FPC一体型静电电容开关及其制造方法技术

本发明专利技术的课题是提供在FPC部分中，弯曲使用时的电可靠性高，并且，能够实现配线的高密度化的FPC一体型静电电容开关及其制造方法。解决手段是具备：具有传感器部11和尾部12的透明柔性基材1；在透明柔性基材1的第一主面1a上、并且在传感器部11内形成的多个电极2；多个电极用第一配线21；在尾部12内并列配置而形成的、由包含导电性粒子的光致抗蚀剂形成的多个电极用第二配线22；在透明柔性基材1的第二主面1b上并且以在俯视时与包含多个电极2的区域重叠的方式形成的电磁波屏蔽件3；一对电磁波屏蔽件用第一配线31；在尾部12内在俯视时与包含多个电极用第二配线22的区域相比的外侧配置而形成的、由包含导电性粒子的光致抗蚀剂形成的一对电磁波屏蔽件用第二配线32；以及在透明柔性基材1的第二主面1b上并且在上述尾部12内以在俯视时与包含多个电极用第二配线22的区域重叠的方式形成的、包含遮光性金属膜的电磁波屏蔽件侧掩模33。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】FPC一体型静电电容开关及其制造方法
本专利技术涉及手表、车载设备等所使用的FPC一体型静电电容开关及其制造方法。
技术介绍
以往的静电电容开关如例如专利文献1所示那样，具备能够弯曲的透明的膜基材、在该膜基材的一面的周缘部以外的区域形成的多个透明电极、和与多个透明电极连接而形成的多个电极用配线(配线线)，设置在手表、车载设备等的显示装置上，在手指选择性地与多个透明电极接近的情况下，在它们之间形成电容器，检测静电电容的变化。此外，在上述专利文献1中，也公开了将膜基材的周缘部部分地延长而制成能够弯曲的延长连接片，并且在该延长连接片的一面将多个电极用配线(配线线)伸长而形成FPC部分的所谓FPC一体型静电电容开关。通过使静电电容开关主体与FPC部分的膜基材形成一体，从而不需要另行准备FPC而连接，可以谋求部件件数的减少。此外，在静电电容开关中，出于减少引起来自显示装置的误动作的有害噪声的目的，有时在膜基材的与形成了透明电极的面相反侧的面形成由透明导电膜构成的电磁波屏蔽件。在该情况下，与电磁波屏蔽件连接的一对电磁波屏蔽件用配线伸长至延长连接片而形成。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-160558号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题可是，为了将使用静电电容开关的产品小型化，需要将静电电容开关的FPC部分弯折而使其与电路基板等连接。此外，为了将FPC部分本身小型化，也需要使FPC部分的电极用配线高密度化，即，使配线宽度细，使配线间的间隙窄。因此，本专利技术的目的是提供在FPC部分中，弯曲使用时的电可靠性高，并且，能够实现配线的高密度化的FPC一体型静电电容开关及其制造方法。用于解决课题的方法以下，作为用于解决课题的方法，说明多个方案。这些方案可以根据需要任意组合。本专利技术的FPC一体型静电电容开关具备：透明柔性基材，上述透明柔性基材由树脂膜构成，具有传感器部和从上述传感器部的边缘延伸存在的尾部；多个电极，上述多个电极在上述透明柔性基材的第一主面上并且在上述传感器部内形成；多个电极用第一配线，上述多个电极用第一配线与上述多个电极电连接，且被延长至与上述尾部相邻的边缘而汇集形成；多个电极用第二配线，上述多个电极用第二配线由包含导电性粒子的光致抗蚀剂形成，与上述多个电极用第一配线电连接，且在上述尾部内并列配置而形成；电磁波屏蔽件，上述电磁波屏蔽件在上述透明柔性基材的作为与上述第一主面相反面的第二主面上并且以在俯视时与包含上述多个电极的区域重叠的方式形成，一对电磁波屏蔽件用第一配线，上述一对电磁波屏蔽件用第一配线与上述电磁波屏蔽件电连接，且被延长至与上述尾部相邻的边缘而形成；以及一对电磁波屏蔽件用第二配线，上述一对电磁波屏蔽件用第二配线由包含导电性粒子的光致抗蚀剂形成，与上述一对电磁波屏蔽件用配线电连接，且在上述尾部内以在俯视时与包含上述多个电极用第二配线的区域相比的外侧配置而形成。对于该FPC一体型静电电容开关，在尾部内形成的多个电极用第二配线和一对电磁波屏蔽件用第二配线都由包含导电性粒子的光致抗蚀剂形成。因此，FPC部分的配线即使在弯曲使用时也不断线，电可靠性高。此外，通过将由包含导电性粒子的光致抗蚀剂形成的膜进行曝光、显影来获得配线图案，因此能够实现多个电极用第二配线的高密度化。此外，本专利技术人等在本专利技术过程中注意到，由包含导电性粒子的光致抗蚀剂形成的膜的曝光、显影为FPC部分的配线的形成工序，因此产生以下新课题。即，如果将在透明柔性基材的一面形成的由包含导电性粒子的光致抗蚀剂形成的膜进行曝光，则光达到至在透明柔性基材的相反面形成的由包含导电性粒子的光致抗蚀剂形成的膜进行曝光。因此，与多个电极用第二配线相同的配线图案隔着透明柔性基材而在背侧也形成(以下，称为背透)。作为将静电电容开关的FPC部分弯折而使其与电路基板等连接的方法，使用压接。然而，如果多个电极用第二配线的背透图案存在，则可知压接时的推压力向背透图案的间隙压入透明柔性基材而产生起伏。该起伏状态下的压接可能使多个电极用第二配线发生破损、断线。因此，除了上述构成要素以外，本专利技术人等还设定了具备电磁波屏蔽件侧掩模的构成，上述电磁波屏蔽件侧掩模包含遮光性金属膜，在上述透明柔性基材的第二主面上并且在上述尾部内以在俯视时与包含上述多个电极用第二配线的区域重叠的方式形成。