可升降式喷淋清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种可升降式喷淋清洗装置，包括传动机构、升降机构和喷淋管道；所述传动机构包括链条、链轮一、可转动地插入清洗仓内的螺杆、固定套设于螺杆上部的链轮二，所述链条依次与链轮一与链轮二相啮合；所述升降机构包括上下贯通的套筒，所述螺杆的下部穿设于套筒内，两者螺纹连接；所述喷淋管道安装于所述套筒的下方；所述链轮一转动带动链条转动并绞动链轮二同步转动，从而带动螺杆转动，实现升降机构连同喷淋管道的升降动作。本实用新型专利技术实现了喷淋清洗对不同高度晶圆盒的清洗效果的一致性，保证最佳的清洗效果。

【技术实现步骤摘要】
可升降式喷淋清洗装置
本技术涉及半导体晶圆盒清洗工艺领域，尤其是涉及一种可升降式喷淋清洗装置。
技术介绍
在半导体制造领域，半导体生产工艺车间内，一般采用晶圆盒传送晶圆。将晶圆装入晶圆盒之前，需要将晶圆盒表面的灰尘颗粒清除。目前，比较常见的清洗方法是喷淋清洗，但现有喷淋清洗装置的喷嘴都是在固定在一定的高度，而喷嘴喷出的水流的冲力会随距离的增加而减弱，当切换清洗不同高度的晶圆盒时，从喷嘴喷出的水流到达晶圆盒表面距离产生变化，使水流的冲击力度会有强弱不同，导致同台清洗装置对不同高度的晶圆盒的清洗效果不一致，距离喷嘴较远的晶圆盒的冲洗效果相对较差。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种可升降式喷淋清洗装置，实现了喷淋清洗对不同高度晶圆盒的清洗效果的一致性，保证最佳的清洗效果。为了解决上述技术问题，本技术提供一种可升降式喷淋清洗装置，包括传动机构、升降机构和喷淋管道；所述传动机构包括链条、链轮一、可转动地插入清洗仓内的螺杆、固定套设于螺杆上部的链轮二，所述链条依次与链轮一与链轮二相啮合；所述升降机构包括上下贯通的套本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可升降式喷淋清洗装置，其特征在于：包括传动机构、升降机构和喷淋管道；所述传动机构包括链条、链轮一、可转动地插入清洗仓内的螺杆、固定套设于螺杆上部的链轮二，所述链条依次与链轮一与链轮二相啮合；所述升降机构包括上下贯通的套筒，所述螺杆的下部穿设于套筒内，两者螺纹连接；所述喷淋管道安装于所述套筒的下方；所述链轮一转动带动链条转动并绞动链轮二同步转动，从而带动螺杆转动，实现升降机构连同喷淋管道的升降动作。/n

【技术特征摘要】
1.一种可升降式喷淋清洗装置，其特征在于：包括传动机构、升降机构和喷淋管道；所述传动机构包括链条、链轮一、可转动地插入清洗仓内的螺杆、固定套设于螺杆上部的链轮二，所述链条依次与链轮一与链轮二相啮合；所述升降机构包括上下贯通的套筒，所述螺杆的下部穿设于套筒内，两者螺纹连接；所述喷淋管道安装于所述套筒的下方；所述链轮一转动带动链条转动并绞动链轮二同步转动，从而带动螺杆转动，实现升降机构连同喷淋管道的升降动作。


2.根据权利要求1所述的一种可升降式喷淋清洗装置，其特征在于：所述链轮一固定安装于电机的转轴上。


3.根据权利要求1所述的一种可升降式喷淋清洗装置，其特征在于：所述螺杆的底端可转...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘国华，刘春峰，李刚，
申请(专利权)人：荣耀电子材料重庆有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆;50