成膜装置制造方法及图纸

提供使用多个基板保持器、对基板的两面能够高效率地成膜、小型且结构简单的通过型的成膜装置。在真空槽（2）内具备对保持于基板保持器的基板（10）上进行成膜的第1及第2成膜区域（4、5）、相对于铅垂面的投影形状形成为连续的环状地设置成通过第1及第2成膜区域的搬运路径、在使多个基板保持器水平的状态下沿搬运路径搬运的基板保持器搬运机构。基板保持器搬运机构具备与设置于各基板保持器的被驱动部接触而使基板保持器向移动方向推压来移动的多个驱动部，该驱动部关于相邻的基板保持器，以移动方向下游侧的基板保持器的移动方向上游侧的端部、移动方向上游侧的基板保持器的移动方向下游侧的端部接近的状态在第1及第2成膜区域搬运。

【技术实现步骤摘要】
成膜装置
本专利技术涉及在真空中对保持于基板保持器的基板的两面进行通过成膜的成膜装置的技术。
技术介绍
以往，已知将多个被成膜基板分别载置于托盘等基板保持器来进行通过成膜（通過成膜）的成膜装置。作为这样的成膜装置，将作为成膜对象的基板向真空槽内导入(装载)来使基板保持器保持，将成膜已结束的基板从基板保持器卸下来向真空槽外排出(卸载)。在现有技术的方案中，基板在从装载位置至卸载位置，其成膜面被水平地保持，沿在水平面内构成的环状的搬运路径移动的同时，进行各处理。结果，在这样的现有技术中，有无法避免成膜装置的大型化及复杂化的问题。此外，在将保持着各基板的多个基板保持器搬运来进行通过成膜的情况下，优选地使成膜的效率尽可能大。但是，进行这样的通过成膜的装置中有难以高效率地进行成膜的问题。特别地，在对基板的两面进行成膜的装置中，也有上述问题会更严重的问题。专利文献1：日本特开2007-031821号公报。
技术实现思路
本专利技术是考虑这样的以往的技术问题而作出的，其目的在于，提供一种成膜装置，前述成膜装置使用多个基板保持器，对于基板的两面能够高效率地成膜，且为小型且简单的结构，该成膜装置是通过型的。用于实现上述目的的本专利技术是一种成膜装置，前述成膜装置具备真空槽、第1成膜区域、第2成膜区域、基板保持器搬运机构，前述真空槽形成单一的真空氛围，前述第1成膜区域设置于前述真空槽内，在保持于基板保持器的基板处形成第1膜，前述第2成膜区域设置于前述真空槽内的前述第1成膜区域的下方或上方的某一方，在保持于前述基板保持器的前述基板形成第2膜，前述基板保持器搬运机构使多个前述基板保持器通过第1成膜区域和前述第2成膜区域，前述基板保持器搬运机构具有搬运路径和驱动部，前述搬运路径形成为，投影至铅垂面的形状为环状的形状，前述驱动部与设置于前述多个基板保持器的被驱动部接触，在维持前述基板保持器的水平状态的同时，推压前述被驱动部，使前述基板保持器沿前述搬运路径移动，前述搬运机构具有第1搬运部和第2搬运部，前述第1搬运部被从前述第1成膜区域的一端遍及至另一端地配置，借助前述驱动部使前述基板保持器通过前述第1成膜区域，前述第2搬运部被从前述第2成膜区域的一端遍及至另一端地配置，借助前述驱动部使前述基板保持器通过前述第2成膜区域，在前述基板保持器搬运机构设置有搬运折回部，前述搬运折回部在维持前述基板保持器的水平状态的同时使前述基板保持器从前述第1搬运部向前述第2搬运部移动，在前述搬运机构，设置有使前述驱动部从前述第2搬运部向前述第1搬运部移动的驱动部折回部。此外，本专利技术的成膜装置为，在前述基板保持器的移动方向的下游侧的端部和移动方向的上游侧的端部，设置有将成膜材料屏蔽的突出状的屏蔽部。本专利技术的成膜装置为，相邻地移动的两个前述基板保持器的前述屏蔽部中，先移动的前述基板保持器的前述移动方向的下游侧的前述屏蔽部和后移动的前述基板保持器的前述移动方向的上游侧的前述屏蔽部形成为，距前述基板保持器的底面的高度不同，配置成移动时重合。