一种用于真空镀膜机的新型支撑柜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于真空镀膜机的新型支撑柜，其技术方案要点是：包括用于支撑真空腔的支撑板、与支撑板平行设置的底板、围设在底板边沿与支撑板抵接的若干个侧板以及用于连接相邻两个侧板的角立柱，侧板上端与支撑板的外壁抵接，侧板的下端与底板外壁抵接，侧板与角立柱可拆卸连接，侧板朝向角立柱的一侧设置若干个卡接块，卡接块沿侧板的高度方向均匀布设，角立柱上开设有与卡接块配合卡接的卡接槽。本实用新型专利技术的优点是便于对侧板进行拆卸，腾出更多的空间，便于工作人员检修镀膜机本体。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜机的新型支撑柜
本技术涉及镀膜机
，具体涉及一种用于真空镀膜机的新型支撑柜。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。现有一种真空镀膜机，如图1所示，包括支撑柜2、设置在支撑柜2上表面的一对真空腔1以及设置在支撑柜2内的镀膜机本体12，支撑柜1呈封闭的柜体，且支撑柜2的一侧开设有铰接门。由于支撑柜仅在一侧设置铰接门，工作人员在检修镀膜机本体时，背离铰接门一侧的区域，受支撑柜封闭的侧板影响，工作人员活动的空间有限，很难对背离铰接门一侧的镀膜机本体进行检修。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于真空镀膜机的新型支撑柜，其优点是便于工作人员对镀膜机本体进行检修。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种用于真空镀膜机的新型支撑柜，包括用于支撑真空腔的支撑板、与支撑板平行设置的底板、围设在底板边沿与支撑板抵接的若干个侧板以及用于连接相邻两个侧板的角立柱，侧板上端与支撑板的外壁抵接，侧板的下端与底板外壁抵接，侧板与角立柱可拆卸连接，侧板朝向角立柱的一侧设置若干个卡接块，卡接块沿侧板的高度方向均匀布设，角立柱上开设有与卡接块配合卡接的卡接槽。通过上述技术方案，需要对设置在支撑柜内的镀膜机本体进行检修时，工作人员通过将侧板朝背离角立柱的方向拉动，使得卡接块与卡接槽脱离卡接，将侧板从角立柱上拆卸下来，从而减小侧板对检修镀膜机本体时的阻碍作用，腾出更多的空间，供工作人员检修镀膜机本体。本技术进一步设置为：所述卡接块上设置有穿过卡接块与卡接槽螺纹连接的螺栓。通过上述技术方案，螺栓的设置，加强了卡接块与卡接槽之间的连接，从而加强了侧板与角立柱的连接，减小侧板从角立柱上掉落的可能性。本技术进一步设置为：若干个所述侧板上开设有散热孔，侧板上设置有用于调节散热孔遮挡面积的遮挡板。通过上述技术方案，散热孔的设置，使得镀膜机本体在工作时产生的热量及时的散发到支撑柜外，减小镀膜机本体损坏的可能性，延长镀膜机本体的使用寿命。本技术进一步设置为：所述遮挡板与侧板滑移连接，侧板上水平开设有一对滑槽，遮挡板上设置有与滑槽配合滑移的滑块。通过上述技术方案，工作人员通过将遮挡板朝散热孔方向滑动遮挡板，调节散热孔被遮挡的面积，调节支撑柜内镀膜机本体工作时产生的热量从散热孔散发的速度。本技术进一步设置为：所述滑块截面为T型。通过上述技术方案，使得滑块和滑槽之间的固定更加牢固，减小遮挡板从侧板上掉落的可能性。本技术进一步设置为：所述角立柱与支撑板可拆卸连接。通过上述技术方案，便于工作人员拆卸和安装支撑板，减小支撑柜在运输时的空间占用。本技术进一步设置为：所述角立柱朝向支撑板的一侧设置有卡块，支撑板上设置有与卡块配合卡接的卡槽。通过上述技术方案，当安装支撑板时，将支撑板的卡槽对角立柱上卡块，从而将支撑板卡接在角立柱上，结构简单，便于工作人员拆卸和安装支撑板。本技术进一步设置为：所述角立柱背离支撑板的一端与底板铰接，底板上开设有用于容纳角立柱的容纳槽。通过上述技术方案，拆卸支撑柜时，将角立柱转动到与底板贴靠位置处，从而减小角立柱在运输时的空间占用，且减小角立柱拆卸时丢失的可能性；将角立柱收纳在容纳槽内，从而减小角立柱在运输时的空间占用。综上所述，本技术具有以下有益效果：1.通过将侧板角立柱卡接，便于工作人员在检修时，将侧板拆卸下来，减小侧板的阻碍作用，以便腾出更多的空间检修镀膜机本体。2.通过将支撑板与角立柱卡接，便于工作人员拆卸和安装支撑板；3.通过将角立柱与底板铰接，拆卸支撑柜时，将角立柱转动到与底板贴靠位置处，从而减小角立柱在运输时的空间占用，且减小角立柱拆卸时丢失的可能性。附图说明图1是
技术介绍
