气体分配管路系统及气体分配阀箱技术方案

本实用新型专利技术提供一种气体分配管路系统及气体分配阀箱，气体分配管路系统包括：主管路及若干条用气管路，主管路向各用气管路中输送制程气体；氮气吹扫管路，与各所述用气管路相连通；抽负压单元，与各用气管路均相连通，用于对各用气管路进行抽负压。本实用新型专利技术的气体分配管路系统及气体分配阀箱，通过氮气吹扫管路及抽负压单元，通过多次氮气吹扫及抽负压达到将管路中气体抽净功能，特别是将有毒有害气体抽净，另外，扩充口管路增设压力监控，可根据压力表显示值评估拆装风险。

【技术实现步骤摘要】
气体分配管路系统及气体分配阀箱
本技术属于流体
，特别是涉及一种气体分配管路系统及气体分配阀箱。
技术介绍
在现代工业及高新技术的发展中，几乎所有的智能器件都离不开半导体，而半导体的加工包括像金属、介电和半导体材料的化学气相沉积等这样的处理，表面层的刻蚀，光刻胶掩膜层的抛光等等，在半导体的这些加工过程中，需要用到大量气体进行反应，需要引入多种气体，这些气体各自通过气体分配阀箱(ValveManifoldBox，VMB)来进行分流配送。当然，除此之外，在流体
，多种情况需要通过气体分配管路系统进行分流配送。目前，一般的气体分配管路系统包括主管路和若干条用气支路，其中，某一支路需要维修更换阀件时，阀箱不能对主管路及各支路的制程气体进行处理，需要各支路用气点设备停机配合，特别是对于有毒有害气体，维修前必须将管路中的气体排放吹扫干净，避免拆装过程中有毒有害气体泄漏到环境中进而引发安全和人身伤害事件，但因为VMB不具备单个支路吹扫功能，需要主管路上的其他设备配合对支路中的气体进行吹扫处理，会影响主管路和其他支管路的气体供应，此情况无法保障生产的持续进行。因此，如何提供一种气体分配管路系统以及基于所述气体分配管路系统的气体分配阀箱以解决现有技术中所存在的上述问题实属必要。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种气体分配管路系统及气体分配阀箱，用于解决现有技术中气体分配阀箱难以实现单个支路吹扫等问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种气体分配管路系统所述气体分配管路系统包括：主管路及若干条用气管路，所述主管路包括相连通的主路段及分配路段，其中，所述分配路段与各所述用气管路相连通，并向各所述用气管路中输送制程气体；氮气吹扫管路，包括送气主路及若干条与所述送气主路相连通的送气支路，各所述送气支路对应与各所述用气管路相连通；以及抽负压单元，与各所述用气管路均相连通，用于对各所述用气管路进行抽负压。可选地，所述主管路的所述主路段上依次设置有制程气体进口阀、手动隔离阀、压力监控装置以及气动隔离阀；各所述用气管路上自与所述分配路段相连通的一端依次设置有气动隔离阀、调压阀、压力监控装置以及手动隔离阀。可选地，所述氮气吹扫管路的所述送气主路上自氮气进气口依次设置有手动隔离阀、单向阀、压力监控装置以及过滤装置。可选地，所述主管路与所述用气管路之间形成第一连通处，所述氮气吹扫管路的所述送气支路与所述用气管路之间形成第二连通处，其中，自所述第一连通处至所述第二连通处之间依次设置有管路隔离阀及防氮气泄漏隔离阀；且所述送气支路上设置有隔离阀。可选地，所述气体分配管路系统还包括扩充口管路，所述扩充口管路一端与外界连通，另一端与所述主管路的所述主路段相连通，所述扩充管路自其与所述主路段相连通的位置依次设置有第一隔离阀及第二隔离阀。可选地，所述第一隔离阀及所述第二隔离阀之间设置有压力监控装置。可选地，所述扩充口管路与所述主路段上的制程气体进口阀与主管路隔离阀之间的路段相连通。可选地，所述氮气吹扫管路包括高纯氮气扫管路，所述抽负压单元包括基于普通氮气的抽负压单元，不同所述用气管路分别基于所述氮气吹扫管路进行氮气吹扫及基于所述抽负压单元进行抽负压。可选地，所述抽负压单元包括真空发生装置以及与所述真空发生装置均相连通的进气管段、出气管段以及连通管段，其中，所述连通管段包括连通干路及若干个与所述连通干路相连通的连通支路，所述连通干路与所述真空发生装置相连通，各所述连通支路对应与各所述用气管路相连通。可选地，所述进气管段上设置有进气隔离阀；所述连通管段的所述连通干路上自所述真空发生装置至与所述连通支路的连通处之间依次设置有单向阀、手动隔离阀以及压力监控装置；所述连通支路上设置有排放阀。本技术还提供一种气体分配阀箱，其特征在于，所述气体分配阀箱包括箱体、背板及如上述方案中任意一项所述的气体分配管路系统，其中，所述背板固定于所述箱体上，所述气体分配管路系统固定于所述背板上。如上所述，本技术的气体分配管路系统及气体分配阀箱，通过氮气吹扫管路及抽负压单元，通过多次氮气吹扫及抽负压达到将管路中气体抽净功能，特别是将有毒有害气体抽净，另外，扩充口管路增设压力监控，可根据压力表显示值评估拆装风险。附图说明图1显示为本技术实施例提供的气体分配管路系统的示意图。元件标号说明100主管路101主路段101a制程气体进口阀101b手动隔离阀101c压力监控装置101d气动隔离阀102分配路段103用气管路103a气动隔离阀103b调压阀103c压力监控装置103d手动隔离阀200氮气吹扫管路201送气主路201a手动隔离阀201b单向阀201c压力监控装置201d过滤装置202送气支路202a隔离阀203防氮气泄漏阀300扩充口管路301第二隔离阀302第一隔离阀303压力监控装置401氮气进气管段401a氮气进气隔离阀402出气管段403真空发生装置404连通管段405连通干路405a单向阀405b手动隔离阀405c压力监控装置406连通支路406a排放阀K1第一连通处K2第二连通处具体实施方式以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。如在详述本技术实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本技术保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。为了方便描述，此处可能使用诸如“之下”、“下方”、“低于”、“下面”、“上方”、“上”等的空间关系词语来描述附图中所示的一个元件或特征与其他元件或特征的关系。将理解到，这些空间关系词语意图包含使用中或操作中的器件的、除了附图中描绘的方向之外的其他方向。此外，当一层被称为在两层“之间”时，它可以是所述两层之间仅有的层，或者也可以存在一个或多个介于其间的层。在本申请的上下文中，所描述的第一特征在第二特征“之上”的结构可以包括第一和第二特征形成为直接接触的实施例，也可以包括另外的特征形成在第一和第二特征之间的实施例，这样第一和第二特征可能不是直接接触。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，遂图示中仅显示与本技术中有关本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体分配管路系统，其特征在于，所述气体分配管路系统包括：/n主管路及若干条用气管路，所述主管路包括相连通的主路段及分配路段，其中，所述分配路段与各所述用气管路相连通，并向各所述用气管路中输送制程气体；/n氮气吹扫管路，包括送气主路及若干条与所述送气主路相连通的送气支路，各所述送气支路对应与各所述用气管路相连通；以及/n抽负压单元，与各所述用气管路均相连通，用于对各所述用气管路进行抽负压。/n