本专利技术的成膜装置为，前述基板保持器搬运机构具有架设于以旋转轴线为中心旋转的两个驱动轮的搬运驱动部件，前述驱动部包括分别设置于前述搬运驱动部件的初始移动用驱动部和驱动用驱动部，在各前述基板保持器的前述被驱动部，包括设置于前述基板保持器的移动方向的上游侧的上游侧被驱动部和设置于下游侧的下游侧被驱动部，前述初始移动用驱动部与前述下游侧被驱动部接触，推压前述下游侧被驱动部，使前述基板保持器直线移动，前述驱动用驱动部配置于比前述初始移动用驱动部靠移动方向的后方侧的位置，在位于前述驱动轮的侧面地旋转中，与前述上游侧被驱动部接触地推压，使前述基板保持器比前述初始移动用驱动部的移动速度快地移动，前述驱动轮位于被前述初始移动用驱动部直线移动的前述基板保持器的移动方向上游侧。进而，本专利技术的成膜装置为，多个成膜对象基板沿相对于该移动方向正交的方向排列。专利技术效果本专利技术中，在形成单一的真空氛围的真空槽内，具备基板保持器搬运机构，前述基板保持器搬运机构的搬运路径相对于铅垂面的投影形状形成为连续的环状，并且在使多个基板保持器水平的状态下沿搬运路径搬运，所以能够提供小型的成膜装置。此外，在本专利技术中，基板保持器搬运机构具有与分别设置于多个基板保持器的被驱动部接触地将该基板保持器向移动方向推压来使其移动的多个驱动部，该驱动部关于相邻的两个基板保持器，构成为在移动方向下游侧的基板保持器的移动方向上游侧的端部和移动方向上游侧的基板保持器的移动方向下游侧的端部接近的状态下在成膜区域搬运，所以能够在不进行复杂的控制的情况下在搬运路径配置尽可能多的基板保持器，由此能够提供结构简单且高效率地进行成膜的成膜装置。此外，能够使多个基板保持器之间的间隔比现有技术窄，所以能够减少成膜材料的浪费地高效率地使用，并且能够减少通过基板保持器之间的成膜材料的量，所以能够减少成膜材料向真空槽内的附着量，此外，能够防止真空槽内的成膜材料的污染。此外，能够提供能够对基板的两面高效率地进行成膜且为小型且结构简单的通过型的成膜装置。此外，借助屏蔽部，能够防止真空槽内的成膜材料的污染。此外，通过适当地设定驱动部间的距离，能够使多个基板保持器自动地接近来移动。此外，在使第1及第2搬运部以一定的速度搬运的状态下，即使在从第1旋转驱动机构侧排出基板保持器时，也能够借助搬运驱动部件的加速用驱动部将基板保持器加速，由此，能够使排出的基板保持器相对于后续的基板保持器自动地离开来顺畅地排出。在从第1旋转驱动机构侧导入基板保持器的情况下通过第1旋转驱动机构时，且在从第1旋转驱动机构侧排出基板保持器时，能够借助搬运驱动部件的加速用驱动部容易地将基板保持器加速。此外，在本专利技术中，在构成为基板保持器沿相对于该移动方向正交的方向将多个成膜对象基板排列来保持的情况下，与现有技术那样的搬运沿基板的移动方向将多个基板排列来保持的基板保持器来进行成膜的情况相比较，能够减少基板保持器的长度及与此相伴的剩余空间，所以能够使成膜装置更节省空间。附图说明图1是表示本专利技术的成膜装置的实施方式的整体的概略结构图。图2是表示本实施方式的基板保持器搬运机构的基本结构的俯视图。图3是表示该基板保持器搬运机构的要部结构的主视图。图4(a)~图4(c)表示用于本实施方式的基板保持器的结构，图4(a)是俯视图，图4(b)是主视图，图4(c)是表示屏蔽部的附近的放大图。图5(a)、图5(b)是表示基板保持器搬运机构的第1及第2驱动部的尺寸、基板保持器的尺寸的关系的说明图。图6是表示基板向真空槽内的导入动作的说明图(其1)。图7是表示基板向真空槽内的导入动作的说明图(其2)。