导管支承装置和处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种导管支承装置和处理装置，其中，导管支承装置即使在严苛的条件下也具有高可靠性。提供一种导管支承装置，所述导管支承装置具备：导管；支承构件，构成为沿所述导管的长尺寸方向延伸来对所述导管一体地进行支承，并且能在长尺寸方向的任意位置弯曲；以及容纳构件，将所述导管和所述支承构件容纳于内部，其中，在所述支承构件与所述容纳构件之间配置有中间构件。配置有中间构件。配置有中间构件。

【技术实现步骤摘要】
导管支承装置和处理装置
[0001]本申请是下述申请的分案申请：
[0002]专利技术名称：导管支承装置
[0003]国际申请日：2019年12月26日
[0004]国际申请号：PCT/JP2019/051296
[0005]国家申请号：201980086338.4


[0006]本专利技术涉及一种包括导管和与该导管一体化并对导管进行支承的支承构件，并且使该导管和该支承构件可弯曲的导管支承装置。

技术介绍

[0007]例如，在机械加工流水线、半导体制造装置、电子部件安装装置中，装入有用于抓持并输送被加工料、晶片、电子部件、基板等工件的机器人行驶装置。在机器人行驶装置中，作为在轨道上往复移动的移动体的行驶台车例如搭载有操纵工件的机器人。
[0008]这样的机器人行驶装置的行驶台车连接有电缆、光缆、液压或气压动力供给用的管等(以下，包括这些缆线和管在内称为“导管”。)。即使对于反复进行往复移动而其位置发生变化的行驶台车，也需要维持导管的连接稳定。因此，导管由导管支承装置支承。导管支承装置通过由相互对置的两个直线部和将这两个直线部相连的具有规定的直径的弯曲部形成的U字形的支承构件，对固定长度的导管进行支承。导管支承装置根据行驶台车的位置使对置的直线部的长度分别变化，由此，即使对于位置发生变化的行驶台车，也能维持导管的稳定连接。这样的导管支承装置在行驶台车的位置发生变化的过程中也能将导管的曲率半径保持在规定值以上。由此确保由导管实现的信号传输性、输送性，并且防止导管的破损。/>[0009]这样的导管支承装置具备可将导管和支承构件容纳于内部的容纳构件。在容纳构件的内部，导管沿支承构件被容纳，由此导管的弯曲形状被约束为与支承构件的弯曲形状相同的形状。而且容纳构件具备防止因支承构件的变形动作等而产生的磨耗粉末等尘埃向周围飞散的作用。
[0010]这样的导管支承装置中的支承构件和容纳构件要求有极高的可靠性。例如如果支承构件在动作中破损，则恐怕会对导管造成损伤、损害工件的质量。在容纳构件破损的情况下，有时也会因内部的磨耗粉末飞散等而造成污染处理中的工件甚至周边环境等严重的损害。
[0011]另一方面，为了获得高生产率，导管支承装置要求对应更大的往复移动距离(长行程化)、对应更快的移动。而且，即使在像这样机械的负荷增加的条件下，也要求横跨更长期间的稳定动作。如此，对于导管支承装置的可靠性提高的要求越来越高。
[0012]专利文献1公开了一种导管支承装置，其包括具备挠性材料和装配于该挠性材料的非联动固形物的支承构件。挠性材料例如由不锈钢、弹簧钢构成，非联动固形物例如由具
有高耐压缩性的金属材料、树脂材料构成。支承构件具有如下的结构：通过使非联动固形物相互接触来限制向某个方向的弯曲，另一方面，通过使非联动固形物相互分离而能向反方向弯曲。由此，专利文献1所公开的
技术实现思路
旨在能提供一种实现挠性高、机械噪声低、弯曲半径小以及寿命长并且实质上不产生因磨耗等而产生的包括粒状物在内的磨耗粉末的支承构件。
[0013]专利文献2公开了一种多关节型缆线类保护引导装置，其中，为了不使磨耗粉末散落到外部，连接器组件将多关节支承构件的多关节端部、缆线类的缆线端部以及挠性带构件的插通口端部保持为一体，并且将挠性带构件的插通口端部密封。
[0014]专利文献3公开了一种可动部布线用扁平电缆，其以抑制磨耗、伴随着磨耗的产尘为目的，将供可动部布线用电缆插入或拔出的圆形管和供支承构件插入的角型管并列配置(参照图21)。在该扁平电缆中，在角型管的内周具备由氟树脂形成的内层，由此能抑制伴随着与支承构件的接触的磨耗以及伴随着磨耗的产尘。
[0015]现有技术文献
[0016]专利文献
[0017]专利文献1：日本特表2006－507788号公报
[0018]专利文献2：日本特开2012－170245号公报
[0019]专利文献3：日本特开2017－21903号公报

