改进的波长检测器制造技术

提供一种辐射测量装置，用于确定来自辐射源的辐射的波长相关的特性。所述辐射测量装置包括波长相关的光学元件（例如带通滤光器），以及光学功率测量检测器（例如光检测器）。至少一个光束入射到沿着所述装置的光路设置的偏振敏感的反射与／或透射表面上，被所述波长相关的光学元件透射，并被沿着所述光路的光学功率测量检测器接收。所述辐射测量装置还包括沿着所述光路在所述光学功率测量检测器之前设置的线性偏振器。在操作时，所述线性偏振器确保由所述偏振敏感的反射与／或透射表面接收的光束具有基本上固定的偏振状态，而和原始的入射光束的偏振状态无关，借以减少或消除在所述辐射测量装置中的不受控制的偏振相关误差。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种检测设备，尤其涉及用于测量和辐射源的波长与/或频率相关的值的方法和系统。
技术介绍
某些测量应用要求在相对小的波长范围内以非常高的分辨率测量辐射源的波长或频率或相关的改变。其中的例子包括高分辨率的干涉测量型的编码器，各种非接触的表面光度仪传感器，在电信工业中的应用以及光谱学和一般的实验室应用。此外，对于许多应用，测量必须在小的空间内并且以低的成本进行。具有几种通常使用的波长测量的方法，包括光谱仪、干涉仪，以及通过光纤的传输。图1A表示使用光学带通滤光器测量波长改变的一种简单的已知的测量系统10。测量系统10包括输入的入射束12，带通滤光器14，过滤束16，和功率检测器18。输入的入射束12由滤光器14过滤，从而产生过滤束16。在这种应用中，并不一定需要带通滤光器14，因为可以使用具有不可忽略的波长传输相关性(即其中辐射的行为按照其波长而不同)的任何光学元件。过滤束16的功率由功率检测器18检测。图1B表示带通滤光器14的传输频谱。滤光器14由中心波长λ0以及其半最大值全带宽(FWHM)Δλ，在滤光器曲线20上示出了波长为X1传输级为Y1的点P。可以看出，点P位于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种辐射测量装置，用于确定来自辐射源的辐射的波长相关的特性，所述辐射测量装置包括：沿着第一光路设置的第一波长相关的光学元件；沿着所述第一光路设置的在所述波长相关的光学元件后面的用于接收沿着所述第一光路传输的辐射的第一光学功率 测量检测器；以及沿着所述第一光路设置的在所述第一光学功率测量检测器之前的第一线性偏振器，其中：沿着所述第一光路传输的辐射在被所述第一光学功率测量检测器接收之前入射到至少一个沿着所述第一光路设置的偏振敏感的表面上，以及 所述第一线性偏振器被这样设置，使得由所述第一光学功率测量检测器接收的辐射已经由所...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：马克费尔德曼，
申请(专利权)人：株式会社米姿托约，
类型：发明
国别省市：JP[日本]