图8是表示基板向真空槽内的导入动作的说明图(其3)。图9(a)、图9(b)是在本实施方式中基板保持器被向基板保持器搬运机构传递的动作的说明图(其1)。图10(本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种成膜装置，其特征在于，/n前述成膜装置具备真空槽、第1成膜区域、第2成膜区域、基板保持器搬运机构，/n前述第1成膜区域设置于前述真空槽内，在保持于基板保持器的基板处形成第1膜，/n前述第2成膜区域设置于前述真空槽内的前述第1成膜区域的下方或上方的某一方，在保持于前述基板保持器的前述基板形成第2膜，/n前述基板保持器搬运机构使多个前述基板保持器通过第1成膜区域和前述第2成膜区域，/n前述基板保持器搬运机构具有驱动部，/n前述驱动部与设置于多个前述基板保持器的被驱动部接触，在维持前述基板保持器的水平状态的同时，推压前述被驱动部，使前述基板保持器沿搬运路径移动，/n前述基板保持器搬运机构具有第1搬运部和第2搬运部，/n前述第1搬运部被从前述第1成膜区域的一端遍及至另一端地配置，借助前述驱动部使前述基板保持器通过前述第1成膜区域，/n前述第2搬运部被从前述第2成膜区域的一端遍及至另一端地配置，借助前述驱动部使前述基板保持器通过前述第2成膜区域，/n在前述基板保持器搬运机构设置有搬运折回部，前述搬运折回部使前述基板保持器从前述第1搬运部向前述第2搬运部移动，/n在前述基板保持器搬运机构，设置有使前述驱动部从前述第2搬运部向前述第1搬运部移动的驱动部折回部，/n前述搬运折回部构成为，具有反转部，借助设置于前述反转部的支承部、设置于前述搬运折回部的支承部将前述基板保持器支承，借助前述驱动部推压前述被驱动部，由此，在将前述基板保持器维持水平状态的同时，使其从前述第1搬运部向前述第2搬运部移动。/n...

【技术特征摘要】
20161104 JP 2016-2163431.一种成膜装置，其特征在于，
前述成膜装置具备真空槽、第1成膜区域、第2成膜区域、基板保持器搬运机构，
前述第1成膜区域设置于前述真空槽内，在保持于基板保持器的基板处形成第1膜，
前述第2成膜区域设置于前述真空槽内的前述第1成膜区域的下方或上方的某一方，在保持于前述基板保持器的前述基板形成第2膜，
前述基板保持器搬运机构使多个前述基板保持器通过第1成膜区域和前述第2成膜区域，
前述基板保持器搬运机构具有驱动部，
前述驱动部与设置于多个前述基板保持器的被驱动部接触，在维持前述基板保持器的水平状态的同时，推压前述被驱动部，使前述基板保持器沿搬运路径移动，
前述基板保持器搬运机构具有第1搬运部和第2搬运部，
前述第1搬运部被从前述第1成膜区域的一端遍及至另一端地配置，借助前述驱动部使前述基板保持器通过前述第1成膜区域，
前述第2搬运部被从前述第2成膜区域的一端遍及至另一端地配置，借助前述驱动部使前述基板保持器通过前述第2成膜区域，
在前述基板保持器搬运机构设置有搬运折回部，前述搬运折回部使前述基板保持器从前述第1搬运部向前述第2搬运部移动，
在前述基板保持器搬运机构，设置有使前述驱动部从前述第2搬运部向前述第1搬运部移动的驱动部折回部，
前述搬运折回部构成为，具有反转部，借助设置于前述反转部的支承部、设置于前述搬运折回部的支承部将前述基板保持器支承，借助前述驱动部推压前述被驱动部，由此，在将前述基板保持器维持水平状态的同时，...

【专利技术属性】
技术研发人员：松崎淳介，高桥明久，水岛优，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：日本;JP