定位工装制造技术

本实用新型专利技术提供了一种定位工装。其中，定位工装包括：至少两个承托板；支撑柱，支撑柱的一端与至少两个承托板相连；固定座，支撑柱的另一端与固定座滑动相连；定位板，定位板与承托板滑动相连，定位板被配置为适于夹紧靶材生坯；其中，当靶材生坯大小发生变化时，定位板相对承托板滑动并夹紧靶材生坯。本实用新型专利技术通过定位板与承托板的相对移动代替了定位板与靶材之间的相对移动，平衡靶材与收缩时产生的摩擦力，从而抵消掉靶材在发生形变时与定位板产生的摩擦力，避免靶材在发生形变时由于靶材与摩擦力导致的靶材开裂或者变形，提高了利用该定位工装烧结的靶材的良品率。

【技术实现步骤摘要】
定位工装
本技术涉及
，具体而言，涉及一种定位工装。
技术介绍
陶瓷靶材是一类非常重要的真空镀膜材料，例如ZnO、AZO、GZO、IZO、IGZO、ITO、TiO2、Nb2O5等。陶瓷靶材是一种或多种氧化物粉末经过混合、造粒、成型、烧结而成的陶瓷材料。经过多年的发展，目前，陶瓷靶材的生产虽然大量借鉴了传统陶瓷的制备工艺，但是仍然存在烧结致密度不够、开裂、孔洞等问题，其烧结工艺还有很大的提升空间。传统的工艺在进行平面陶瓷靶材烧结时，生坯的摆放主要是将生坯平放在氧化铝等承烧板上，然后一起放进烧结炉中进行烧结，由于靶材的长度较短、质量轻、烧结收缩时的摩擦阻力小，因此满足了以往短节距靶材的生产要求。但是，随着靶材的长度逐渐要求加长，使靶材的重量显著增加，收缩时的摩擦阻力较大，导致靶材由于开裂而无法生产大尺寸的平面靶材，影响了良品率和取材率。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的第一方面提供了一种定位工装。为了实现上述目的，根据本技术的第一方面的技术方案，提供了一种定位工装，包括：至少两个承托板；支撑柱，支撑柱的一端与至少两个承托板相连；固定座，支撑柱的另一端与固定座滑动相连；定位板，定位板与承托板滑动相连，定位板被配置为适于夹紧靶材生坯；其中，当靶材生坯大小发生变化时，定位板相对承托板滑动并夹紧靶材生坯。在该技术方案中，定位工装包括至少两个承托板、支撑柱、固定座和定位板，定位板能够相对承托板滑动，承托板与定位板之间设置有滑移面，滑移面的摩擦力较小。定位板用于对靶材的装配和定位，在烧结靶材时，将靶材固定在定位板上进行加工。当靶材装配到定位板上烧结时，靶材在烧结过程中会发生形变，导致靶材的尺寸发生变化，当靶材的尺寸发生变化时，定位板可以随着靶材的尺寸变化而相对承托板移动，定位板与承托板之间的摩擦力小于定位板与靶材之间的摩擦力。即通过定位板与承托板的相对移动代替了定位板与靶材之间的相对移动，平衡靶材与收缩时产生的摩擦力，从而抵消掉靶材在发生形变时与定位板产生的摩擦力，避免靶材在发生形变时由于靶材与摩擦力导致的靶材开裂或者变形，提高了利用该定位工装烧结的靶材的良品率。支撑柱的一端与承托板固定相连，另一端与固定座滑动相连，即支撑柱能够相对固定座滑动，从而带动承托板的位置发生变化，实现可以通过相对固定座移动支撑柱来对承托板之间的间距进行调节，进而调节定位板之间的距离，实现该定位工装可以适配不同尺寸的靶材，其中，固定座上还设置有紧固件，通过紧固件将移动位置后的支撑柱与固定座进行紧固。可以理解的是，上述定位工装适用于对大尺寸的平面靶材，将定位板上表面设置为水平面，能够使大尺寸的平面靶材可以完整的装配到定位板上，并且在烧结的过程中，避免由于靶材发生形变导致的靶材从定位板上脱落的情况的发生。在上述任一技术方案中，每个承托板设有第一导向斜面；定位板设有第二导向斜面，第一导向斜面与第二导向斜面相接触，第二导向斜面相对第一导向斜面滑动。在该技术方案中，每个承托板和定位板上分别设置有第一导向斜面和第二导向斜面，第一导向斜面与第二导向斜面作为承托板和定位板之间的接触面，使承托板和定位板之间的接触面为斜面，第二导向斜面相对第一导向斜面滑动，通过第一导向斜面和第二导向斜面使定位板可以相对承托板滑动，使定位板能够相对承托板滑动。在上述任一技术方案中，至少两个承托板均匀分布于以垂线为轴的同一个分度圆上，每个承托板上均与一个定位板相接触。在该技术方案中，至少两个承托板环形分布在同一分度圆上，并且至少两个承托板处于同一水平面上，保证至少两个承托板承载的定位板的上表面为水平面，利于放置和定位靶材。承托板的数量与定位板的数量相同，且定位板与承托板的设置方式相同，使至少两个定位板为相对设置的关系，实现了至少两个定位板可以对靶材进行稳定支撑的作用。在上述任一技术方案中，围挡，围挡设于定位板远离垂线的一端，围挡适于与靶材生坯相接触。在该技术方案中，定位板上还设置有围挡，围挡设置在定位板远离垂线的一端，即围挡处于定位板的外缘处，实现利用围挡对定位板上设置的靶材固定的作用，避免靶材相对定位板产生水平方向的移动，第一步加强定位板与靶材安装的稳定性。在上述任一技术方案中，承托板自远离垂线至垂线的方向上的厚度逐渐减小；定位板自远离垂线至垂线的方向上的厚度逐渐增大。在该技术方案中，至少两个承托板呈环形分布，至少两个承托板相对端为厚度较小的一端，至少两个定位板相对端为厚度较大的一端，即承托板上的第一导向斜面和定位板上的第二导向斜面配合使用时，使至少两个定位板能够向内移动，从而对放置在定位板上的靶材加紧固定。可以理解的是，当靶材放置在至少两个定位板上，至少两个定位板在第一导向斜面和第二导向斜面的。在上述任一技术方案中，第一导向斜面与垂线之间的夹角等于第二导向斜面与垂线之间的夹角；第一导向斜面与垂线之间的夹角的取值范围为82°至60°。在该技术方案中，第一导向斜面与垂线之间的夹角和第二导向斜面与垂线之间的夹角相等，使第一导向斜面与第二导向斜面相装配时，可以使承托板的下表面与定位板的上表面相平行，并且将定位板的上表面和承托板的下表面设置与水平面相平行，使用于装配靶材的定位板与水平面相平行，使靶材在重力作用下平稳的固定在定位板的上表面，进一步加强了定位板对靶材的固定效果，第一导向斜面和第二导向斜面与垂线的夹角的取值范围在82°至60°之间，既保证了在重力作用下定位板能够相对承托板滑动从而对设置在定位板上的靶材起到向内的夹持作用，并且在靶材受热产生形变的情况下，靶材与定位板之间的摩擦力可以带动定位板相对承托板移动，避免了靶材与定位板之间的摩擦力导致靶材的开裂，从而提高了良品率。在上述任一技术方案中，固定座包括：底座；定位槽，定位槽设于底座的上表面，配置为与支撑柱的另一端滑动连接。在该技术方案中，固定座包括底座，底座上设置有定位槽，支撑柱的下端滑动连接于定位槽内部，实现支撑柱可以相对固定座移动。可以理解的是，支撑柱的下端设置有滚轮，支撑柱可以通过滚轮在定位槽内滑动，并且固定座还设置有锁止结构，用于将移动完成的支撑柱的位置进行固定，其中锁止结构可以为定位销。在上述任一技术方案中，定位板上表面铺设有氧化铝粉；和/或定位板与承托板之间铺设有氧化铝粉。在该技术方案中，在定位板的上表面铺设有氧化铝粉，氧化铝粉能够降低定位板与靶材之间的摩擦力，使靶材在发生形变时不会由于靶材与定位板所产生的摩擦力导致靶材开裂。定位板与承托板之间设置的氧化铝粉能够降低定位板与承托板之间的摩擦力，保证了定位板能够相对承托板滑动。可以理解的是，靶材在烧结的过程中会收缩，靶材与定位板之间的摩擦力较小，在收缩过程中，靶材不会由于摩擦力而导致开裂。靶材收缩的过程中，至少两个定位板受到重力以及第一导向斜面和第二导向斜面的作用会向内滑动夹紧靶材，避免靶材与定位板之间松动。通过在靶材与定位板之间，以及定位板与靶材本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种定位工装，其特征在于，包括：/n至少两个承托板；/n支撑柱，所述支撑柱的一端与所述至少两个承托板相连；/n固定座，所述支撑柱的另一端与所述固定座滑动相连；/n定位板，所述定位板与所述承托板滑动相连，所述定位板被配置为适于夹紧靶材生坯；/n其中，当所述靶材生坯大小发生变化时，所述定位板相对所述承托板滑动并夹紧所述靶材生坯。/n

