微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中的微型麦克风防尘装置包括具有通孔的支撑载体和设置在支撑载体一侧的防尘膜；防尘膜包括设置在支撑载体上的固定部、悬设在通孔内的过滤部，以及连接固定部和过滤部的控制部；并且，控制部的弹性常数大于过滤部的弹性常数。利用上述发明专利技术能够将防尘膜的屈曲变形集中在控制部，通过控制部确保过滤部的性能稳定。

【技术实现步骤摘要】
微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风
本专利技术涉及电子产品
，更为具体地，涉及一种微型麦克风防尘装置及设置有该微型麦克风防尘装置的MEMS麦克风。
技术介绍
现有的MEMS麦克风通常设置有防尘结构，防尘结构主要包括支撑件和防尘膜，防尘膜的边缘设置在支撑件的支承区域，防尘膜的中部悬设在支撑件通孔处形成过滤区域，设置防尘结构可阻止外界粉尘、颗粒等污染物进入麦克风内部，进而确保麦克风产品的声学性能。但是，目前防尘结构中，过滤区域通常是自支撑(freestanding)膜结构，因此，由于支撑件和防尘膜的热膨胀系数之差、安装基板时受到应力等，过滤区域的薄膜容易发生屈曲褶皱(buckle)。在支承区域受力的情况下，屈曲会自支撑膜的边缘位置传播到过滤区域；同时，由于防尘膜的中央位置较柔软，而屈曲容易集中在弹性常数低的柔软区域，也会导致褶皱扩展到自支撑膜的整个区域，进而影响防尘结构的防尘性能及稳定。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术的目的是提供一种防尘结构及MEMS麦克风，以解决目前传统的防尘结构中，防尘膜容易收到边缘位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微型麦克风防尘装置，包括具有通孔的支撑载体和设置在所述支撑载体一侧的防尘膜；其特征在于，/n所述防尘膜包括设置在所述支撑载体上的固定部、悬设在所述通孔内的过滤部，以及连接所述固定部和所述过滤部的控制部；并且，/n所述控制部的弹性常数小于所述过滤部的弹性常数。/n

【技术特征摘要】
1.一种微型麦克风防尘装置，包括具有通孔的支撑载体和设置在所述支撑载体一侧的防尘膜；其特征在于，
所述防尘膜包括设置在所述支撑载体上的固定部、悬设在所述通孔内的过滤部，以及连接所述固定部和所述过滤部的控制部；并且，
所述控制部的弹性常数小于所述过滤部的弹性常数。


2.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述控制部包括靠近所述通孔中心位置设置的软化部和设置在所述软化部外围的强化部；其中，
所述软化部的弹性常数小于所述过滤部的弹性常数，所述强化部的弹性常数大于所述过滤部的弹性常数。


3.如权利要求2所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述控制部还包括平滑连接所述软化部和所述强化部的过渡部；
所述过渡部的弹性常数自所述强化部至所述软化部过渡式减小。


4.如权利要求2或3所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述软化部包括至少两...

【专利技术属性】
技术研发人员：畠山庸平，游振江，宫岛博志，林育菁，
申请(专利权)人：歌尔微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37