一种新型靶材固定装置制造方法及图纸

为了解决现有的通过螺丝将靶材锁死在铜块上引起的靶材散热效果差的问题，本实用新型专利技术提出一种新型靶材固定装置，其特征在于：其包括：靶材固定装置主体1、防呆螺旋纹2和内圈凸起固定环3，其中，靶材固定装置主体1为圆环形结构，在圆环形结构的侧壁外部设有一个或多个防呆螺旋纹2，内圈凸起固定环3位于圆环形结构的侧壁内部，内圈凸起固定环3沿着圆环形结构的内侧壁向外延伸并超出靶材固定装置主体1，靶材主体4穿过靶材固定装置主体1的圆环形结构的内部。

【技术实现步骤摘要】
一种新型靶材固定装置
本技术属于表面处理
，较为具体的，涉及到一种新型靶材固定装置。
技术介绍
目前，在PVD真空镀膜
，靶材采用圆盘形靶材，在圆盘型靶材的中心固定有螺丝，并通过螺丝打入到铜块上，铜块的另外一端设有冷却装置，冷却装置需要透过铜块对圆盘形靶材进行散热。由于圆盘型靶材与铜块的固定方式是通过螺丝将两者的中心进行固定，这样就使得圆盘型靶材和铜块的厚度都比较厚，因为只有当圆盘型靶材和铜块的厚度都达到固定的厚度，才能进行螺丝锁死固定。但是如果靶材采用这种固定方式，就会导致靶材的散热很困难。
技术实现思路
为了解决现有的通过螺丝将靶材锁死在铜块上引起的靶材散热效果差的问题，本技术提出一种新型靶材固定装置，其无需在靶材的内部去固定螺丝，也无需将螺丝从靶材的内部引出并固定在靶材的中心，而是直接设置一个圆环形靶材固定装置，使得其能够套在靶材周围，并且在铜块的周围设置轨道，使得圆环形靶材固定装置的防呆螺旋纹能够直接滑入轨道，实现靶材的固定。一种新型靶材固定装置，其特征在于：其包括：靶材固定装置主体1、防呆螺旋纹2和内圈凸起固定环3，其中，靶材固定装置主体1为圆环形结构，在圆环形结构的侧壁外部设有一个或多个防呆螺旋纹2，内圈凸起固定环3位于圆环形结构的侧壁内部，内圈凸起固定环3沿着圆环形结构的内侧壁向外延伸并超出靶材固定装置主体1，靶材主体4穿过靶材固定装置主体1的圆环形结构的内部。进一步的，内圈凸起固定环3的高度为1～5mm，这样比较有利于嵌入到铜块周围的圆形轨道中，实现预固定作用。进一步的，当防呆螺旋纹2的数量为多个时，优选采用4个，分别为第一防呆螺旋纹21、第二防呆螺旋纹22、第三防呆螺旋纹23和第四防呆螺旋纹24，所述的第一防呆螺旋纹21、第二防呆螺旋纹22、第三防呆螺旋纹23和第四防呆螺旋纹24均匀分布在靶材固定装置主体1的同一个圆周上。进一步的，第一防呆螺旋纹21、第二防呆螺旋纹22、第三防呆螺旋纹23和第四防呆螺旋纹24的大头均位于相同的顺时针方向或者逆时针方向，这样可以使得防呆螺旋纹2的大头方向被预卡入铜块周围的轨道后，能够顺利卡入，当然，铜块周围的轨道与防呆螺旋纹2的结构匹配，这样可以防止旋错方向。进一步的，靶材主体4包括上盖41和圆柱形侧面42，上盖41上设有外部凸起边缘411，上盖41的下表面与圆柱形侧面42的顶部固定连接，且外部凸起边缘411位于圆柱形侧面42的外部。进一步的，圆柱形侧面42的外壁穿过靶材固定装置主体1的内壁，且外部凸起边缘411卡在靶材固定装置主体1的侧壁的上表面上。进一步的，靶材固定装置主体1的侧壁的上表面上还包括有多个螺钉孔，螺钉孔中可以打入螺丝，螺丝会与铜块周围的金属件连接，从而实现铜块与靶材的间接固定。进一步的，螺钉孔的数量为4个，分别为第一螺钉孔11、第二螺钉孔12、第三螺钉孔13和第四螺钉孔14，且第一螺钉孔11、第二螺钉孔12、第三螺钉孔13和第四螺钉孔14分别位于均匀分布在同一个圆周上。由此可见，采用本技术的新型靶材固定装置，可以同时降低靶材和铜块的厚度，使得冷却装置对靶材的散热效果大大增加。为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术的权利要求。凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、同等替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围内。附图说明图1为靶材固定装置的结构示意图。图2为靶材固定装置的结构示意图。图3为靶材与靶材固定装置结合的结构示意图。图4为靶材与靶材固定装置结合的结构示意图。图5为靶材与靶材固定装置结合的结构示意图。主要元件符号说明：靶材固定装置主体1第一螺钉孔11第二螺钉孔12第三螺钉孔13第四螺钉孔14防呆螺旋纹2第一防呆螺旋纹21第二防呆螺旋纹22第三防呆螺旋纹23第四防呆螺旋纹24内圈凸起固定环3靶材主体4上盖41外部凸起边缘411圆柱形侧面42如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本技术。