【技术特征摘要】
1.一种气体分配管路系统，其特征在于，所述气体分配管路系统包括：
主管路及若干条用气管路，所述主管路包括相连通的主路段及分配路段，其中，所述分配路段与各所述用气管路相连通，并向各所述用气管路中输送制程气体；
氮气吹扫管路，包括送气主路及若干条与所述送气主路相连通的送气支路，各所述送气支路对应与各所述用气管路相连通；以及
抽负压单元，与各所述用气管路均相连通，用于对各所述用气管路进行抽负压。


2.根据权利要求1所述的气体分配管路系统，其特征在于，所述主管路的所述主路段上依次设置有制程气体进口阀、手动隔离阀、压力监控装置以及气动隔离阀；各所述用气管路上自与所述分配路段相连通的一端依次设置有气动隔离阀、调压阀、压力监控装置以及手动隔离阀。


3.根据权利要求1所述的气体分配管路系统，其特征在于，所述氮气吹扫管路的所述送气主路上自氮气进气口依次设置有手动隔离阀、单向阀、压力监控装置以及过滤装置。


4.根据权利要求1所述的气体分配管路系统，其特征在于，所述主管路与所述用气管路之间形成第一连通处，所述氮气吹扫管路的所述送气支路与所述用气管路之间形成第二连通处，其中，自所述第一连通处至所述第二连通处之间依次设置有管路隔离阀及防氮气泄漏隔离阀；且所述送气支路上设置有隔离阀。


5.根据权利要求1所述的气体分配管路系统，其特征在于，所述气体分配管路系统还包括扩充口管路，所述扩充口管路一端与外界连通，另一端与所述主管路的所述主路段相连...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈玲丽，闫梦晗，
申请(专利权)人：华润微电子重庆有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆;50