【技术实现步骤摘要】
一种陶瓷靶材拼接模具
本技术涉及一种模具,特别涉及一种陶瓷靶材拼接模具。
技术介绍
陶瓷靶材属于功能电子陶瓷,主要用于磁控溅射镀制陶瓷功能薄膜。陶瓷靶材在使用时,通常会由多片较小尺寸的靶材拼接在一起使用。这一方面是由于大尺寸的陶瓷靶材制作难度大,另一方面,陶瓷靶材性质脆,尺寸太大的靶材安装在设备上,由于与设备装配件的热胀性能存在差异,容易开裂。同样一种尺寸,不同的厂家会有不同的拼接方式,并且时有变化,所以导致靶材尺寸规格繁多。如果每个尺寸都对应制作一套模具,将极大的增加成本。如果一套模具能进行一定范围的尺寸调节,对于靶材生产厂家的生产成本将能起到很大的降低作用。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是:提供一种陶瓷靶材拼接模具,该模具结构简单,可在一定范围内进行尺寸调节,适用范围广,能有效地节约靶材模具制作费用和制作时间。解决上述技术问题的技术方案是:一种陶瓷靶材拼接模具,包括底板、下磁吸盘、2个长限位板、2个短限位板、2个长侧板、2个短侧板、多个支撑块、多根顶杆、多根拉杆和多套尺寸不同的模具,所 ...
【技术保护点】
1.一种陶瓷靶材拼接模具,其特征在于:包括底板、下磁吸盘、2个长限位板、2个短限位板、2个长侧板、2个短侧板、多个支撑块、多根顶杆、多根拉杆和多套尺寸不同的模具,所述底板上开有压机顶缸连接孔和下拉复位连接孔,每套模具均是由配套的长方形上模和长方形下模构成,所述的长限位板和短限位板上分别开有多个顶杆安装螺纹孔和拉杆安装阶梯孔,所述长侧板和短侧板上分别开有拉杆连接螺纹槽,所述短侧板两侧设置有支撑定位板,该支撑定位板上开有螺杆安装孔,所述支撑块上开有长孔,长侧板上开有用于与支撑块连接定位的定位孔;/n组装状态时,所述下磁吸盘放置在底板上,下模放置在下磁吸盘上,2个长侧板分别通过支 ...
【技术特征摘要】
1.一种陶瓷靶材拼接模具,其特征在于:包括底板、下磁吸盘、2个长限位板、2个短限位板、2个长侧板、2个短侧板、多个支撑块、多根顶杆、多根拉杆和多套尺寸不同的模具,所述底板上开有压机顶缸连接孔和下拉复位连接孔,每套模具均是由配套的长方形上模和长方形下模构成,所述的长限位板和短限位板上分别开有多个顶杆安装螺纹孔和拉杆安装阶梯孔,所述长侧板和短侧板上分别开有拉杆连接螺纹槽,所述短侧板两侧设置有支撑定位板,该支撑定位板上开有螺杆安装孔,所述支撑块上开有长孔,长侧板上开有用于与支撑块连接定位的定位孔;
组装状态时,所述下磁吸盘放置在底板上,下模放置在下磁吸盘上,2个长侧板分别通过支撑块固定在底板上并位于下模的长边两侧,2个短侧板通过支撑定位板安装在2个长侧板之间并位于下模...
【专利技术属性】
技术研发人员:陆映东,张倍维,农浩,梁盈祥,覃当凤,
申请(专利权)人:广西晶联光电材料有限责任公司,
类型:新型
国别省市:广西;45
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