一种扩散炉用出料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种扩散炉用出料装置，包括炉体，所述炉体的顶部两端均固定连接有第一电机，所述第一电机的输出轴固定连接有第一螺纹杆，两个所述第一螺纹杆的外表面共同螺纹连接有升降架，所述升降架的两侧均固定连接有滑块，所述炉体的内壁对应滑块的位置设置有滑槽，且滑块与滑槽滑动连接，所述升降架的顶部一侧的位置固定连接有第三电机。本实用新型专利技术中，旋转杆能够带动半齿轮转动，半齿轮能够带动齿轮转动，齿轮能够带动固定杆转动，固定杆能够带动石英舟转动，从而可以将石英舟内部的物件自动移出炉体的内部，结构简单，成本低，便于炉体能够自动出料，方便人们使用，同时可以使增加扩散的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉用出料装置
本技术涉及出料装置
，尤其涉及一种扩散炉用出料装置。
技术介绍
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，扩散炉由控制系统、石英舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成，扩散炉有垂直扩散炉和水平扩散炉两种类型。由于扩散炉需要通过高温对物件进行扩散的一种工艺，但扩散结束后，需要人们取出扩散后的物件，所以需要用到一种扩散炉用出料装置，现有的扩散炉出料结构非常复杂，其成本也非常高，操作比较繁琐，使用有一定的不便，有一定的影响。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种扩散炉用出料装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种扩散炉用出料装置，包括炉体，所述炉体的顶部两端均固定连接有第一电机，所述第一电机的输出轴固定连接有第一螺纹杆，两个所述第一螺纹杆的外表面共同螺纹连接有升降架，所述升降架的两侧均固定连接有滑块，所述炉体的内壁对应滑块的位置设置有滑槽本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散炉用出料装置，包括炉体（1），其特征在于：所述炉体（1）的顶部两端均固定连接有第一电机（4），所述第一电机（4）的输出轴固定连接有第一螺纹杆（5），两个所述第一螺纹杆（5）的外表面共同螺纹连接有升降架（7），所述升降架（7）的两侧均固定连接有滑块（20），所述炉体（1）的内壁对应滑块（20）的位置设置有滑槽（21），且滑块（20）与滑槽（21）滑动连接，所述升降架（7）的顶部一侧的位置固定连接有第三电机（15），所述第三电机（15）的输出轴固定连接有第二螺纹杆（16），所述第二螺纹杆（16）的远离第三电机（15）的一端转动连接有固定座（18），所述第二螺纹杆（16）的外表面螺纹连接...

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉用出料装置，包括炉体（1），其特征在于：所述炉体（1）的顶部两端均固定连接有第一电机（4），所述第一电机（4）的输出轴固定连接有第一螺纹杆（5），两个所述第一螺纹杆（5）的外表面共同螺纹连接有升降架（7），所述升降架（7）的两侧均固定连接有滑块（20），所述炉体（1）的内壁对应滑块（20）的位置设置有滑槽（21），且滑块（20）与滑槽（21）滑动连接，所述升降架（7）的顶部一侧的位置固定连接有第三电机（15），所述第三电机（15）的输出轴固定连接有第二螺纹杆（16），所述第二螺纹杆（16）的远离第三电机（15）的一端转动连接有固定座（18），所述第二螺纹杆（16）的外表面螺纹连接有移动板（6），所述移动板（6）的顶部两端均固定连接有固定架（12），两个所述固定架（12）的内侧均通过轴承转动连接有固定杆（11），两个所述固定杆（11）远离固定架（12）的一端共同固定连接有石英舟（2），所述固定杆（11）的外表面固定连接有齿轮（10），所述移动板（6）的顶部固定连接有电机座（9），所述电机座（9）的顶部固定连接有第二电机（14），...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜廷福，
申请(专利权)人：青岛福润德微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37