一种可调节磁钢防水型旋转阴极用磁棒制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可调节磁钢防水型旋转阴极用磁棒，它涉及真空磁控溅射镀膜设备技术领域。磁钢座装置均匀分成有多段，每段之间开设有槽，磁钢座装置装配在型腔装置内，型腔装置采用铝型材型腔，磁钢座装置与型腔装置之间通过调节杆连接，调节杆与型腔装置的连接处通过压紧螺母压紧固定，磁钢座装置中安装有边磁钢、中磁钢，型腔装置上部通过O型圈密封设置有密封盖，型腔装置两端通过密封垫装配有A轴端、B轴端，所述的型腔装置外壁安装有防护条。本实用新型专利技术可根据表面磁场磁场强度分段式调整磁场，使整个磁钢座的表面磁场分布均匀，提高阴极靶的溅射速率、溅射膜层均匀性及靶材利用率，并且大大提高阴极靶的使用寿命，应用前景广阔。

【技术实现步骤摘要】
一种可调节磁钢防水型旋转阴极用磁棒
本技术涉及的是真空磁控溅射镀膜设备
，具体涉及一种可调节磁钢防水型旋转阴极用磁棒。
技术介绍
在真空磁控溅射镀膜设备中，最重要的部件是阴极溅射靶，它是溅射镀膜设备的“心脏”。阴极靶中的磁棒装置的磁场稳定性、磁场强度、磁场的分布等，直接影响溅射工艺的稳定性、膜层的特性、靶材的利用率、镀膜效果的优劣等；另外冷却磁棒装置所用冷却水的洁净度，也直接影响阴极靶的使用寿命；因此提高磁棒装置的设计水平尤为重要。溅射靶磁场的设计的目标在于得到比较高的靶材利用率、靶材溅射速率和溅射膜层的均匀性；目前，市场现有的磁棒装置中的磁场排布是平行的、磁钢装配好后不能与磁钢座一起调整磁场均匀性，造成磁场分布不均，不适合圆形阴极溅射，影响靶材利用率；现有阴极磁棒装置没有做防水处理，污染冷却用水，长期使用会降低磁场强度。基于此，设计一种新型的真空磁控溅射镀膜用旋转阴极用的磁棒装置尤为必要。
技术实现思路
针对现有技术上存在的不足，本技术目的是在于提供一种可调节磁钢防水型旋转阴极用磁棒，结构简单，设计合理，提高阴极靶的溅射速率、溅射膜层均匀性及靶材利用率，并且大大提高阴极靶的使用寿命，易于推广使用。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种可调节磁钢防水型旋转阴极用磁棒，包括磁钢座装置、型腔装置、边磁钢、中磁钢、调节杆、压紧螺母、密封盖、O型圈、A轴端、密封垫、B轴端、防护条，磁钢座装置均匀分成有多段，每段之间开设有槽，底部留有一定厚度，既可以始终将磁钢座保持整体，又可以使每段能单独调节，磁钢座装置装配在型腔装置内，磁钢座装置与型腔装置之间通过调节杆连接，调节杆与型腔装置的连接处通过压紧螺母压紧固定，磁钢座装置中安装有边磁钢、中磁钢，型腔装置上部通过O型圈密封设置有密封盖，型腔装置两端通过密封垫装配有A轴端、B轴端，所述的型腔装置外壁安装有防护条。作为优选，所述的型腔装置采用铝型材型腔，型腔表面采用阳极氧化处理，防止表面与水接触氧化。作为优选，所述的边磁钢、中磁钢根据磁钢表面磁场强度的大小由中间朝两边均匀地装配在分段的磁钢座装置上。作为优选，所述的磁钢座装置的螺纹孔与型腔装置的孔一一对应，调节杆通过型腔装置的孔拧接在磁钢座装置上。作为优选，所述的型腔装置的外壁设置有滑槽，防护条通过滑槽装配在型腔上，防止磁棒旋转时磨坏型腔外壁。本技术的有益效果：本装置采用分段式磁钢座，可根据表面磁场磁场强度分段式调整磁场，使整个磁钢座的表面磁场分布均匀，提高阴极靶的溅射速率、溅射膜层均匀性及靶材利用率，并且大大提高阴极靶的使用寿命，应用前景广阔。附图说明下面结合附图和具体实施方式来详细说明本技术；图1为本技术的立体结构示意图；图2为本技术的内部剖视图；图3为本技术磁钢座装置的结构示意图；图4为图3中的C部放大示意图。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。参照图1-4，本具体实施方式采用以下技术方案：一种可调节磁钢防水型旋转阴极用磁棒，包括磁钢座装置1、型腔装置2、边磁钢3、中磁钢4、调节杆5、压紧螺母6、密封盖7、O型圈8、A轴端9、密封垫10、B轴端11、防护条12，磁钢座装置1装配在型腔装置2内，磁钢座装置1与型腔装置2之间通过调节杆5连接，调节杆5与型腔装置2的连接处通过压紧螺母6压紧固定，磁钢座装置1中安装有边磁钢3、中磁钢4，型腔装置2上部通过O型圈8密封设置有密封盖7，型腔装置2两端通过密封垫10装配有A轴端9、B轴端11，所述的型腔装置2外壁安装有防护条12。