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本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中的微型麦克风防尘装置包括支撑载体和设置在支撑载体一侧的防尘膜，支撑载体包括主体部、设置在主体部上的至少两个支承部、通孔、位于支承部靠近通孔一侧的重叠部；防尘膜的边缘固定在支承部上，防尘膜...
该专利属于歌尔微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过歌尔微电子有限公司授权不得商用。

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