掠入射软X射线和极紫外线平场谱仪制造技术

一种掠入射软Ｘ射线和极紫外线平场谱仪，该谱仪包括光学系统（１）、真空系统（２）、图像采集系统（３）、支撑系统（４）；其特征在于在支撑系统（４）上活动安装有真空系统（２）；在真空系统（２）的柱形真空腔（２１）内装有光学系统（１），在真空系统（２）的一端对应于其内的光学系统（１）活动设有图像采集系统（３）。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种等离子体技术中使用的谱仪，尤其是一种用于测量软X射线及极紫外线(XUV)的掠入射平场谱仪(grazing-incidenceflat-field spectrometer)。
技术介绍
在强场物理、实验室天体物理、X射线激光以及激光驱动惯性约束核聚变等诸多领域中，等离子体将会产生极为丰富的软X射线辐射谱，携带了相互作用过程中的大量的物理信息，因此研究软X射线谱的特性对于这些物理过程的理解具有十分重要的意义。传统的用于测量软X射线的谱仪主要有透射光栅谱仪、晶体谱仪以及掠入射光栅谱仪等。透射光栅谱仪的摄谱范围大，但其光谱分辨能力小，最好也只能达到约0.1nm，灵敏度低(由于软X射线与透射光栅的固有特性，透射光栅谱仪的效率小于10％)。晶体谱仪的谱分辨能力强，但其摄谱范围极小。因此，谱分辨能力介于透射光栅谱仪与晶体谱仪之间的、既有较好的谱分辨能力又有较大摄谱范围的掠入射光栅谱仪得到了发展。在一般的掠入射光栅谱仪中，光栅、入射狭缝和探测器均须沿罗兰圆安放，具有平直接收表面的探测器如光电二极管阵列、微通道板(MCP)、电荷耦合器件(CCD)以及条纹相机等很难与之耦合，因此难以获本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张杰，陈正林，彭晓昱，
申请(专利权)人：中国科学院物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：