【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种光学检测系统，特别涉及一种旋转对称的大口径抛物面镜检测系统，属 于先进光学制造与检测
技术介绍
以抛物面镜为主镜的两镜光学系统在天文、空间光学和军事等领域得到了愈来愈广泛的 应用，随着光学制造技术的不断发展所需抛物面镜的口径越来越大。大口径抛物面镜的制造 需要相应的检测技术。然而，对大口径抛物面镜进行高精度检测仍然存在很多挑战。在大口径抛物面镜的抛光加工阶段，通常的定量检测系统中所涉及到的检测方法有自准 直法和补偿器零检验法。二次曲面存在一对共轭的无像差点，若表面具有理想形状，当点光 源精确置于其中一个几何焦点上，由表面反射的光线形成球面波前，其球心与另一几何焦点 重合。抛物面的共轭点为几何焦点和无穷远处，对其进行自准直检测需要一块与被测抛物镜 口径相当的高精度平面反射镜，然而对于大口径抛物面镜所需的高精度平面反射镜通常制造 困难，价格昂贵，对于超大口径抛物面镜的自准直检测更是难以实现。补偿器零检验法是广泛使用的一种大口径抛物面镜的检测方法，该方法的实质是借助补 偿器把平面或球面波前转换为与被测抛物面镜理论形状重合的抛物面波前，由补...
【技术保护点】
一种大口径抛物面镜检测系统，其特征在于：包括菲索型干涉仪（１）、平面反射镜（２）、被测大口径抛物面镜（３）、电控平移台（６）、数字驱动器（４）及计算机系统（５），计算机系统（５）通过数字驱动器（４）与电控平移台（６）连接，平面反射镜（２）用来实现对抛物面镜中心部分的自准直检测，然后通过计算机系统（５）控制电控平移台（６）移动菲索型干涉仪（１），所产生的一系列不同曲率半径参考球面波前将与被测大口径抛物面镜（３）超过自准直检测范围的相应环形区域相匹配，在所匹配的环形区域里的入射参考球面波前与被测大口径抛物面（３）表面之间的偏离量将减小到干涉仪的测量范围内，产生一系列可分辨的环形...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：侯溪，伍凡，陈强，雷柏平，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：51[中国|四川]
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