一种用于真空镀膜机的支撑柜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于真空镀膜机的支撑柜，其技术方案要点是：包括用于支撑真空腔的支撑板、与支撑板平行设置的底板、围设在底板边沿与支撑板抵接的若干个侧板以及用于连接相邻两个侧板的角立柱，侧板上端与支撑板的侧壁抵接，侧板的下端与底板上表面抵接，侧板与角立柱滑移连接，侧板朝向角立柱的一侧设置有滑块，角立柱上开设有与滑块配合滑移的滑槽，滑槽由角立柱的上表面竖直向下延伸，并与角立柱的下表面留有一定距离。本实用新型专利技术的优点是便于工作人员对镀膜机本体进行检修。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜机的支撑柜
本技术涉及镀膜机
，具体涉及一种用于真空镀膜机的支撑柜。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。现有一种真空镀膜机，如图1所示，包括支撑柜2、设置在支撑柜2上表面的一对真空腔1以及设置在支撑柜2内的镀膜机本体12，支撑柜1呈封闭的柜体，且支撑柜2的一侧开设有铰接门。由于支撑柜仅在一侧设置铰接门，工作人员在检修镀膜机本体时，背离铰接门一侧的区域，受支撑柜封闭的侧板影响，工作人员活动的空间有限，很难对背离铰接门一侧的镀膜机本体进行检修。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于真空镀膜机的支撑柜，其优点是便于工作人员对镀膜机本体进行检修。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种用于真空镀膜机的支撑柜；包括用于支撑真空腔的支撑板、与支撑板平行设置的底板、围设在底板边沿与支撑板抵接的若干个侧板以及用于连接相邻两个侧板的角立柱，侧板上端与支撑板的侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于真空镀膜机的支撑柜，其特征是：包括用于支撑真空腔(11)的支撑板(21)、与支撑板(21)平行设置的底板(22)、围设在底板(22)边沿与支撑板(21)抵接的若干个侧板(24)以及用于连接相邻两个侧板(24)的角立柱(23)，侧板(24)上端与支撑板(21)的侧壁抵接，侧板(24)的下端与底板(22)上表面抵接，侧板(24)与角立柱(23)滑移连接，侧板(24)朝向角立柱(23)的一侧设置有滑块(241)，角立柱(23)上开设有与滑块(241)配合滑移的滑槽(231)，滑槽(231)由角立柱(23)的上表面竖直向下延伸，并与角立柱(23)的下表面留有一定距离。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜机的支撑柜，其特征是：包括用于支撑真空腔(11)的支撑板(21)、与支撑板(21)平行设置的底板(22)、围设在底板(22)边沿与支撑板(21)抵接的若干个侧板(24)以及用于连接相邻两个侧板(24)的角立柱(23)，侧板(24)上端与支撑板(21)的侧壁抵接，侧板(24)的下端与底板(22)上表面抵接，侧板(24)与角立柱(23)滑移连接，侧板(24)朝向角立柱(23)的一侧设置有滑块(241)，角立柱(23)上开设有与滑块(241)配合滑移的滑槽(231)，滑槽(231)由角立柱(23)的上表面竖直向下延伸，并与角立柱(23)的下表面留有一定距离。


2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的支撑柜，其特征是：所述侧板(24)靠近底板(22)的一侧上开设有穿透侧板(24)的通槽(242)，支撑板(21)与侧板(24)抵接的一端开设有卡接槽(212)，侧板(24)上设置有穿过通槽(242)与卡接槽(212)配合卡接的卡接件(3)。


3.根据权利要求2所述的一种用...

【专利技术属性】
技术研发人员：李小平，王梅，
申请(专利权)人：北京物科国华技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11