近红外脉冲波前干涉仪的系统误差标定系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种近红外脉冲波前干涉仪的系统误差标定系统。它依次具有激光器、双凹透镜、由负透镜、正透镜组成的双分离准直镜。在标定中，利用特定的测量方法来验证本装置所具有的误差，通过实施测量例中严格的数据处理，可以论证本装置波前畸变量远小于１／１５波长的均方根值，完全可以作为一个近红外波段的近似理想准直扩束器用于标定脉冲波前畸变检测干涉仪的系统误差。本实用新型专利技术可以对１０－１５０ｍｍ口径的近红外高功率脉冲波前畸变检测干涉仪进行系统误差的标定，该方法适用于其它可见光、中、远红外波段的干涉仪的系统误差的标定，为各类干涉仪检测系统的检测可靠性提供了极为有效的标定装置及方法。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是一种对近红外高功率脉冲波前畸变检测干涉仪的系统误差进行高精度标定的近红外脉冲波前干涉仪的系统误差标定系统。
技术介绍
在国防军工及国民经济领域中，常常需要对各种波前进行高精度的检测，其主要的测量指标就是波前孔径内的峰谷值(Peak-valley value，PV值)及均方根(Root-mean square，RMS)来表示。利用干涉仪可以检测各种精密表面的面形，也可以检测一些可见光波段的光束质量。要进行此类高精度的波前检测各类干涉仪本身必须具有很高的精度，现在常常利用计算机存储相减技术，一般的干涉仪是双光束干涉系统，利用高精度表面作为干涉仪的参考面，利用计算机测出干涉仪的系统误差并存储于程序内，在随后的所有检测中，将测得的数据减去系统误差，可以得到实际被测量的值。其前提是干涉仪有高精度的参考面，并且具有一个连续的可见光波段的检测。但是随着目前高科技的发展，对近红外段强激光脉冲波前畸变的测量需求已越来越迫切。本技术所要标定的近红外高功率脉冲波前检测干涉仪是由脉冲波前剪切形成干涉条纹，所以没有参考面。同时波长是1053nm的近红外不可见光，因此该干涉仪的系统误差标定，由于没有参本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种近红外脉冲波前干涉仪的系统误差标定系统，其特征在于它依次具有激光器（１）、双凹透镜（２）、双分离准直镜，双分离准直镜具有负透镜（３）、正透镜（４），其光学系统结构参数：半径间隔材料通光直径＊＊＊。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨甬英，陆元彪，陈阳杰，卓永模，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：实用新型
国别省市：86[中国|杭州]