具体实施方式实施例1：如图1所示，为靶材固定装置的结构示意图；如图2所示，为靶材固定装置的结构示意图；如图3所示，为靶材与靶材固定装置结合的结构示意图；如图4所示，为靶材与靶材固定装置结合的结构示意图；如图5所示，为靶材与靶材固定装置结合的结构示意图。一种新型靶材固定装置，其特征在于：其包括：靶材固定装置主体1、防呆螺旋纹2和内圈凸起固定环3，其中，靶材固定装置主体1为圆环形结构，在圆环形结构的侧壁外部设有4个防呆螺旋纹2，分别为第一防呆螺旋纹21、第二防呆螺旋纹22、第三防呆螺旋纹23和第四防呆螺旋纹24，所述的第一防呆螺旋纹21、第二防呆螺旋纹22、第三防呆螺旋纹23和第四防呆螺旋纹24均匀分布在靶材固定装置主体1的同一个圆周上，内圈凸起固定环3位于圆环形结构的侧壁内部，内圈凸起固定环3沿着圆环形结构的内侧壁向外延伸并超出靶材固定装置主体1，靶材主体4穿过靶材固定装置主体1的圆环形结构的内部。内圈凸起固定环3的高度为2mm，这样比较有利于嵌入到铜块周围的圆形轨道中，实现预固定作用。第一防呆螺旋纹21、第二防呆螺旋纹22、第三防呆螺旋纹23和第四防呆螺旋纹24的大头均位于相同的顺时针方向或者逆时针方向，这样可以使得防呆螺旋纹2的大头方向被预卡入铜块周围的轨道后，能够顺利卡入，当然，铜块周围的轨道与防呆螺旋纹2的结构匹配，这样可以防止旋错方向。靶材主体4包括上盖41和圆柱形侧面42，上盖41上设有外部凸起边缘411，上盖41的下表面与圆柱形侧面42的顶部固定连接，且外部凸起边缘411位于圆柱形侧面42的外部。圆柱形侧面42的外壁穿过靶材固定装置主体1的内壁，且外部凸起边缘411卡在靶材固定装置主体1的侧壁的上表面上。靶材固定装置主体1的侧壁的上表面上还包括有多个螺钉孔，螺钉孔中可以打入螺丝，螺丝会与铜块周围的金属件连接，从而实现铜块与靶材的间接固定。螺钉孔的数量为4个，分别为第一螺钉孔11、第二螺钉孔12、第三螺钉孔13和第四螺钉孔14，且第一螺钉孔11、第二螺钉孔12、第三螺钉孔13和第四螺钉孔14分别位于均匀分布在同一个圆周上。由此可见，采用本技术的新型靶材固定装置，可以同时降低靶材和铜块的厚度，使得冷却装置对靶材的散热效果大大增加。以上所述实施例，其描述较为具体和详细，但并不本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型靶材固定装置，其特征在于：其包括：靶材固定装置主体(1)、防呆螺旋纹(2)和内圈凸起固定环(3)，其中，靶材固定装置主体(1)为圆环形结构，在圆环形结构的侧壁外部设有一个或多个防呆螺旋纹(2)，内圈凸起固定环(3)位于圆环形结构的侧壁内部，内圈凸起固定环(3)沿着圆环形结构的内侧壁向外延伸并超出靶材固定装置主体(1)，靶材主体(4)穿过靶材固定装置主体(1)的圆环形结构的内部。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型靶材固定装置，其特征在于：其包括：靶材固定装置主体(1)、防呆螺旋纹(2)和内圈凸起固定环(3)，其中，靶材固定装置主体(1)为圆环形结构，在圆环形结构的侧壁外部设有一个或多个防呆螺旋纹(2)，内圈凸起固定环(3)位于圆环形结构的侧壁内部，内圈凸起固定环(3)沿着圆环形结构的内侧壁向外延伸并超出靶材固定装置主体(1)，靶材主体(4)穿过靶材固定装置主体(1)的圆环形结构的内部。


2.如权利要求1所述的新型靶材固定装置，其特征在于：内圈凸起固定环(3)的高度为1～5mm。


3.如权利要求1所述的新型靶材固定装置，其特征在于：当防呆螺旋纹(2)的数量为多个时，当采用4个时，分别为第一防呆螺旋纹(21)、第二防呆螺旋纹(22)、第三防呆螺旋纹(23)和第四防呆螺旋纹(24)，所述的第一防呆螺旋纹(21)、第二防呆螺旋纹(22)、第三防呆螺旋纹(23)和第四防呆螺旋纹(24)均匀分布在靶材固定装置主体(1)的同一个圆周上。


4.如权利要求3所述的新型靶材固定装置，其特征在于：第一防呆螺旋纹(21)、第二防呆螺旋纹(22)、第三防呆螺旋纹(23)和第四防呆螺旋纹(24)的大头均位于相同...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴伟亮，冯刚，邓永琪，汪毅，梁海洋，
申请(专利权)人：苏州星蓝纳米技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32