一种多片垂直连续式等离子体处理系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种多片垂直连续式等离子体处理系统，所述等离子体处理系统设置进样室，工艺室和出样室，工艺室内持续产生等离子体对印刷电路板进行处理，进样室和出样室不断地送入和送出印刷电路板，使得整个系统能连续不断地运行,在工艺室中平行布置三片或者以上垂直设置的电极板形成一个电极组，单个电极组内极性相反的两片电极板间产生等离子体并在这一间隙中通过印刷电路板进行处理，单个电极组内产生不少于两个含等离子体的间隙并能同时对不少于两片的印刷电路板进行双面处理，本实用新型专利技术的多片垂直连续式等离子体处理系统在工艺室中平行布置多个垂直电极，电极板两两之间的间隙产生等离子体，使得印刷电路板能够以垂直并排的方式通过各自的电极间隙完成处理，从而在有限的空间内增加处理的印刷电路板的数量。

【技术实现步骤摘要】
一种多片垂直连续式等离子体处理系统
本技术涉及等离子体对材料的处理领域，特别涉及一种应用低气压等离子体放电来对印刷电路板制造过程中产生的孔内胶渣的去除和印刷电路板表面状况的清洁和活化的多片垂直连续式等离子体处理系统。
技术介绍
使用低气压等离子体放电来对印刷电路板进行处理是印刷电路板制造业常用的工艺，而使用连续处理的方式将是等离子体处理工艺的方向。为了实现对印刷电路板的连续处理，需要将整体系统根据腔体的功能划分成3段：进样室，工艺室和出样室。被处理的印刷电路板在进样室中完成从大气压到真空状态的过渡，然后转移到工艺室中进行处理，处理完成后再转移到出样室完成真空到大气的过渡。因此，整体系统的产能限制在工艺处理时间以及进样室和出样室传送产品的速率上。工艺处理时间根据处理的目的不同会有很大的变化，往往会在一个很大的范围内摆动，而进样室和出样室的产品传输速率要求并不会因为工艺目的的不同而进行变化，两者的速率目标是越快越好。然而，受限于机械结构和真空系统的效率，这个传输速率是由上限的，并且很难突破。因此，为了更快地将产品传输进入或排除出去系统，选择每次在进本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多片垂直连续式等离子体处理系统，其特征在于：所述等离子体处理系统设置进样室，工艺室和出样室，工艺室(1)内持续产生等离子体对印刷电路板(2)进行处理，进样室和出样室不断地送入和送出印刷电路板，使得整个系统能连续不断地运行, 在工艺室(1)中平行布置三片或者以上垂直设置的电极板(3)形成一个电极组(4)，单个电极组(4)内极性相反的两片电极板间产生等离子体并在这一间隙中通过印刷电路板(2)进行处理，单个电极组内产生不少于两个含等离子体的间隙并能同时对不少于两片的印刷电路板进行双面处理。/n

【技术特征摘要】
1.一种多片垂直连续式等离子体处理系统，其特征在于：所述等离子体处理系统设置进样室，工艺室和出样室，工艺室(1)内持续产生等离子体对印刷电路板(2)进行处理，进样室和出样室不断地送入和送出印刷电路板，使得整个系统能连续不断地运行,在工艺室(1)中平行布置三片或者以上垂直设置的电极板(3)形成一个电极组(4)，单个电极组(4)内极性相反的两片电极板间产生等离子体并在这一间隙中通过印刷电路板(2)进行处理，单个电极组内产生不少于两个含等离子体的间隙并能同时对不少于两片的印刷电路板进行双面处理。


2.根据权利要求1所述的一种多片垂直连续式等离子体处理系统，其特征在于：两片印刷电路板(2)并排处理时，工艺室(1)内设有三片或四片垂直设置的电极板(3)，其中中间的电极板为单片或极性相同的两片，中间的电极板(3)与两侧的两片电极板(3)极性相反，印刷电路板(2)从两片极性相反的电极板(3)间隙通过。


3.根据权利要求1所述的一种多片垂直连续式等离子体处理系统，其特征在于：三片印刷电路板(2)并排处理时，工艺室(1)内设有四片垂直设置的电极板(3)，电极板(3)的极性正负交替布置，印刷电路板(2)...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈培峰，宗泽源，刘庆峰，程凡雄，汤家云，
申请(专利权)人：扬州国兴技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32