通过这样地构成，能够防止形成多个电极用第二配线的背透图案。具体而言，在透明柔性基材的第二主面上形成了包含遮光性金属膜的电磁波屏蔽件侧掩模后，形成由用于形成一对电磁波屏蔽件用配线的包含导电性粒子的光致抗蚀剂形成的膜。因此，在该膜的电磁波屏蔽件侧掩模存在的部分，之后进行的用于形成多个电极用第二配线的曝光达不到，不形成背透图案。其结果，即使在压接时也不断线，电可靠性高。此外，上述电磁波屏蔽件侧掩模可以被分割，在被分割了的上述电磁波屏蔽件侧掩模的与上述透明柔性基材侧相反侧的面，上述一对电磁波屏蔽件用第二配线分开重叠。在该情况下，进一步，电磁波屏蔽件侧掩模可以与一对电磁波屏蔽件用第一配线电连接，也可以与一对电磁波屏蔽件用第一配线相互独立。此外，上述一对电磁波屏蔽件用第二配线与上述电磁波屏蔽件侧掩模不重叠，可以进一步具备一对电极侧掩模，上述一对电极侧掩模包含遮光性金属膜，在上述透明柔性基材的第一主面上并且在尾部内以在俯视时与上述一对电磁波屏蔽件用第二配线重叠的方式形成。通过这样地构成，能够进一步使电可靠性提高。首先，由于一对电磁波屏蔽件用第二配线与电磁波屏蔽件侧掩模不重叠，因此万一在电磁波屏蔽件侧掩模产生裂缝的情况下，该裂缝也不影响电磁波屏蔽件用第二配线。此外，能够防止形成一对电磁波屏蔽件用第二配线的背透图案。具体而言，在透明柔性基材的第一主面上形成了包含遮光性金属膜的电极侧掩模后，形成由用于形成多个电极用第二配线的包含导电性粒子的光致抗蚀剂形成的膜。因此，之后进行的用于形成一对电磁波屏蔽件用第二配线的曝光达不到该膜的电极侧掩模存在的部分，不形成背透图案。其结果，透明柔性基材的第一主面和第二主面都在第一主面1a侧不形成背透图案，因此在多个电极用第二配线和一对电磁波屏蔽件用第二配线的形成区域，仅叠层顺序不同，叠层材料相等。即，不产生厚度差。如果尾部的夹着包含多个电极用第二配线的区域(中央部)的两端部的厚度因背透图案而变厚，则两端部的硬度变强，中央部易于褶皱。然而，如果不形成一对电磁波屏蔽件用第二配线的背透图案，则没有褶皱。进一步，上述传感器部具有可视区域和包围上述可视区域的边框区域，在上述可视区域上，上述电极、上述电极用第一配线和上述电磁波屏蔽件可以为透明的。上述电极用第二配线和上述电磁波屏蔽件用第二配线所包含的上述导电性粒子可以为金属粉末、将核材表面用导电层被覆了的物质、碳或石墨的任一者。此外，上述电磁波屏蔽件侧掩模的上述遮光性金属膜可以由铜、银、锡、铝或镍的任一者形成。可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种FPC一体型静电电容开关，其具备：/n透明柔性基材，所述透明柔性基材由树脂膜构成，具有传感器部和从所述传感器部的边缘延伸存在的尾部；/n多个电极，所述多个电极在所述透明柔性基材的第一主面上并且在所述传感器部内形成；/n多个电极用第一配线，所述多个电极用第一配线与所述多个电极电连接，且被延长至与所述尾部相邻的边缘而被汇集形成；/n多个电极用第二配线，所述多个电极用第二配线由包含导电性粒子的光致抗蚀剂形成，与所述多个电极用第一配线电连接，且在所述尾部内并列配置而形成；/n电磁波屏蔽件，所述电磁波屏蔽件在所述透明柔性基材的作为与所述第一主面相反面的第二主面上并且以在俯视时与包含所述多个电极的区域重叠的方式形成；/n一对电磁波屏蔽件用第一配线，所述一对电磁波屏蔽件用第一配线与所述电磁波屏蔽件电连接，且被延长至与所述尾部相邻的边缘而形成；/n一对电磁波屏蔽件用第二配线，所述一对电磁波屏蔽件用第二配线由包含导电性粒子的光致抗蚀剂形成，与所述一对电磁波屏蔽件用配线电连接，且在所述尾部内在俯视时与包含所述多个电极用第二配线的区域相比的外侧配置而形成；以及/n电磁波屏蔽件侧掩模，所述电磁波屏蔽件侧掩模包含遮光性金属膜，在所述透明柔性基材的第二主面上并且在所述尾部内以在俯视时与包含所述多个电极用第二配线的区域重叠的方式形成。/n...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180309 JP 2018-0425301.一种FPC一体型静电电容开关，其具备：
透明柔性基材，所述透明柔性基材由树脂膜构成，具有传感器部和从所述传感器部的边缘延伸存在的尾部；
多个电极，所述多个电极在所述透明柔性基材的第一主面上并且在所述传感器部内形成；
多个电极用第一配线，所述多个电极用第一配线与所述多个电极电连接，且被延长至与所述尾部相邻的边缘而被汇集形成；
多个电极用第二配线，所述多个电极用第二配线由包含导电性粒子的光致抗蚀剂形成，与所述多个电极用第一配线电连接，且在所述尾部内并列配置而形成；
电磁波屏蔽件，所述电磁波屏蔽件在所述透明柔性基材的作为与所述第一主面相反面的第二主面上并且以在俯视时与包含所述多个电极的区域重叠的方式形成；
一对电磁波屏蔽件用第一配线，所述一对电磁波屏蔽件用第一配线与所述电磁波屏蔽件电连接，且被延长至与所述尾部相邻的边缘而形成；
一对电磁波屏蔽件用第二配线，所述一对电磁波屏蔽件用第二配线由包含导电性粒子的光致抗蚀剂形成，与所述一对电磁波屏蔽件用配线电连接，且在所述尾部内在俯视时与包含所述多个电极用第二配线的区域相比的外侧配置而形成；以及
电磁波屏蔽件侧掩模，所述电磁波屏蔽件侧掩模包含遮光性金属膜，在所述透明柔性基材的第二主面上并且在所述尾部内以在俯视时与包含所述多个电极用第二配线的区域重叠的方式形成。