值得注意的是，所述的型腔装置2采用铝型材型腔，通过模具热拉成形，然后再进行精加工，最后表面做阳极氧化处理，防止后续表面氧化。此外，所述的型腔装置2的外壁设置有滑槽，防护条12通过滑槽装配在型腔上，防止磁棒旋转时磨坏型腔外壁。本具体实施方式首先将测量过的边磁钢3、中磁钢4根据磁钢表面磁场强度的大小由中间朝两边均匀地装配在分段的磁钢座装置1上；将装配好的磁钢座装置1装配在型腔装置2内，磁钢座装置1的螺纹孔与型腔装置2的孔一一对应，将调节杆5通过型腔装置2的孔拧在磁钢座装置1上，再用压紧螺母6压紧调节杆5，最后通过O型圈8密封，将密封盖7装在型腔装置2上。磁钢座装置1与型腔装置2装配好后，进行测量型腔表面的磁场强度，根据磁场强度的均匀性，可以通过调节调节杆5来拉伸或压缩磁钢座使磁钢离型腔的距离减小或增大，进而来调节整个磁钢座的磁场均匀性；再将防护条12通过滑槽装配在型腔装置2上；最后将A轴端9、B轴端11通过密封垫10装配在型腔上，防止外部冷却水进入型腔内。本具体实施方式采用分段式磁钢座，将整体加工后的磁钢座装置均匀分成有多段，每段之间开设有槽，底部留有一定厚度，既可以始终将磁钢座保持整体，又可以使每段能单独调节，每段可以单独调节磁场离靶材的距离，根据表面磁场强度分段式调整磁场，使整个磁钢座的表面磁场分布均匀，形成均匀的磁场，从而使靶材溅射的膜层均匀性提高，靶材的利用率可以达到40%以上。同时，本装置采用铝型材型腔，在型腔表面采用阳极氧化处理，防止表面与水接触氧化，然后将磁钢座装置整体装在型腔内，通过O型圈与密封垫将其密封，防止冷却水进入型腔内污染磁钢、使磁钢磁场强度变弱，解决了现有磁棒装置冷却用水容易被污染的问题，提高阴极靶的使用寿命。综上，该装置有效提高靶材溅射的均匀性、靶材利用率和使用寿命，具有广阔的市场应用前景。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可调节磁钢防水型旋转阴极用磁棒，其特征在于，包括磁钢座装置(1)、型腔装置(2)、边磁钢(3)、中磁钢(4)、调节杆(5)、压紧螺母(6)、密封盖(7)、O型圈(8)、A轴端(9)、密封垫(10)、B轴端(11)、防护条(12)，磁钢座装置(1)均匀分成有多段，每段之间开设有槽(13)，磁钢座装置(1)装配在型腔装置(2)内，磁钢座装置(1)与型腔装置(2)之间通过调节杆(5)连接，调节杆(5)与型腔装置(2)的连接处通过压紧螺母(6)压紧固定，磁钢座装置(1)中安装有边磁钢(3)、中磁钢(4)，型腔装置(2)上部通过O型圈(8)密封设置有密封盖(7)，型腔装置(2)两端通过密封垫(10)装配有A轴端(9)、B轴端(11)，所述的型腔装置(2)外壁安装有防护条(12)。/n

【技术特征摘要】
1.一种可调节磁钢防水型旋转阴极用磁棒，其特征在于，包括磁钢座装置(1)、型腔装置(2)、边磁钢(3)、中磁钢(4)、调节杆(5)、压紧螺母(6)、密封盖(7)、O型圈(8)、A轴端(9)、密封垫(10)、B轴端(11)、防护条(12)，磁钢座装置(1)均匀分成有多段，每段之间开设有槽(13)，磁钢座装置(1)装配在型腔装置(2)内，磁钢座装置(1)与型腔装置(2)之间通过调节杆(5)连接，调节杆(5)与型腔装置(2)的连接处通过压紧螺母(6)压紧固定，磁钢座装置(1)中安装有边磁钢(3)、中磁钢(4)，型腔装置(2)上部通过O型圈(8)密封设置有密封盖(7)，型腔装置(2)两端通过密封垫(10)装配有A轴端(9)、B轴端(11)，所述的型腔装置(2)外壁安装有防护条(12)。

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【专利技术属性】
技术研发人员：张俊峰，赵子东，许春立，魏庆瑄，
申请(专利权)人：上海子创镀膜技术有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31