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一种掠入射软Ｘ射线和极紫外线平场谱仪，该谱仪包括光学系统（１）、真空系统（２）、图像采集系统（３）、支撑系统（４）；其特征在于在支撑系统（４）上活动安装有真空系统（２）；在真空系统（２）的柱形真空腔（２１）内装有光学系统（１），在真空系统（...
该专利属于中国科学院物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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