一种甩干机主轴密封装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种甩干机主轴密封装置，包括主轴本体，所述主轴本体的外侧套有轴套，所述轴套的一端设置有法兰盘，所述法兰盘的外侧设置有限位槽，所述法兰盘上开有固定孔，所述轴套的内侧设置有轴承嵌槽，所述轴承嵌槽内嵌有轴承，所述轴承的内圈与主轴本体之间通过套筒a连接固定，所述法兰盘上的限位槽内嵌有金属密封环，所述金属密封环的一侧开有注油孔，所述金属密封环的内侧设置有一圈环形油室，所述环形油室与注油孔的内端连通，所述法兰盘的固定孔上通过固定螺栓固定连接有套筒b，该实用新型专利技术，也保证甩干过程中，外部气体不易进来，保证了甩干过程中的气体质量。

【技术实现步骤摘要】
一种甩干机主轴密封装置
本技术涉及主轴密封
，具体为一种甩干机主轴密封装置。
技术介绍
湿法清洗工艺是晶圆较为常用的清洗工艺，该清洗工艺完成后需要对晶圆进行干燥，晶圆甩干机用于将潮湿的晶圆通过旋转及干燥使晶圆表面干燥。为了提高干燥洁净效果，业内采用往密封的甩干机筒体内通入洁净氮气，使设备具有强制干燥功能，晶圆在甩干的同时，附加氮气干燥作用，彻底去除晶圆表面的尘粒，让晶圆表面干燥。因此，甩干机筒体的密封性显得尤为重要，直接影响到晶圆的干燥效果和最终的产品质量。目前，现有的晶圆甩干机的传动轴密封普遍存在密封效果差和转轴本身旋转密封体会产生容粉末碎屑的缺点，导致甩干后的晶圆表面异物率高，产品不良率较高，因此，专利技术一种甩干机主轴密封装置来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种甩干机主轴密封装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种甩干机主轴密封装置，包括主轴本体，所述主轴本体的外侧套有轴套，所述轴套的一端设置有法兰盘，设置的法兰盘方便连接固定密封结本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种甩干机主轴密封装置，包括主轴本体（1），其特征在于：所述主轴本体（1）的外侧套有轴套（15），所述轴套（15）的一端设置有法兰盘（2），所述法兰盘（2）的外侧设置有限位槽（3），所述法兰盘（2）上开有固定孔（4），所述轴套（15）的内侧设置有轴承嵌槽（9），所述轴承嵌槽（9）内嵌有轴承（10），所述轴承（10）的内圈与主轴本体（1）之间通过套筒a（7）连接固定，所述法兰盘（2）上的限位槽（3）内嵌有金属密封环（8），所述金属密封环（8）的一侧开有注油孔（12），所述金属密封环（8）的内侧设置有一圈环形油室（13），所述环形油室（13）与注油孔（12）的内端连通，所述法兰盘（2）的固定孔...

【技术特征摘要】
1.一种甩干机主轴密封装置，包括主轴本体（1），其特征在于：所述主轴本体（1）的外侧套有轴套（15），所述轴套（15）的一端设置有法兰盘（2），所述法兰盘（2）的外侧设置有限位槽（3），所述法兰盘（2）上开有固定孔（4），所述轴套（15）的内侧设置有轴承嵌槽（9），所述轴承嵌槽（9）内嵌有轴承（10），所述轴承（10）的内圈与主轴本体（1）之间通过套筒a（7）连接固定，所述法兰盘（2）上的限位槽（3）内嵌有金属密封环（8），所述金属密封环（8）的一侧开有注油孔（12），所述金属密封环（8）的内侧设置有一圈环形油室（13），所述环形油室（13）与注油孔（12）的内端连通，所述法兰盘（2）的固定孔（4）上通过固定螺栓（5）固定连接有套筒b（16）。
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【专利技术属性】
技术研发人员：邵圣，
申请(专利权)人：无锡凡华半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32