【技术实现步骤摘要】
一种多线切割机的减震机构
本技术涉及多线切割机，尤其涉及一种多线切割机的减震机构。
技术介绍
多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。在切割过程中，切割线发生的跳动，会影响切割平面的平面度。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是克服现有技术中存在的不足，提供一种多线切割机的减震机构，可以减少切割线的跳动，提高切割精度。本技术是通过以下技术方案予以实现：一种多线切割机的减震机构，包括一对导轮和一对张紧轮，所述切割线安装在一对导轮上，一对所述张紧轮抵接切割线，所述张紧轮与导轮对于切割线的支撑方向相反，所述张紧轮的圆心处设有轮轴，所述轮轴连接支架，所述支架通过缓冲杆与外部连接，所述轮轴的两端通过撑杆与外部连接，所述缓冲杆包括动杆和套管，所述动杆一端固定连接支架，所述动杆的另一端插入套管，所述动杆和套管之间设有弹簧，所述动杆的运动方向为张紧轮的半径方向且垂直于切割线，所述撑杆与动杆之间具有夹角。根据上述技术方案，优选地，所述动杆的插入套管端连接活塞，所述活塞与套管内部构成密闭空气弹簧腔。本技术的有益效果是：张紧轮可以压紧切割线，使切割线保持张力，从而减小跳动。并且为了防止外部震动影响切割线，张紧轮分别通过缓冲杆和撑杆与外部零件连接。缓冲杆通过动杆在套管中压缩弹簧来达到缓冲效果。撑杆可以防止张紧轮的轴向移动。...
【技术保护点】
1.一种多线切割机的减震机构，其特征在于：包括一对导轮和一对张紧轮，切割线安装在一对导轮上，一对所述张紧轮抵接切割线，所述张紧轮与导轮对于切割线的支撑方向相反，所述张紧轮的圆心处设有轮轴，所述轮轴连接支架，所述支架通过缓冲杆与外部连接，所述轮轴的两端通过撑杆与外部连接，所述缓冲杆包括动杆和套管，所述动杆一端固定连接支架，所述动杆的另一端插入套管，所述动杆和套管之间设有弹簧，所述动杆的运动方向为张紧轮的半径方向且垂直于切割线，所述撑杆与动杆之间具有夹角。/n
【技术特征摘要】
1.一种多线切割机的减震机构，其特征在于：包括一对导轮和一对张紧轮，切割线安装在一对导轮上，一对所述张紧轮抵接切割线，所述张紧轮与导轮对于切割线的支撑方向相反，所述张紧轮的圆心处设有轮轴，所述轮轴连接支架，所述支架通过缓冲杆与外部连接，所述轮轴的两端通过撑杆与外部连接，所述缓冲杆包括动杆和套管，所述动杆...
【专利技术属性】
技术研发人员：伊观兰，
申请(专利权)人：天津西美科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12
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