技术实现思路

[0020]专利技术所要解决的问题
[0021]但是，这些文献所公开的导管支承装置在可靠性的观点上有改善的余地。特别是，在由于支承构件而增加较大的机械的负荷的情况下，和/或在要求横跨较长期间的稳定的连续动作的情况下，很难确保有足够的可靠性。
[0022]本专利技术的目的在于提供一种即使在严苛的条件下也具有高可靠性的导管支承装置。
[0023]用于解决问题的方案
[0024]根据本专利技术的一个方案，提供一种导管支承装置，所述导管支承装置具备：导管；支承构件，构成为沿所述导管的长尺寸方向延伸来对所述导管一体地进行支承，并且能在长尺寸方向的任意位置弯曲；以及容纳构件，将所述导管和所述支承构件容纳于内部，其中，在所述支承构件与所述容纳构件之间配置有中间构件。
[0025]所述支承构件构成为：能向第一方向弯曲至规定的曲率，并且不向作为与所述第一方向相反的方向的第二方向弯曲而维持直线形状，所述导管支承装置可以是，在所述支承构件弯曲时成为所述弯曲的内周的一侧包括在所述支承构件与所述容纳构件之间配置有所述中间构件的区域，在所述支承构件弯曲时成为所述弯曲的外周的一侧包括在所述支承构件与所述容纳构件之间未配置有中间构件的区域。
[0026]也可以是，所述支承构件与所述中间构件之间构成为能发生伴随着所述支承构件的弯曲的滑动，所述中间构件与所述容纳构件之间构成为能发生伴随着所述支承构件的弯曲的滑动。
[0027]也可以是，在中间构件与容纳构件之间发生的所述滑动比在支承构件和中间构件
之间发生的所述滑动的滑动量大。
[0028]也可以是，所述支承构件具备能捕捉存在于容纳构件内的颗粒的捕捉层。
[0029]也可以是，所述捕捉层由具有粘着性的物质构成。
[0030]也可以是，所述捕捉层由常温下为半固体状的物质构成，形成为其厚度在10μm以上的层。
[0031]也可以是，所述导管支承装置包括：捕捉层形成区域，在由所述支承构件的表面和所述中间层的端部构成的谷形状部的内部区域内且形成有捕捉层；以及捕捉层非形成区域，在所述支承构件与所述容纳构件接触的区域内且未形成有捕捉层。
[0032]也可以是，所述容纳构件具备容纳所述支承构件的第一容纳室以及容纳所述导管的第二容纳室，所述第一容纳室在所述支承构件与所述容纳构件之间包括所述中间构件，所述第二容纳室未在所述导管与所述容纳构件之间包括所述中间构件。
[0033]也可以是，所述容纳构件由位于所述支承构件的所述弯曲的内周侧的内侧片材以及位于所述支承构件的所述弯曲的外周侧的外侧片材构成，所述容纳构件包括通过将所述内侧片材与所述外侧片材粘在一起而形成的多个接合区域以及形成于所述接合区域间的多个容纳室，所述支承构件和所述导管分别被容纳于所述多个容纳室。
[0034]也可以是，所述外侧片材由比所述内侧片材伸长性充裕的片材构成。
[0035]也可以是，所述容纳构件包括对容纳所述支本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种导管支承装置，具备：导管；支承构件，构成为沿所述导管的长尺寸方向延伸来对所述导管一体地进行支承，并且能在所述长尺寸方向的任意位置弯曲；以及容纳构件，具有由沿所述长尺寸方向延伸的筒状的空间构成的多个容纳室，所述导管支承装置的特征在于，所述容纳构件的所述多个容纳室包括容纳有所述导管的第一容纳室和容纳有所述支承构件的第二容纳室，所述支承构件具备能捕捉存在于容纳构件内的颗粒的捕捉层。2.根据权利要求1所述的导管支承装置，其特征在于，所述支承构件构成为：能向第一方向弯曲至规定的曲率，并且不向作为与所述第一方向相反的方向的第二方向弯曲而维持直线形状，所述导管和所述容纳构件的形状由所述支承构件的所述弯曲后的形状来限制。3.根据权利要求1所述的导管支承装置，其特征在于，所述捕捉层由具有粘着性的物质构成。4.根据权利要求3所述的导管支承装置，其特征在于，所述具有粘着性的物质包括从橡胶类、丙烯酸类或者硅酮类粘合剂中选择的任意一种。5.根据权利要求1所述的导管支承装置，其特征在于，所述捕捉层由常温下为半固体状的物质构成。6.根据权利要求5所述的导管支承装置，其特征在于，所述常温下为半固体状的物质形成为厚度为10μm以上的层。7.根据权利要求5所述的导管支承装置，其特征在于，所述常温下为半固体状的物质形成为厚度为10μm以上的由润滑脂构成的层。8.根据权利要求7所述的导管支承装置，其特征在于，关于所述润滑脂的硬度，25℃时的混合稠度为400以下。9.根据权利要求8所述的导管支承装置，其特征在于，关于所述润滑脂的硬度，25℃时的混合稠度为80以上。10.根据权利要求1至9中任一项所述的导管支承装置，其特征在于，存在于所述容纳构件内的颗粒包括因导管支承装置的滑动而产生的所述支承构件或容纳构件的磨耗粉末。11.根据权利要求1至9中任一项所述的导管支承装置，其特征在于，所述支承构件包括形成有所述捕捉层的区域和未形成有所述捕捉层的区域。12.根据权利要求1至9中任一项所述的导管支承装置，其特征在于，所述支承构件由多个块构件构成，所述多个块构件的表面包括形成有所述捕捉层的区域和未形成有所述捕捉层的区域，未形成有所述捕捉层的区域位于所述多个块构件的表面中与其他块构件没有接...

【专利技术属性】
技术研发人员：平冈大生，竹内弘，三须康弘，
申请(专利权)人：株式会社润工社，
类型：发明
国别省市：