纳米氧化锌多功能气敏传感器件及其制作方法技术

技术编号:2574998 阅读:473 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种纳米氧化锌多功能气敏传感器件及其制作方法,气敏传感器件采用旁热式器件结构,以氧化铝陶瓷管为载体,外表面敷有叉状金电极,两端有铂金丝引出电极,陶瓷管内有加热丝,陶瓷管外涂附有气敏材料,所述气敏材料是片状多孔结构的纳米氧化锌粉体。把涂附片状多孔结构的纳米氧化锌粉体的氧化铝陶瓷管在200~400℃下烧结,制成管芯,再按照旁热式器件常规工艺,将管芯进行焊接、封装、电老化,制成气敏传感器件。本发明专利技术的气敏传感器件可在不同工作温度范围内检测氯苯和乙醇。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种多功能气敏传感器件及其制作方法。
技术介绍
近年来的研究表明,持久性有机污染物不仅对于自然环境下的生物代谢、光降解、化 学分解等具有很强的抵抗能力,而且容易在脂肪组织中发生生物蓄积,引发、、三致"效应(致癌、致畸、致突变),并且能够导致生物体内分泌紊乱、生殖及免疫机能失调,对生态环 境和人体健康造成不可逆转的严重危害。因此对持久性有机污染物的及时检测和防止就显 得尤其重要。其中,氯苯就是常见的一种持久性有机污染物。据文献资料报道,氯苯通常 需要采用气相色谱法进行分析和检测。虽然仪器检测具有灵敏度高、准确性强等优点,但 由于仪器体积庞大、价格昂贵,而且测试准备工作繁琐,不利于现场实时检测,因而其应 用受到了限制。因此如何快速、实时地检测氯苯成为摆在人们面前的一个难题。半导体金 属氧化物气敏传感器由于具备灵敏度高、响应快,体积小,制作简单等优点被广泛的应用。 目前,开发新的气敏材料和新的气敏传感器,使传感器更加微型化和多功能化,已成为国 内外半导体气敏传感器发展的主要方向之一。现今国内外市场上开发生产的气敏传感器, 大多是单一型的传感器,即仅能在一定工作温度下对某一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气敏传感器件,采用旁热式器件结构,以氧化铝陶瓷管为载体,外表面敷有叉状金电极,两端有铂金丝引出电极,陶瓷管内有加热丝,陶瓷管外涂附有气敏材料,所述气敏材料是片状多孔结构的纳米氧化锌粉体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:景志红张淑芳
申请(专利权)人:曲阜师范大学
类型:发明
国别省市:37[中国|山东]

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