低温泵制造技术

本发明专利技术的低温泵(10)具备：低温泵壳体(70)；及吸水层(80)，其安装于低温泵壳体(70)的外侧。低温泵(10)还可以具备隔热层(82)，该隔热层(82)配置于低温泵壳体(70)与吸水层(80)之间。低温泵(10)还可以具备在外侧具有吸水层(80)且在内侧具有隔热层(82)的吸水隔热片(84)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】低温泵
本专利技术涉及一种低温泵。
技术介绍
低温泵为通过冷凝或吸附将气体分子捕捉于冷却至超低温的低温板而进行排气的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路工艺等中要求的清洁的真空环境。低温泵为所谓的气体积存式真空泵，因此，需要定期进行向外部排出已捕捉到的气体的再生。以往技术文献专利文献专利文献1：日本特开昭60-71002号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术课题若低温泵的再生开始，则容纳低温板的低温泵壳体的真空被解除。通过已积存气体的再气化或吹扫气体的导入，壳体内会充满气体。再生初期，低温板还保持在超低温。由于真空隔热效果因气体的充满而消失，因此，低温板经由气体冷却壳体。由于壳体暴露于周围环境，因此，根据情况，壳体的外表面可能会产生结露。结露的水可能会滴落。本专利技术的一种实施方式的例示性目的之一在于，抑制低温泵上出现结露或抑制结露的水滴落。用于解决技术课题的手段根据本专利技术的一种实施方式，低温泵具备低温泵壳体及安装于所述低温泵壳体的外侧的吸水层。另外，以上构成要件的任意组合或本专利技术的构成要件或表述在方法、装置、系统等之间的相互替换也作为本专利技术的方式而有效。专利技术效果根据本专利技术，能够抑制低温泵上出现结露或抑制结露的水滴落。附图说明图1是概略地表示实施方式所涉及的低温泵及其结露抑制结构的侧剖视图。图2是概略地表示图1所示的低温泵的沿A-A线剖切的剖视图。图3是表示实施方式所涉及的结露抑制结构的另一例的概略图。图4是表示其他实施方式所涉及的结露抑制结构的又一例的概略图。图5是表示实施方式所涉及的结露抑制结构的又一例的概略图。具体实施方式以下，参考附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。在以下说明及附图中，对相同或等同的构成要件、部件及处理标注相同的符号，并适当省略重复说明。为了便于说明，在附图中，适当设定各部的缩尺或形状，除非另有说明，其并不作限制性解释。实施方式仅为示例，其并不对本专利技术的范围作任何限定。实施方式中所描述的所有特征及其组合并不一定为专利技术的本质。图1是概略地表示实施方式所涉及的低温泵10的侧剖视图。图2是概略地表示图1所示的低温泵10的沿A-A线剖切的剖视图。图1中示出了包括用单点划线表示的低温泵中心轴C的截面。但是，为了便于理解，在图1中，针对低温泵10的低温低温板部和制冷机，示出了侧面而不是截面。如后述，低温泵10具有结露抑制结构。低温泵10例如安装于离子注入装置、溅射装置、蒸镀装置或其他真空处理装置的真空腔室，并且用于使真空腔室内部的真空度提高至所希望的真空处理所要求的水平。低温泵10具有用于从真空腔室接收应排出的气体的进气口12。气体通过进气口12而进入低温泵10的内部空间14。低温泵10可以以图1所示的朝向(即，进气口12朝向上方的姿势)设置于真空腔室而进行使用。但是，低温泵10的姿势并不只限于此，低温泵10也可以以其他朝向设置于真空腔室。另外，以下为了清晰易懂地表示低温泵10的构成要件之间的位置关系，有时使用“轴向”、“径向”等用语。轴向表示通过进气口12的方向(图1中为沿通过进气口12的中心的低温泵中心轴C的方向)，径向表示沿进气口12的方向(与中心轴C垂直的方向)。为方便起见，有时将在轴向上相对靠近进气口12的一侧称为“上”，相对远离进气口12的一侧称为“下”。即，有时将相对远离低温泵10的底部的一侧称为“上”，相对靠近低温泵10的底部的一侧称为“下”。关于径向，有时将靠近进气口12的中心(图1中为中心轴C)的一侧称为“内”，将靠近进气口12的周缘的一侧称为“外”。