一种用于真空镀膜机的支撑柜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于真空镀膜机的支撑柜，其技术方案要点是：包括用于支撑真空腔的支撑板、与支撑板平行设置的底板、围设在底板边沿与支撑板抵接的若干个侧板以及用于连接相邻两个侧板的角立柱，侧板上端与支撑板的侧壁抵接，侧板的下端与底板上表面抵接，侧板与角立柱滑移连接，侧板朝向角立柱的一侧设置有滑块，角立柱上开设有与滑块配合滑移的滑槽，滑槽由角立柱的上表面竖直向下延伸，并与角立柱的下表面留有一定距离。本实用新型专利技术的优点是便于工作人员对镀膜机本体进行检修。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜机的支撑柜
本技术涉及镀膜机
，具体涉及一种用于真空镀膜机的支撑柜。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。现有一种真空镀膜机，如图1所示，包括支撑柜2、设置在支撑柜2上表面的一对真空腔1以及设置在支撑柜2内的镀膜机本体12，支撑柜1呈封闭的柜体，且支撑柜2的一侧开设有铰接门。由于支撑柜仅在一侧设置铰接门，工作人员在检修镀膜机本体时，背离铰接门一侧的区域，受支撑柜封闭的侧板影响，工作人员活动的空间有限，很难对背离铰接门一侧的镀膜机本体进行检修。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于真空镀膜机的支撑柜，其优点是便于工作人员对镀膜机本体进行检修。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种用于真空镀膜机的支撑柜；包括用于支撑真空腔的支撑板、与支撑板平行设置的底板、围设在底板边沿与支撑板抵接的若干个侧板以及用于连接相邻两个侧板的角立柱，侧板上端与支撑板的侧壁抵接，侧板的下端与底板上表面抵接，侧板与角立柱滑移连接，侧板朝向角立柱的一侧设置有滑块，角立柱上开设有与滑块配合滑移的滑槽，滑槽由角立柱的上表面竖直向下延伸，并与角立柱的下表面留有一定距离。通过上述技术方案，工作人员需要对设置在支撑柜内的镀膜机本体进行检修时，可将相对应位于处的侧板向支撑板的方向拉动，使得滑块在滑槽内滑动，并从滑槽的上端滑出，避免侧板对镀膜机本体的遮盖作用，便于工作人员对支撑柜内的镀膜机本体进行检修.本技术进一步设置为：所述侧板靠近底板的一侧上开设有穿透侧板的通槽，支撑板与侧板抵接的一端开设有卡接槽，侧板上设置有穿过通槽与卡接槽配合卡接的卡接件。通过上述技术方案，当需要对镀膜机本体进行检修时，将侧板向支撑板方向滑动，当侧板滑动到通槽与卡接槽对齐时，将卡接件插设置到卡接槽内，从而将侧板固定在支撑板上，从而便于工作人员对镀膜机本体进行检修，也减小侧板丢失的可能性。本技术进一步设置为：所述卡接件包括与卡接槽配合卡接的卡接块以及与侧板外壁抵接的抵接板。通过上述技术方案，当卡接件插入卡接槽内时，卡接块与卡接槽卡接，抵接板抵接在侧板，从而加强了卡接件与支撑板的卡接，本技术进一步设置为：所述抵接板上设置有与侧板螺纹连接的螺栓。通过上述技术方案，当卡接块与卡接槽卡接，抵接板抵接在侧板上时，用过螺栓将抵接板固定在侧板上，从而加强抵接板与侧板之间的固定，减小侧板从支撑板上掉落的可能性。本技术进一步设置为：所述角立柱与支撑板可拆卸连接。通过上述技术方案，便于工作人员拆卸和安装支撑板，减小支撑柜在运输时的空间占用。本技术进一步设置为：所述角立柱朝向支撑板的一侧垂直设置有卡块，支撑板底部设置有与卡块配合卡接的卡槽。通过上述技术方案，当安装支撑板时，将支撑板的卡槽对角立柱上卡块，从而将支撑板卡接在角立柱上，结构简单，便于工作人员拆卸和安装支撑板。本技术进一步设置为：所述角立柱背离支撑板的一端与底板铰接。通过上述技术方案，在拆卸支撑柜时，将角立柱转动到与底板贴靠位置处，从而减小角立柱在运输时的空间占用，且减小角立柱拆卸时丢失的可能性。本技术进一步设置为：所述底板上开设有用于容纳角立柱的容纳槽。通过上述技术方案，在拆卸支撑柜时，将角立柱收纳在容纳槽内，从而减小角立柱在运输时的空间占用。综上所述，本技术具有以下有益效果：1.通过将侧板与角立柱滑移连接，便于工作人员在检修镀膜机本体时，减小侧板对镀膜机本体的遮挡作用，便于工作人员对镀膜机本体进行检修；2.通过将角立柱与支撑板卡接，便于工作人员拆卸和安装支撑板；3.通过将角立柱于底板铰接，底板上开设有容纳槽，便于将角立柱收纳在底板上，减小支撑柜运输时的空间占用。附图说明图1是
技术介绍
