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本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中的微型麦克风防尘装置包括具有通孔的支撑载体和设置在支撑载体一侧的防尘膜；防尘膜包括设置在支撑载体上的固定部、悬设在通孔内的过滤部，以及连接固定部和过滤部的控制部；并且，控制部的弹性常数大...
该专利属于歌尔微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过歌尔微电子有限公司授权不得商用。

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