一种键合板条键合面相对损耗值的获取方法技术

本发明专利技术提供一种键合板条键合面相对损耗值的获取方法，属于激光键合晶体板条的质量检测领域，首先运用已知反射率的标准反射面获取白光干涉装置回损校对值；然后通过干涉仪的延迟线结构，对待测板条中垂直键合面的深度方向扫描测试，获取各个反射面的分布式干涉强度信号，以及键合面的深度定位；进一步利用探头中已知反射率薄膜为标准，将干涉信号转化为反射率的分布式结果，并结合标准反射面的损耗校对值对测量结果校准；再利用菲涅尔反射公式将表面反射率测量结果转化为晶体的折射率，进而计算出键合面处理想的菲涅尔反射率理论值；最后通过键合面的反射率测量值与菲涅尔反射率理论值对比，得到键合面相对损耗值，以此评价键合面质量。

【技术实现步骤摘要】
一种键合板条键合面相对损耗值的获取方法
本专利技术涉及一种键合板条键合面相对损耗值的获取方法，属于激光键合晶体板条的质量检测领域。
技术介绍
通过热扩散键合制备的激光键合板条，在激光技术方面能够改善激光热性能和光束质量的同时，有利于激光系统集成化以及大尺寸晶体板条的获取。扩散键合制作方法起源于半导体的加工技术，Lee等人[Proc.SPIE.1992,1624:2-10.]率先应用到复合激光晶体板条的制备应用中。随着高功率激光器的迅速发展，对键合晶体的质量要求也越来越高，尤其是键合面的键合质量。目前的检测技术主要围绕以下几点：Tsunekane等人[IEEEJournalofSelectedTopicsinQuantumElectronics,1997,3(1):0-18.]通过双折射的光学测量方法，得到键合面处残余应力的分布；Sugiyama等人[AppliedOptics,1998,37(12):2407-2410.]通过CCD检测晶体出射的光斑强度分布，以及透射波前的方法检测光束通过晶体的均匀性，来反映晶体键合处对光路传输的影响。但是都是本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种键合板条键合面相对损耗值的获取方法，其特征在于：步骤如下：/n步骤一：依据待测键合板条的尺寸、类型以及吸收光谱，调试白光干涉测量系统；/n步骤二：白光干涉测量系统对已知反射率的标准反射面进行测试，获取干涉信号值，评测出探头距离变化造成的测量信号波动，得到回损的校对参考值；/n步骤三：白光干涉测量系统中的延迟线结构对待测键合板条进行扫描测试，得到各反射面的分布式干涉强度信号；/n步骤四：用白光干涉测量系统的探头中已知反射率薄膜为标准，将分布式干涉强度信号的相对强度值转化为反射率的分布式结果，并结合回损的校对参考值对测量结果校准；/n步骤五：利用菲涅尔公式将分布式结果真的表面反射率测量结果...

【技术特征摘要】
1.一种键合板条键合面相对损耗值的获取方法，其特征在于：步骤如下：
步骤一：依据待测键合板条的尺寸、类型以及吸收光谱，调试白光干涉测量系统；
步骤二：白光干涉测量系统对已知反射率的标准反射面进行测试，获取干涉信号值，评测出探头距离变化造成的测量信号波动，得到回损的校对参考值；
步骤三：白光干涉测量系统中的延迟线结构对待测键合板条进行扫描测试，得到各反射面的分布式干涉强度信号；
步骤四：用白光干涉测量系统的探头中已知反射率薄膜为标准，将分布式干涉强度信号的相对强度值转化为反射率的分布式结果，并结合回损的校对参考值对测量结果校准；
步骤五：利用菲涅尔公式将分布式结果真的表面反射率测量结果转化为晶体的折射率，计算出键合面处理想的菲涅尔反射率理论值；
步骤六：通过分布式结果中的键合面的反射率测量值与菲涅尔反射率理论值对比，得到键合面相对损耗值。


2.根据权利要求1所述的一种键合板条键合面相对损耗值的获取方法，其特征在于：步骤一中的白光干涉系统采用光纤迈克尔逊干涉仪结构，并配合光纤探头，光源是宽谱白光光源，光纤探头端面配有自聚焦透镜，且有一层已知反射率和透射率的薄膜，用于标定出待测反射面的反射率；延迟线的高精度扫描可以准确定位待测反射面的光程。


3.根据权利要求1或2所述的一种键合板...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建中，马占宇，柴全，苑勇贵，王钢，王超，
申请(专利权)人：哈尔滨工程大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江;23