的结构示意图；图2是本技术的结构示意图；图3是凸显容纳槽的结构示意图；图4是凸显卡接块的结构示意图；图5是凸显卡槽的结构示意图；图6是凸显滑块的结构示意图。图中，1、真空镀膜机；11、真空腔；12、镀膜机本体；13、开关；2、支撑柜；21、支撑板；211、卡槽；22、底板；221、容纳槽；23、角立柱；231、卡接槽；232、卡块；24、侧板；241、卡接块；242、螺栓；243、把手；244、散热孔；245、滑槽；25、万向轮；3、遮挡板；31、滑块；32、拉环。具体实施方式实施例：如图2和图3所示，一种用于真空镀膜仪的新型支撑柜，包括用于支撑放置真空镀膜机1，真空镀膜机1包括真空腔11和镀膜机本体12，支撑柜2包括用于支撑真空腔11的支撑板21、与支撑板21平行设置的底板22、围设在底板22边沿与支撑板21抵接的若干个侧板24以及用于连接相邻两个侧板24的角立柱23。真空腔11通过法兰盘与镀膜机本体12可拆卸连接，法兰盘一半位于支撑板21上表面的外壁，法兰盘的另一半位于支撑板21上表面的内壁上，支撑板21上设置有操控镀膜机本体12的开关13。底板22底部四角设置有便于工作人员移动支撑柜2的万向轮25。如图2和图3所示，侧板24上端与支撑板21的外壁抵接，侧板24的下端与底板22外壁抵接，侧板24与角立柱23可拆卸连接，结合图4，侧板24朝向角立柱23的一侧设置若干个卡接块241，卡接块241本实施例设置为3个，且沿侧板24的高度方向均匀布设并与立柱23垂直，有与卡接块241配合卡接的卡接槽231。为了加强侧板24与角立柱23之间的固定，卡接块241上设置有穿过卡接块241与卡接槽231内壁螺纹连接的螺栓242。如图3和图4所示，侧板24上设置有便于工作人员拉动侧板24的把手243，把手243与侧板24铰接。需要拆卸侧板24对支撑柜2内的镀膜机本体12进行检修时，将螺栓242旋离卡接槽231，然后拉动把手243将侧板24朝背离角立柱23的方向拉动，使得卡接块241与卡接槽231脱离卡接，将侧板24从角立柱23上拆卸下来，从而减小侧板24对检修镀膜机本体12的阻碍作用，腾出更多的空间，供工作人员检修镀膜机本体12。如图3和图4所示，为了减少运输支撑柜2时的空间占用，角立柱23一端与底板22铰接，另一端与支撑板21可拆卸连接，角立柱23朝向支撑板21的一侧延伸固接有卡块232，卡块232与角立柱23垂直，结合图5，支撑板21的底部上设置有与卡块232配合卡接的卡槽211，卡槽211未将支撑板21穿透。工作人员通过将设置在支撑板21上的真空腔11拆卸下来，然后旋离螺栓242将侧板24从角立柱23上拆卸下来，进而将支撑板21朝背离底板22的方向拉动，使得卡块232与卡槽211脱离卡接，然后将镀膜机本体12从底板22上拆卸，并将角立柱23转动到与底板22贴靠的位置，且底板22上开设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于真空镀膜机的新型支撑柜，其特征是：包括用于支撑真空腔(11)的支撑板(21)、与支撑板(21)平行设置的底板(22)、围设在底板(22)边沿与支撑板(21)抵接的若干个侧板(24)以及用于连接相邻两个侧板(24)的角立柱(23)，侧板(24)上端与支撑板(21)的外壁抵接，侧板(24)的下端与底板(22)外壁抵接，侧板(24)与角立柱(23)可拆卸连接，侧板(24)朝向角立柱(23)的一侧设置若干个卡接块(241)，卡接块(241)沿侧板(24)的高度方向均匀布设，角立柱(23)上开设有与卡接块(241)配合卡接的卡接槽(231)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜机的新型支撑柜，其特征是：包括用于支撑真空腔(11)的支撑板(21)、与支撑板(21)平行设置的底板(22)、围设在底板(22)边沿与支撑板(21)抵接的若干个侧板(24)以及用于连接相邻两个侧板(24)的角立柱(23)，侧板(24)上端与支撑板(21)的外壁抵接，侧板(24)的下端与底板(22)外壁抵接，侧板(24)与角立柱(23)可拆卸连接，侧板(24)朝向角立柱(23)的一侧设置若干个卡接块(241)，卡接块(241)沿侧板(24)的高度方向均匀布设，角立柱(23)上开设有与卡接块(241)配合卡接的卡接槽(231)。


2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的新型支撑柜，其特征是：所述卡接块(241)上设置有穿过卡接块(241)与卡接槽(231)螺纹连接的螺栓(242)。


3.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜机的新型支撑柜，其特征是：若干个所述侧板(24)上开设有散热孔(244)，侧板(24)上设置有用于调节散热孔(244)遮挡面积的遮挡...

【专利技术属性】
技术研发人员：李小平，吴杰，
申请(专利权)人：北京物科国华技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11