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本实用新型公开了一种扩散炉用出料装置,包括炉体,所述炉体的顶部两端均固定连接有第一电机,所述第一电机的输出轴固定连接有第一螺纹杆,两个所述第一螺纹杆的外表面共同螺纹连接有升降架,所述升降架的两侧均固定连接有滑块,所述炉体的内壁对应滑块的位置...该专利属于青岛福润德微电子设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛福润德微电子设备有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种扩散炉用出料装置,包括炉体,所述炉体的顶部两端均固定连接有第一电机,所述第一电机的输出轴固定连接有第一螺纹杆,两个所述第一螺纹杆的外表面共同螺纹连接有升降架,所述升降架的两侧均固定连接有滑块,所述炉体的内壁对应滑块的位置...