下载一种键合板条键合面相对损耗值的获取方法的技术资料

文档序号:25518885

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本发明提供一种键合板条键合面相对损耗值的获取方法,属于激光键合晶体板条的质量检测领域,首先运用已知反射率的标准反射面获取白光干涉装置回损校对值;然后通过干涉仪的延迟线结构,对待测板条中垂直键合面的深度方向扫描测试,获取各个反射面的分布式干涉...
该专利属于哈尔滨工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工程大学授权不得商用。

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