用于超高温气体射流径向动态电子温度表征的电子探针制造技术

本发明专利技术涉及用于超高温气体射流径向动态电子温度表征的电子探针，包括电子探头与玻璃套管烧结在一起，电子探头一端与玻璃套管截面齐平，另一端露出玻璃套管连接导线，由此构成一根圆柱探头；将电子探头排成一行置于冷却水套中，由高温胶将其两端口固结为一体，在冷却水套１４的内设置一冷却水的进和出水管路，高温胶固接点下方的玻璃管包敷电子探头直接浸泡在冷却水腔中，耐水胶１８密封以及固接冷却水套与玻璃套管１１的出口，水冷套１４及探针整体呈楔形。该电子探针可用于温度高达１８０００Ｋ的超高温气体中，由于直线排列多个探头，同时工作可在单点测量的短时间内得到多点的数据，楔形角设计减少探针在测量时对高温高速气体流场的扰动。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于超高温流动气体射流的径向电子温度动态不对称性及其变化规律的定性表征的电子探针设计，特别是涉及一种用于超高温流动气体射流的径向电子温度动态不对称性及其变化规律的定性表征的多测点楔形电子探针设计。
技术介绍
冷等离子体在功能薄膜制造和刻蚀技术等相关的各个领域有广泛的应用，在低气压非平衡冷等离子体条件下，气体温度一般不高于数百度，而其中的电子温度则可能超过数万度，正是电子的能量及其分布与变化对工艺过程和结果起着决定性的作用，静电探针是用于测量这种条件下等离子体中电子温度的一种简单而实用的方法。这种条件下的等离子体气体温度不高，空间变化梯度小，静电探针的结构因此很简单。此外，热等离子体气体温度一般在3000-20000K，广泛应用于喷涂工艺，在零部件表面制备耐磨损、抗腐蚀或隔热涂层，应用于航空航天、机械加工、冶金、化工以及生物工程等领域，这种等离子体不仅温度极高，气流速度一般超过每秒数百米，并且温度和速度的变化梯度也极大，同时存在着各种导致等离子体流场和温度随时间不规律和非均匀变化的复杂因素，常规的测温方法在这种情况下无法使用，而这里的温度及其分布的不稳定性是导致喷本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于超高温气体射流径向动态电子温度表征的电子探针，包括电子探头（１２），玻璃套管（１１），探针水冷套（１４）；其特征在于：电子探头（１２）外套一根玻璃套管（１１），电子探头（１２）的外壁与玻璃套管（１１）内壁烧结在一起，电子探头（１２）的一端与玻璃套管（１１）截面齐平，另一端露出玻璃套管（１１）连接导线，由此构成一根圆柱探头；再将制好的一根圆柱探头置于冷却水套（１４）中，由高温胶将其两端口固结为一体，冷却水套（１４）与圆柱探头整体设计为楔形角；在冷却水套１４的下端设一开口１７，该开口１７内设置一冷却水的进水管１６；进水管１６的高度与圆柱探头同高，其直径小于开口１７；高温胶固接点下方的玻璃管...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：潘文霞，孟显，李腾，吴承康，
申请(专利权)人：中国科学院力学研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]