另外，这种表达形式与低温泵10安装于真空腔室时的配置无关。例如，低温泵10也可以使进气口12沿垂直方向朝下安装于真空腔室。并且，有时将包围轴向的方向称为“周向”。周向为沿进气口12的第2方向，是与径向正交的切线方向。低温泵10具备制冷机16、第1级低温板18、第2级低温板总成20及低温泵壳体70。第1级低温板18又被称作高温低温板部或100K部。第2级低温板总成20又被称作低温低温板部或10K部。制冷机16例如为吉福德-麦克马洪式制冷机(所谓GM制冷机)等超低温制冷机。制冷机16为二级式制冷机。因此，制冷机16具备第1冷却台22及第2冷却台24。制冷机16构成为，将第1冷却台22冷却至第1冷却温度，并将第2冷却台24冷却至第2冷却温度。第2冷却温度低于第1冷却温度。例如，第1冷却台22被冷却至65K～120K左右，优选被冷却至80K～100K，第2冷却台24被冷却至10K～20K左右。并且，制冷机16具备制冷机结构部21，该制冷机结构部21将第2冷却台24结构性地支承在第1冷却台22并将第1冷却台22结构性地支承在制冷机16的室温部26。因此，制冷机结构部21具备沿着径向以同轴方式延伸的第1缸体23及第2缸体25。第1缸体23将制冷机16的室温部26连接于第1冷却台22。第2缸体25将第1冷却台22连接于第2冷却台24。室温部26、第1缸体23、第1冷却台22、第2缸体25及第2冷却台24依次直线状排成一列。在第1缸体23及第2缸体25的内部，以能够往复移动的方式分别配设有第1置换器及第2置换器(未图示)。在第1置换器及第2置换器中分别组装有第1蓄冷器及第2蓄冷器(未图示)。并且，室温部26具有用于使第1置换器及第2置换器往复移动的驱动机构(未图示)。驱动机构包括流路切换机构，该流路切换机构切换工作气体的流路以便周期性地反复向制冷机16的内部供给工作气体(例如氦气)以及从制冷机16的内部排出工作气体。第1冷却台22设置于制冷机16的第1级低温端。第1冷却台22为在与室温部26相反的一侧从外侧包围第1缸体23的端部从而包围工作气体的第1膨胀空间的部件。第1膨胀空间为形成在第1缸体23的内部的第1缸体23与第1置换器之间且其容积随着第1置换器的往复移动而发生变化的可变容积。第1冷却台22由导热系数比第1缸体23的导热系数更高的金属材料制成。例如，第1冷却台22由铜制成，第1缸体23由不锈钢制成。第2冷却台24设置于制冷机16的第2级低温端。第2冷却台24为在与室温部26相反的一侧从外侧包围第2缸体25的端部从而包围工作气体的第2膨胀空间的部件。第2膨胀空间为形成在第2缸体25的内部的第2缸体25与第2置换器之间且其容积随着第2置换器的往复移动而发生变化的可变容积。第2冷却台24由导热系数比第2缸体25的导热系数更高的金属材料制成。第2冷却台24由铜制成，第2缸体25由不锈钢制成。图1中还示出了第2冷却台24与第2缸体25之间的边界24b。制冷机16与工作气体的压缩机(未图示)连接。制冷机16使被压缩机加压的工作气体在制冷机16的内部膨胀从而对第1冷却台22及第2冷却台24进行冷却。膨胀的工作气体回收至压缩机并重新被加压。制冷机16反复进行包括工作气体的供给及排出以及与该工作气体的供给及排出同步的第1置换本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种低温泵，其特征为，具备：/n低温泵壳体；及/n吸水层，其安装于所述低温泵壳体的外侧。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180221 JP 2018-0286771.一种低温泵，其特征为，具备：
低温泵壳体；及
吸水层，其安装于所述低温泵壳体的外侧。


2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征为，
还具备隔热层，所述隔热层配置于所述低温泵壳体与...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷津贵裕，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP