一种石英制品检测夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石英制品检测夹具，包括底座，所述的底座上固定设置有固定架和由PVC材料制成的固定钳，所述的固定架和所述的固定钳之间活动设置有由PVC材料制成的活动钳，所述的固定钳和所述的活动钳之间形成夹持空间，所述的固定架上设置有螺孔和与所述的螺孔螺纹配合的丝杆，所述的丝杆的一端固定设置有手柄，所述的丝杆的另一端与所述的活动钳连接；优点是能够确保石英制品的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种石英制品检测夹具
本技术属于机械制造
，尤其是涉及一种石英制品检测夹具。
技术介绍
半导体芯片刻蚀工艺需要使用高纯石英制品，在刻蚀工艺过程中，石英制品表面的粗糙度会影响刻蚀制程，因此在刻蚀前需要检测石英制品表面的粗糙度是否达标。在对石英制品的表面进行检测前，需先将石英制品夹持固定，而市面上通用的夹具为平口钳，平口钳的使用方法为用扳手转动丝杠，通过丝杠螺母带动活动钳身移动，活动钳和固定钳配合形成对工件的夹紧与松开。但是石英制品属于易碎品，而平口钳通常由硬质金属材料制成，硬质金属材料的莫氏硬度与石英制品的莫氏硬度较为接近，若使用平口钳直接夹持石英制品极易造成石英制品破损，且可能造成石英制品划伤或裂纹，导致报废，故无法确保石英制品的安全性。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种石英制品检测夹具，能够确保石英制品的安全性。本技术解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种石英制品检测夹具，包括底座，所述的底座上固定设置有固定架和由PVC材料制成的固定钳，所述的固定架和所述的固定钳之间活动设置有由PVC材料制成的活动钳，所述的固定钳和所述的活动钳之间形成夹持空间，所述的固定架上设置有螺孔和与所述的螺孔螺纹配合的丝杆，所述的丝杆的一端固定设置有手柄，所述的丝杆的另一端与所述的活动钳连接。所述的固定钳上开设有与所述的夹持空间连通的通槽，所述的活动钳的侧壁上开设有与所述的通槽对应的凹槽。通常环形类的石英制品需要检测其内环面上的四个点位的粗糙度，四个点位分别为0°、90°、180°、270°，如果石英制品宽度很小，需要将石英制品上提，然后通过调整活动钳将石英制品夹紧，露出石英制品内环面，只有这样才能一次性检测内环面上四个点位的粗糙度，但是这样操作将减小石英制品与活动钳、固定钳之间的接触面积，石英制品容易发生破损。开设通槽后表面粗糙度检测仪的检测探头可通过通槽伸入夹持空间内，检测探头可直接对环形类的石英制品位于夹持空间内的内环面进行检测，无需通过上提和夹紧石英制品进行检测，有利于提高检测效率，以及保证石英制品与活动钳、固定钳充分接触，石英制品不易发生破损；同时通过在活动钳上开设与通槽对应的凹槽，凹槽与表面粗糙度检测仪的检测探头相适配，避免表面粗糙度检测仪的检测探头在检测时与活动钳的侧壁发生碰撞，安全性较好。所述的丝杆、所述的凹槽和所述的通槽位于同一直线上。该结构中，当丝杆推动活动钳与石英制品相抵接时，由于丝杆的推力是直接作用在活动钳上，然后通过活动钳将该压力传递到石英制品上，故石英制品位于丝杆直线上的位置受到的压力相对于其他位置受到的压力较大，凹槽的开设能够将位于丝杆直线上的压力分散开来，进一步降低石英制品被刮伤的风险，有利于提高石英制品的安全性。所述的底座的上端面向下凹陷形成V形槽，所述的活动钳的下端面向下凸起形成V形块，所述的V形块与所述的V形槽相配合。该结构中，V形槽起导向作用，便于快速将石英制品的底部放入夹持空间，有利于提高检测效率。所述的底座上开设有滑槽，所述的活动钳上设置有滑块，所述的滑块与所述的滑槽滑动配合。该结构中，滑块与滑槽配合限制活动钳的滑动方向，稳定性较好。与现有技术相比，本技术的优点在于夹持时先将石英制品的底部放入夹持空间，旋转丝杆使活动钳靠近固定钳，最终使活动钳和固定钳分别抵接在石英制品相对的两个侧壁上即可，由于PVC材料的莫氏硬度在2.5左右，而石英制品的莫氏硬度在5.5-6.5之间，硬度差值较大，在夹持时能够有效避免石英制品破损，以及降低活动钳或固定钳刮伤石英制品的风险，确保石英制品的安全性。附图说明图1为本技术的结构示意图。图中：1、底座；11、V形槽；12、滑槽；2、固定架；21、螺孔；3、固定钳；31、通槽；4、活动钳；41、凹槽；42、V形块；43、滑块；5、丝杆；6、手柄。具体实施方式以下结合附图实施例对本技术作进一步详细描述。实施例一：如图所示，一种石英制品检测夹具，包括底座1，底座1上固定设置有固定架2和由PVC材料制成的固定钳3，固定架2和固定钳3之间活动设置有由PVC材料制成的活动钳4，固定钳3和活动钳4之间形成夹持空间，固定架2上设置有螺孔21和与螺孔21螺纹配合的丝杆5，丝杆5的一端固定设置有手柄6，丝杆5的另一端与活动钳4连接。本实施例中，底座1和固定架2由PVC材料制成。实施例二：其余部分与实施例一相同，其不同之处在于固定钳3上开设有与夹持空间连通的通槽31，活动钳4的侧壁上开设有与通槽31对应的凹槽41。本实施例中，丝杆5、凹槽41和通槽31位于同一直线上，丝杆5位于固定架2的中心位置。实施例三：其余部分与实施例一相同，其不同之处在于底座1的上端面向下凹陷形成V形槽11，活动钳4的下端面向下凸起形成V形块42，V形块42与V形槽11相配合。本实施例中，底座1上开设有滑槽12，活动钳4上设置有滑块43，滑块43与滑槽12滑动配合。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英制品检测夹具，包括底座，其特征在于所述的底座上固定设置有固定架和由PVC材料制成的固定钳，所述的固定架和所述的固定钳之间活动设置有由PVC材料制成的活动钳，所述的固定钳和所述的活动钳之间形成夹持空间，所述的固定架上设置有螺孔和与所述的螺孔螺纹配合的丝杆，所述的丝杆的一端固定设置有手柄，所述的丝杆的另一端与所述的活动钳连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种石英制品检测夹具，包括底座，其特征在于所述的底座上固定设置有固定架和由PVC材料制成的固定钳，所述的固定架和所述的固定钳之间活动设置有由PVC材料制成的活动钳，所述的固定钳和所述的活动钳之间形成夹持空间，所述的固定架上设置有螺孔和与所述的螺孔螺纹配合的丝杆，所述的丝杆的一端固定设置有手柄，所述的丝杆的另一端与所述的活动钳连接。


2.根据权利要求1所述的一种石英制品检测夹具，其特征在于所述的固定钳上开设有与所述的夹持空间连通的通槽，所述的活动钳的侧壁上开设有与所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯剑秋，吴强，
申请(专利权)人：宁波云德半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33