技术刻蚀设备一实施方式的结构示意图。图中主要元件附图标记说明如下：1、混合阀；2、混合器；3、预排器；4、预混器；51、第一管道；52、第二管道；53、第三管道；54、第四管道；55、第五管道；56、第六管道；57、第七管道；61、第一控制阀门；62、第二控制阀门；63、第三控制阀门；64、第四控制阀门；65、第五控制阀门；66、第六控制阀门；67、第七控制阀门；68、第八控制阀门；69、第九控制阀门；71、第一总阀门；72、第二总阀门；81、第一流量计；82、第二流量计；83、第三流量计；9、针阀；10、化学品供应箱；11、液位计；12、排气管；13、进氮气管；14、刻蚀腔；15、喷雾头；16、排液管。具体实施方式现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本专利技术将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。参照图1所示的相关技术中流体混合装置一实施方式的结构示意图；在混合阀1的进液口连接有第一流体供应装置和第二流体供应装置，第一流体供应装置向混合阀1供应第一流体，第二流体供应装置向混合阀1供应第二流体，混合阀1输出第一流体或第二流体或第一流体和第二流体的混合物。在混合阀1的出液口连接有第一管道51和第三管道53，混合器2通过第一管道51连接于混合阀1的出液口，第一管道51上设有第一控制阀门61；预混器4通过第三管道53连接于混合阀1的出液口，第三管道53上设有第三控制阀门63。第一流体和第二流体通过混合阀1混合后直接供给混合器2和预混器4。参照图2所示的流体混合装置中第一流体的流量和第二流体的流量与第一控制阀门开关时间和第三控制阀门开关时间的对应示意图，在图中第一控制阀门简称为第一阀门，第三本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流体混合装置，其特征在于，包括：/n混合阀，所述混合阀连接有第一流体供应装置和第二流体供应装置，所述第一流体供应装置和所述第二流体供应装置分别向所述混合阀供应第一流体和第二流体，所述混合阀输出所述第一流体和所述第二流体的混合物；/n混合器，所述混合器通过第一管道连接于所述混合阀的出液口，所述第一管道上设有第一控制阀门；/n预排器，所述预排器通过第二管道连接于所述混合阀的出液口，所述第二管道上设有第二控制阀门。/n

【技术特征摘要】
1.一种流体混合装置，其特征在于，包括：
混合阀，所述混合阀连接有第一流体供应装置和第二流体供应装置，所述第一流体供应装置和所述第二流体供应装置分别向所述混合阀供应第一流体和第二流体，所述混合阀输出所述第一流体和所述第二流体的混合物；
混合器，所述混合器通过第一管道连接于所述混合阀的出液口，所述第一管道上设有第一控制阀门；
预排器，所述预排器通过第二管道连接于所述混合阀的出液口，所述第二管道上设有第二控制阀门。


2.根据权利要求1所述的流体混合装置，其特征在于，所述混合器的排液口通过管道连接至所述预排器的进液口。


3.根据权利要求1所述的流体混合装置，其特征在于，所述流体混合装置还包括：
预混器，通过第三管道连接于所述混合阀的出液口，所述第三管道上设有第三控制阀门。


4.根据权利要求3所述的流体混合装置，其特征在于，所述预混器的出液口连接至所述混合器的进液口。


5.根据权利要求3所述的流体混合装置，其特征在于，所述第一控制阀门、所述第二控制阀门以及所述第三控制阀门均为气动阀门。


6.一种流体混合装置的控制方法，用于控制权利要求1～5任意一项所述的流体混合装置，其特征在于，所述控制方法包括：
在启动所述流体混合装置、补充所述第一流体、补充所述第二流体、更换所述第一流体或更换...

【专利技术属性】
技术研发人员：马鹏伟，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34