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本实用新型公开了一种光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统,包括波前像差测量模块:其包括第一光源、第一准直镜、第一分束镜、第一二向色镜、第二二向色镜、反射镜、缩扩束镜组、微透镜阵列和相机;偏心测量模块:其包括第二光源、第二准直镜、分划...该专利属于中国科学院苏州生物医学工程技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州生物医学工程技术研究所授权不得商用。
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本实用新型公开了一种光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统,包括波前像差测量模块:其包括第一光源、第一准直镜、第一分束镜、第一二向色镜、第二二向色镜、反射镜、缩扩束镜组、微透镜阵列和相机;偏心测量模块:其包括第二光源、第二准直镜、分划...