【技术特征摘要】
1.一种定位工装，其特征在于，包括：
至少两个承托板；
支撑柱，所述支撑柱的一端与所述至少两个承托板相连；
固定座，所述支撑柱的另一端与所述固定座滑动相连；
定位板，所述定位板与所述承托板滑动相连，所述定位板被配置为适于夹紧靶材生坯；
其中，当所述靶材生坯大小发生变化时，所述定位板相对所述承托板滑动并夹紧所述靶材生坯。


2.根据权利要求1所述的定位工装，其特征在于，
每个所述承托板设有第一导向斜面；
所述定位板设有第二导向斜面，所述第一导向斜面与所述第二导向斜面相接触，所述第二导向斜面相对所述第一导向斜面滑动。


3.根据权利要求2所述的定位工装，其特征在于，
所述至少两个承托板均匀分布于以垂线为轴的同一个分度圆上，每个所述承托板上均与一个定位板相接触。


4.根据权利要求3所述的定位工装，其特征在于，所述定位板包括：
围挡，所述围挡设于所述定位板远离所述垂线的一端，所述围挡适于与所述靶材生坯相接触。


5.根据权利要求4所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷雨，周志宏，肖世洪，赵明增，周昭宇，沈艳斌，
申请(专利权)人：广州市尤特新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44