【技术实现步骤摘要】
一种节能型晶圆甩干机
本技术属于甩干机
，具体涉及一种节能型晶圆甩干机。
技术介绍
由于传统的甩干机主要是采用高温加热烘干，但是有些芯片不耐高温，这会损坏芯片结构，造成损失，因此我们提出一种节能型晶圆甩干机来解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种节能型晶圆甩干机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种节能型晶圆甩干机，包括箱体，所述箱体的底部四拐角处均固定设置减震底座，所述箱体的内侧下方固定设置隔板，所述隔板的中部转动设置转动轴，所述转动轴的顶端固定连接旋转盘，所述旋转盘的上方穿插设置过滤筒，所述过滤筒的中部外表面均匀且等间隙设置四组定位块，所述定位块的另一端且远离过滤筒一侧固定连接有限位杆，所述限位杆的另一端贯穿并延伸至矩形块内，所述矩形块的底端固定连接竖杆，所述竖杆的底端固定安装于旋转盘上方，所述转动轴的底端贯穿并延伸至隔板的正下方与箱体底端的轴承座转动连接，所述转动轴的外侧固定设置从动锥形齿轮，所述从动锥形齿轮上啮合连接有主动锥形齿轮，...
【技术保护点】
1.一种节能型晶圆甩干机，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）的底部四拐角处均固定设置减震底座（22），所述箱体（1）的内侧下方固定设置隔板（23），所述隔板（23）的中部转动设置转动轴（2），所述转动轴（2）的顶端固定连接旋转盘（3），所述旋转盘（3）的上方穿插设置过滤筒（4），所述过滤筒（4）的中部外表面均匀且等间隙设置四组定位块（5），所述定位块（5）的另一端且远离过滤筒（4）一侧固定连接有限位杆（7），所述限位杆（7）的另一端贯穿并延伸至矩形块（8）内，所述矩形块（8）的底端固定连接竖杆（12），所述竖杆（12）的底端固定安装于旋转盘（3）上方，所述转动轴（2...
【技术特征摘要】
1.一种节能型晶圆甩干机，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）的底部四拐角处均固定设置减震底座（22），所述箱体（1）的内侧下方固定设置隔板（23），所述隔板（23）的中部转动设置转动轴（2），所述转动轴（2）的顶端固定连接旋转盘（3），所述旋转盘（3）的上方穿插设置过滤筒（4），所述过滤筒（4）的中部外表面均匀且等间隙设置四组定位块（5），所述定位块（5）的另一端且远离过滤筒（4）一侧固定连接有限位杆（7），所述限位杆（7）的另一端贯穿并延伸至矩形块（8）内，所述矩形块（8）的底端固定连接竖杆（12），所述竖杆（12）的底端固定安装于旋转盘（3）上方，所述转动轴（2）的底端贯穿并延伸至隔板（23）的正下方与箱体（1）底端的轴承座转动连接，所述转动轴（2）的外侧固定设置从动锥形齿轮（13），所述从动锥形齿轮（13）上啮合连接有主动锥形齿轮（14），所述主动锥形齿轮（14）的另一端固定连接主动轴（15），所述主动轴（15）的另一端贯穿并延伸至箱体（1）的右侧固定安装有转动把手（16），所述隔板（23）的左右两端通过出水口贯通设置L型弯形排水管（19），所述L型弯形排水管（19）的另一端贯穿并延伸至箱体（1）外，所述箱体（1）的顶部设置顶盖（...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵圣，
申请(专利权)人：无锡凡华半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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