的结构示意图；图2是本技术的结构示意图图3是凸显侧板在角立柱上滑移的结构示意图；图4是凸显卡接件的结构示意图；图5是凸显卡接槽的结构示意图；图6是图5中A部的放大示意图。图中，1、真空镀膜机；11、真空腔；12、镀膜机本体；13、法兰盘；14、开关；2、支撑柜；21、支撑板；211、卡槽；212、卡接槽；22、底板；221、容纳槽；23、角立柱；231、滑槽；232、导向槽；234、卡块；24、侧板；241、滑块；242、通槽；25、万向轮；3、卡接件；31、卡接块；32、抵接板；33、螺栓；34、把手。具体实施方式实施例：如图2和图3所示，一种用于真空镀膜机的支撑柜，用于支撑放置真空镀膜机1，真空镀膜机1包括真空腔11和镀膜机本体12，支撑柜2包括用于支撑真空腔11的支撑板21、与支撑板21平行设置的底板22、围设在底板22边沿与支撑板21抵接的若干个侧板24以及用于连接相邻两个侧板24的角立柱23。底板22底部四角处设置有万向轮25，侧板24上设置有便于拉动侧板24滑动的把手34。真空腔11通过法兰盘13与镀膜机本体12可拆卸连接，法兰盘13一半位于支撑板21上表面的外壁，法兰盘13的另一半位于支撑板21上表面的内壁上，支撑板21上设置有操控镀膜机本体12的开关14。如图2和图3所示，侧板24上端与支撑板21的侧壁抵接，侧板24的下端与底板22上表面抵接，侧板24与角立柱23滑移连接，结合图4、图5和图6，侧板24朝向角立柱23的一侧设置有滑块241，角立柱23上开设有与滑块241配合滑移的滑槽231，滑槽231由角立柱23的上表面竖直向下延伸，并与角立柱23的下表面留有一定距离。为了加强侧板24与角立柱23之间的固定，滑块241为T型。工作人员需要对设置在支撑柜2内的镀膜机本体12进行检修时，可将相对应位置处的侧板24向支撑板21的方向拉动，使得滑块241在滑槽231内滑动，并从滑槽231的上端滑出，避免侧板24对检修镀膜机本体12时的阻碍作用，便于工作人员对支撑柜2内的镀膜机本体12进行检修。侧板24可从角立柱23上拆卸下来，从而便于工作人员在运输支撑柜2时的空间占用。如图4和图5所示，滑槽231背离底板22的一端设置有便于将滑块241滑入滑槽231内的导向槽232（参见图6），导向槽232的槽壁由滑槽231的槽壁向外倾斜设置而成。为了便于减小支撑柜2在运输时的空间占用，角立柱23一端与底板22铰接，另一端与支撑板21可拆卸连接，角立柱23朝向支撑板21的一侧延伸固接有卡块234，卡块234与角立柱23垂直，支撑板21的底部上设置有与卡块234配合卡接的卡槽211，卡槽211未将支撑板21穿透。结合图3，工作人员通过将设置在支撑板21上的真空腔11拆卸下来，然后将侧板24从滑槽231内滑出，进而将支撑板21朝背离底板22的方向拉动，使得卡块234与卡槽211脱离卡本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于真空镀膜机的支撑柜，其特征是：包括用于支撑真空腔(11)的支撑板(21)、与支撑板(21)平行设置的底板(22)、围设在底板(22)边沿与支撑板(21)抵接的若干个侧板(24)以及用于连接相邻两个侧板(24)的角立柱(23)，侧板(24)上端与支撑板(21)的侧壁抵接，侧板(24)的下端与底板(22)上表面抵接，侧板(24)与角立柱(23)滑移连接，侧板(24)朝向角立柱(23)的一侧设置有滑块(241)，角立柱(23)上开设有与滑块(241)配合滑移的滑槽(231)，滑槽(231)由角立柱(23)的上表面竖直向下延伸，并与角立柱(23)的下表面留有一定距离。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜机的支撑柜，其特征是：包括用于支撑真空腔(11)的支撑板(21)、与支撑板(21)平行设置的底板(22)、围设在底板(22)边沿与支撑板(21)抵接的若干个侧板(24)以及用于连接相邻两个侧板(24)的角立柱(23)，侧板(24)上端与支撑板(21)的侧壁抵接，侧板(24)的下端与底板(22)上表面抵接，侧板(24)与角立柱(23)滑移连接，侧板(24)朝向角立柱(23)的一侧设置有滑块(241)，角立柱(23)上开设有与滑块(241)配合滑移的滑槽(231)，滑槽(231)由角立柱(23)的上表面竖直向下延伸，并与角立柱(23)的下表面留有一定距离。


2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的支撑柜，其特征是：所述侧板(24)靠近底板(22)的一侧上开设有穿透侧板(24)的通槽(242)，支撑板(21)与侧板(24)抵接的一端开设有卡接槽(212)，侧板(24)上设置有穿过通槽(242)与卡接槽(212)配合卡接的卡接件(3)。


3.根据权利要求2所述的一种用...

【专利技术属性】
技术研发人员：李小平，王梅，
申请(专利权)人：北京物科国华技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11