指示工作流体压力输出量的传感器制造技术

一种指示工作流体压力输出量的传感器，它包括： 一个具有两条通道的部分，一条通道充有隔离液，并从第一端口延伸至用来检测压力输出量的敏感装置，另一通道内充有工作流体； 一个将第一和第二通道隔离开并阻止工作流体进入第一通道的隔离膜片； 用来密封膜片并将工作流体的压力传至膜片的密封装置；且 上述隔离膜片由脆性抗腐蚀材料构成。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及压力传感器，尤其涉及压力传感器中的隔离膜片。压力传感器具有与隔离膜片相连的压力敏感元件。隔离膜片将压力敏感元件与被测腐蚀性工作流体隔离开来。借助于一通道中具有显著不可缩性的隔离液，压力从隔离膜片传至敏感元件。美国专利“组合式压力传感器”(专利号4,833,922)和“隔离降应力式压力传感器”(专利号5,094,109)描述了这类压力传感器。由于隔离膜片暴露在工作流体中，它接触的腐蚀性介质可能损坏它的结构。兰宝石和陶瓷的强度和抗腐蚀性都很好，因此它们很适合作隔离膜片材料。然而，既使采用这些材料，膜片的密封应力仍会改变膜片的刚度和形状并导致误差的出现。此外，由这些材料制成的膜片并不具有为获得精确的压力测量结果而要求的足够流体排量。现有密封结构的抗腐蚀性仍很差。本专利技术是一种指示工作液体压力输出值传感器。该传感器中有两条通道，一条通道充入隔离液，并从第一端口延伸至敏感装置，另一条通道容纳工作液体，并具有第二端口。隔离膜片将第一和第二端口隔离开，也将隔离液与工作流体隔离开。贴近膜片的密封件将膜片与工作液体的压力联系起来。该密封件由防腐蚀的平面弹簧支撑。此外，装有膜片的膜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：罗格·L·弗里克，罗伯特·K·斯奈德，
申请(专利权)人：罗斯蒙德公司，
类型：发明
国别省市：