微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中的微型麦克风防尘装置包括支撑载体和设置在支撑载体一侧的防尘膜，支撑载体包括主体部、设置在主体部上的至少两个支承部、通孔、位于支承部靠近通孔一侧的重叠部；防尘膜的边缘固定在支承部上，防尘膜的内部悬设在通孔和重叠部的一侧。利用上述发明专利技术能够提高微型麦克风防尘装置的整体结构强度，并有效抑制防尘膜发生屈曲褶皱。

【技术实现步骤摘要】
微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风
本专利技术涉及电子产品
，更为具体地，涉及一种微型麦克风防尘装置及设置有该微型麦克风防尘装置的MEMS麦克风。
技术介绍
现有的MEMS麦克风通常设置有防尘结构，防尘结构主要包括支撑件和防尘膜，可用于阻止外界粉尘、颗粒等污染物进入麦克风内部，进而确保麦克风产品的声学性能。但是，目前的防尘膜与支撑件的结构会由于热膨胀系数的失配，或者在将防尘结构安装至基板上时，引入应力问题。此外，对于防尘膜这种薄膜结构而言，应力的产生会导致防尘膜发生屈曲或不可逆的变形，从而影响产品性能及用户体验。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术的目的是提供一种防尘结构及MEMS麦克风，以解决目前传统的防尘结构中，防尘膜容易受热膨胀系数失配或安装影响产生屈曲或不可逆形变，而影响产品性能等问题。本专利技术提供的微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在支撑载体一侧的防尘膜；支撑载体包括主体部、设置在主体部上的至少两个支承部、通孔、位于支承部靠近通孔一侧的重叠部；防尘膜的边缘固定在支承部上，防尘膜的内部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在所述支撑载体一侧的防尘膜；其特征在于，/n所述支撑载体包括主体部、设置在所述主体部上的至少两个支承部、通孔、位于所述支承部靠近所述通孔一侧的重叠部；/n所述防尘膜的边缘固定在所述支承部上，所述防尘膜的内部悬设在所述通孔和所述重叠部的一侧。/n

【技术特征摘要】
1.一种微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在所述支撑载体一侧的防尘膜；其特征在于，
所述支撑载体包括主体部、设置在所述主体部上的至少两个支承部、通孔、位于所述支承部靠近所述通孔一侧的重叠部；
所述防尘膜的边缘固定在所述支承部上，所述防尘膜的内部悬设在所述通孔和所述重叠部的一侧。


2.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述支承部关于所述通孔呈对称和/或均匀分布。


3.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述支承部与所述主体部为包括至少两层的层叠结构。


4.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述支承部与所述主体部为一体成型结构；或者，所述支承部、所述主体部、所述重叠部为一体成型结构。


5.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述通...

【专利技术属性】
技术研发人员：畠山庸平，林育菁，
申请(专利权)人：歌尔微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37