光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统，包括波前像差测量模块：其包括第一光源、第一准直镜、第一分束镜、第一二向色镜、第二二向色镜、反射镜、缩扩束镜组、微透镜阵列和相机；偏心测量模块：其包括第二光源、第二准直镜、分划板、第二分束镜、变焦镜头、成像组件、第一探测器以及共用的第二二向色镜；和非接触间距测量模块：其包括第三光源、第一耦合器、参考臂、第二耦合器、第二探测器、第三准直镜以及共用的第一二向色镜和第二二向色镜。本实用新型专利技术可以将偏心测试、间隔测试和波前像差测试三个功能一体化集成，实现三个功能系统同光路设计，三个功能模块互不影响，切换方便，能减少因为切换组件带来的误差。

【技术实现步骤摘要】
光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统
本技术涉及光学测量领域，特别涉及一种光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统。
技术介绍
传统的光学镜头的装调流程是，在镜片加工完成后，就进入镜头分步式的装配检测流程，首先需要定心仪引导调整镜片偏心，使其与理论光轴重合，然后将镜片移出定心仪的载物台，用间距测量仪器，控制镜片之间的空气间隔，如此往复；最后用像质评价的仪器，进行整个镜头的像质测量。但是，由于需要三台设备，所以三者之间是分布离线测量的，不仅检测效率低下，而且还引入累计误差，带来球差、色差、离焦、倍率变化、视场偏移等，降低成像质量。中国专利CN201821412668.7，公开了“一种光学镜头的间距偏心和波前像差一体化测量装置”，其能够同时实现间距测量、偏心测量和波前测量，但是该系统的间距测量和波前测量光路采用自下而上，而偏心光路自上而下，在系统组装的过程中，需要将从气浮台下方调整波前像差模块将其光轴与偏心光路光轴调到共路，由于下方空间有限，导致操作困难。另外，在系统完成偏心测试之后再进行波前像差测试时，需要转动转轮切换到反射镜本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统，其特征在于，包括波前像差测量模块、偏心测量模块和非接触间距测量模块；/n所述波前像差测量模块包括第一光源、第一准直镜、第一分束镜、第一二向色镜、第二二向色镜、反射镜、缩扩束镜组、微透镜阵列和相机；/n所述偏心测量模块包括第二光源、分划板、第二分束镜、变焦镜头、成像组件、第一探测器以及与所述波前像差测量模块共用的第二二向色镜；/n所述非接触间距测量模块包括第三光源、第一耦合器、参考臂、第二耦合器、第二探测器、第三准直镜以及与所述波前像差测量模块共用的第一二向色镜和第二二向色镜；/n所述第一光源出射的光经所述第一准直镜准直、所述第一分束镜反射后...

【技术特征摘要】
1.一种光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统，其特征在于，包括波前像差测量模块、偏心测量模块和非接触间距测量模块；
所述波前像差测量模块包括第一光源、第一准直镜、第一分束镜、第一二向色镜、第二二向色镜、反射镜、缩扩束镜组、微透镜阵列和相机；
所述偏心测量模块包括第二光源、分划板、第二分束镜、变焦镜头、成像组件、第一探测器以及与所述波前像差测量模块共用的第二二向色镜；
所述非接触间距测量模块包括第三光源、第一耦合器、参考臂、第二耦合器、第二探测器、第三准直镜以及与所述波前像差测量模块共用的第一二向色镜和第二二向色镜；
所述第一光源出射的光经所述第一准直镜准直、所述第一分束镜反射后透射所述第一二向色镜，然后由所述第二二向色镜反射至待测镜头，通过待测镜头后的光经所述反射镜反射后再次经过待测镜头，然后经所述第二二向色镜反射、第一二向色镜透射、第一分束镜透射后再依次经过所述缩扩束镜组、微透镜阵列到达所述相机，实现待测镜头的波前像差测量；
所述第二光源出射的光经过所述分划板后...

【专利技术属性】
技术研发人员：邢利娜，史国华，高峰，何益，张欣，
申请(专利权)人：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所，
类型：新型
国别省市：江苏;32