支承构件、导管支承装置以及具备该导管支承装置的处理装置制造方法及图纸

技术编号:25532429 阅读:48 留言:0更新日期:2020-09-04 17:19
本发明专利技术的目的在于提供一种耐久性优异的支承构件、包括该支承构件的装置。本发明专利技术的支承构件包括弹性构件和形成于该弹性构件之上的多个块构件。该支承构件能从块构件的端面相互接触的形状变形为相互分离的形状。弹性构件包含通过固定于块构件的底面来限制变形的固定区域,支承构件包括抑制弹性构件的固定区域附近的位置处的屈曲的屈曲抑制单元。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】支承构件、导管支承装置以及具备该导管支承装置的处理装置
本专利技术涉及与导管一体化并对该导管进行支承的导管支承装置,例如涉及对装入于机械加工流水线、半导体制造装置、平板显示器等显示设备制造装置或者电子部件安装装置等各种处理装置的机器人行驶装置等中使用的导管进行支承的支承构件、导管支承装置以及具备该导管支承装置的处理装置。
技术介绍
在机械加工流水线、半导体制造装置、显示设备制造装置、电子部件安装装置等各种处理装置中,装入有用于把持并输送加工料、晶圆、基板等工件的机器人行驶装置。机器人行驶装置中,在轨道上往复移动的行驶台车例如搭载有装卸工件的机器人。通过使该机器人的臂部的手部工作,能将工件把持于手部,将该工件拆装于各加工机械。这样的机器人行驶装置的行驶台车连接有传递电能、电光等信号的缆线、输送气体或液体或者经由气体或液体传递压力的软管(以下,包括这些缆线和软管在内称为“导管”)。需要维持导管相对于反复进行往复移动从而其位置发生变化的行驶台车的稳定连接。因此,要用到通过将固定长度的导管弯曲成由相互对置的两个直线部和将这两个直线部相连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种支承构件,具备:/n弹性构件,具有第一面,沿第一方向延伸;以及/n多个块构件,固定于所述弹性构件,分别具有与所述弹性构件的第一面对置的底面和与所述第一方向交叉的端面,/n所述支承构件的特征在于,/n所述支承构件能从所述多个块构件的所述端面彼此相接的第一形状变形为所述多个块构件的所述端面相互分离且所述支承构件向以所述弹性构件的第一面为外侧的方向弯曲的第二形状,/n所述弹性构件包含通过固定于所述块构件的底面来限制变形的第一区域,/n所述支承构件包括抑制所述弹性构件的所述第一区域附近的位置处的屈曲的发生的屈曲抑制单元。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180119 JP 2018-007699;20181018 JP 2018-1963051.一种支承构件,具备:
弹性构件,具有第一面,沿第一方向延伸;以及
多个块构件,固定于所述弹性构件,分别具有与所述弹性构件的第一面对置的底面和与所述第一方向交叉的端面,
所述支承构件的特征在于,
所述支承构件能从所述多个块构件的所述端面彼此相接的第一形状变形为所述多个块构件的所述端面相互分离且所述支承构件向以所述弹性构件的第一面为外侧的方向弯曲的第二形状,
所述弹性构件包含通过固定于所述块构件的底面来限制变形的第一区域,
所述支承构件包括抑制所述弹性构件的所述第一区域附近的位置处的屈曲的发生的屈曲抑制单元。


2.一种支承构件,具备:
弹性构件,具有第一面,沿第一方向延伸;以及
多个块构件,固定于所述弹性构件,分别具有与所述弹性构件的第一面对置的底面和与所述第一方向交叉的端面,
所述支承构件的特征在于,
所述支承构件能从所述多个块构件的所述端面彼此相接的第一形状变形为所述多个块构件的所述端面相互分离且所述支承构件向以所述弹性构件的第一面为外侧的方向弯曲的第二形状,
所述弹性构件包含:
第一区域,通过固定于所述块构件的底面来限制变形;以及
第二区域,在所述第一形状下与所述块构件的底面接触,在所述第二形状下与所述块构件的底面分离。


3.根据权利要求1或2所述的支承构件,其特征在于,所述弹性构件的第一区域的合计长度占所述弹性构件的全长的比例为75%以下。


4.根据权利要求2所述的支承构件,其特征在于,所述弹性构件还包含在所述第一形状下与所述块构件的底面分离并且在所述第二形状下与所述块构件的底面分离的第三区域,所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员:平冈大生竹内弘三须康弘广濑哲也
申请(专利权)人:株式会社润工社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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