微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中，微型麦克风防尘装置包括载体以及设置在所述载体上的防尘网；其中，所述载体的形成有通孔，所述防尘网覆盖所述通孔；并且，在所述通孔的侧壁上对称设置有第一阳极板和第一阴极板，所述第一阳极板与所述第一阴极板在所述通孔内产生第一电场。利用上述发明专利技术能够有效的解决现有的微型麦克风防尘装置为确保具有较好的通音效果，而使其防尘效果较差的问题。

【技术实现步骤摘要】
微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风
本专利技术涉及微型麦克风防尘
，更为具体地，涉及一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风。
技术介绍
为防止微型麦克风内部的芯片受到外界粉末、颗粒物、水分的影响，从而降低微型麦克风的使用寿命，通常情况下，都需要在微型麦克风内部与外界的连通处(如声孔)设计微型麦克风防尘装置，通过微型麦克风防尘装置将微型麦克风芯片与外界环境分隔开，起到保护微型麦克风芯片的作用。然而，传统的微型麦克风防尘装置通常包括网部和载体部，由于网部既需要具有防尘效果，又需要具有较好的通音效果，以使麦克风芯片能够有效的接收外界的声音信号；但是，传统的微型麦克风防尘装置的防尘效果是通过设计网部的物理尺寸(网孔的形状、大小等)来控制的，当传统的微型麦克风防尘装置的防尘效果提高的同时，其通音效果就会随之降低，因此，为确保具有较好的通音效果，传统的微型麦克风防尘装置的防尘效果较差。基于以上技术问题，亟需一种能够在确保微型麦克风防尘装置具有较好的通音效果的前提下，使其防尘性能显著提高的方法。专利技术内容鉴于上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微型麦克风防尘装置，其特征在于，包括载体以及设置在所述载体上的防尘网；其中，/n所述载体的形成有通孔，所述防尘网覆盖所述通孔；并且，/n在所述通孔的侧壁上对称设置有第一阳极板和第一阴极板，所述第一阳极板与所述第一阴极板在所述通孔内产生第一电场。/n

【技术特征摘要】
1.一种微型麦克风防尘装置，其特征在于，包括载体以及设置在所述载体上的防尘网；其中，
所述载体的形成有通孔，所述防尘网覆盖所述通孔；并且，
在所述通孔的侧壁上对称设置有第一阳极板和第一阴极板，所述第一阳极板与所述第一阴极板在所述通孔内产生第一电场。


2.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
在所述通孔的侧壁上还对称设置有第二阳极板和第二阴极板，所述第二阳极板与所述第二阴极板在所述通孔内产生第二电场；并且，
所述第一电场与所述第二电场共同充斥所述通孔的所有区域。


3.如权利要求2所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述防尘网包括连接部和过滤部，所述过滤部通过所述连接部与所述载体相连；并且，
所述过滤部与所述通孔上下位置对应。


4.如权利要求3所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
在所述防尘网顶部还对称设置有第三阳极板和第三阴极板，所述第三阳极板与所述第三阴极板之间产生第三电场。


5.如权利要求4所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
在所述防尘网顶部还对称设置有第四阳极板和第四阴极板，所述第四阳极板与所述第四阴极板之间产生第四电场；并且...

【专利技术属性】
技术研发人员：游振江，林育菁，
申请(专利权)人：歌尔微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37