2.根据权利要求1所述的FPC一体型静电电容开关，所述电磁波屏蔽件侧掩模被分割，在被分割了的所述电磁波屏蔽件侧掩模的与所述透明柔性基材侧相反侧的面，所述一对电磁波屏蔽件用第二配线分开重叠。


3.根据权利要求2所述的FPC一体型静电电容开关，所述电磁波屏蔽件侧掩模与所述一对电磁波屏蔽件用第一配线电连接。


4.根据权利要求2所述的FPC一体型静电电容开关，所述电磁波屏蔽件侧掩模与所述一对电磁波屏蔽件用第一配线相互独立。


5.根据权利要求1所述的FPC一体型静电电容开关，所述一对电磁波屏蔽件用第二配线与所述电磁波屏蔽件侧掩模不重叠，
所述FPC一体型静电电容开关进一步具备一对电极侧掩模，所述一对电极侧掩模包含遮光性金属膜，在所述透明柔性基材的第一主面上并且在所述尾部内以在俯视时与所述一对电磁波屏蔽件用第二配线重叠的方式形成。


6.根据权利要求1～5所述的FPC一体型静电电容开关，所述传感器部具有可视区域和包围所述可视区域的边框区域，在所述可视区域上，所述电极、所述电极用第一配线和所述电磁波屏蔽件是透明的。


7.根据权利要求1～6所述的FPC一体型静电电容开关，所述电极用第二配线和所述电磁波屏蔽件用第二配线所包含的所述导电性粒子为金属粉末、将核材表面用导电层被覆了的物质、碳或石墨的任一者。


8.根据权利要求1～7所述的FPC一体型静电电容开关，所述电磁波屏蔽件侧掩模的所述遮光性金属膜由铜、银、锡、铝或镍的任一者形成。


9.权利要求1所述的FPC一体型静电电容开关的制造方法，其具备下述工序：
〔1〕使用由树脂膜构成、且在面内具有传感器部和从所述传感器部的边缘延伸存在的尾部的透明柔性基材坯料，在所述透明膜基材坯料的第一主面和作为与所述第一主面相反面的第二主面，分别依次叠层透明...

【专利技术属性】
技术研发人员：西村刚，植田健太，河村真矢，
申请(专利权)人：日写株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP