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本实用新型提供一种气体分配管路系统及气体分配阀箱，气体分配管路系统包括：主管路及若干条用气管路，主管路向各用气管路中输送制程气体；氮气吹扫管路，与各所述用气管路相连通；抽负压单元，与各用气管路均相连通，用于对各用气管路进行抽负压。本实用新型...
该专利属于华润微电子(重庆)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华润微电子(重庆)有限公司授权不得商用。

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