一种用于高真空镀膜机的冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于高真空镀膜机的冷却装置，涉及镀膜机冷却技术领域，包括风冷式热交换器、水箱、水泵和输水管道，所述水箱的第一出口通过输水管道与风冷式热交换器入口连接，所述风冷式热交换器出口通过输水管道与所述水箱的第一入口连接；所述水箱的第二出口通过输水管道与所述水泵入口连接，所述水泵出口通过输水管道与高真空镀膜机冷却系统入口连接，高真空镀膜机冷却系统出口通过输水管道与所述水箱第二入口连接；本实用新型专利技术通过引入风冷式热交换器，大幅降低了高真空镀膜机冷却装置的能耗，节约能源。

【技术实现步骤摘要】
一种用于高真空镀膜机的冷却装置
本技术涉及镀膜机冷却
，特别涉及一种用于高真空镀膜机的冷却装置。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等很多种。高真空镀膜机还可用于光学薄膜的生产，真空镀膜机运行中冷却水是必不可少的，高真空泵(尤其是扩散泵)、真空室、电子枪等部件均需要用冷却水来冷却。现有技术中，真空镀膜机的冷却系统存在较高的能耗，造成了极大的能源浪费。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种用于高真空镀膜机的冷却装置，在提升冷却效率的同时，节约能源，降低镀膜机的运行成本。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案如下：本技术提供一种用于高真空镀膜机的冷却装置，包括风冷式热交换器、水箱、水泵和输水管道，所述水箱的第一出口通过输水管道与风冷式热交换器入口连接，所述风冷式热交换器出口通过输水管道与所述水箱的第一入口连接；所述水箱的第二出口通过输水管道与所述水泵入口连接，所述水泵出口通过输水管道与高真空镀膜机冷却系统入口连接，高真空镀膜机冷却系统出口通过输水管道与所述水箱第二入口连接。上述方案的进一步地方案为，所述水箱为保温水箱。上述方案的进一步地方案为，所述水箱为双层不锈钢保温水箱。上述方案的进一步地方案为，所述风冷式热交换器的功率为10匹。上述方案的进一步地方案为，所述水泵为高压水泵，所述高压水泵的功率为1.5KW。上述方案的进一步地方案为，所述水泵数量为2台。与现有技术相比，本技术提供的技术方案具有如下优点和有益效果：本技术提供一种用于高真空镀膜机的冷却装置，包括风冷式热交换器、水箱、水泵和输水管道，所述水箱的第一出口通过输水管道与风冷式热交换器入口连接，所述风冷式热交换器出口通过输水管道与所述水箱的第一入口连接；所述水箱的第二出口通过输水管道与所述水泵入口连接，所述水泵出口通过输水管道与高真空镀膜机冷却系统入口连接，高真空镀膜机冷却系统出口通过输水管道与所述水箱第二入口连接；本技术通过引入风冷式热交换器，大幅降低了高真空镀膜机冷却装置的能耗，节约能源。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为实施例中用于高真空镀膜机的冷却装置的结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“水平”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系均为基于附图所示的方位或位置关系，仅仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“安装”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。实施例如图1所示，本实施例提供一种用于高真空镀膜机的冷却装置，包括风冷式热交换器、水箱、水泵和输水管道，所述水箱的第一出口通过输水管道与风冷式热交换器入口连接，所述风冷式热交换器出口通过输水管道与所述水箱的第一入口连接；所述水箱的第二出口通过输水管道与所述水泵入口连接，所述水泵出口通过输水管道与高真空镀膜机冷却系统入口连接，高真空镀膜机冷却系统出口通过输水管道与所述水箱第二入口连接。本实施例中，所述水箱为保温水箱。本实施例中，所述水箱为双层不锈钢保温水箱。本实施例中，所述风冷式热交换器的功率为10匹。本实施例中，所述水泵为高压水泵，所述高压水泵的功率为1.5KW。本实施例中，所述水泵数量为2台。本实施例中，高真空镀膜机包括2台，一台功率为60KW，另一台功率为40KW，具体连接关系如图1所示，具体为：60KW镀膜机冷却装置：双层不锈钢保温箱的第一出口通过输水管道与10匹风冷式冷水机组的入口连接，风冷式冷水机组的出口通过输水管道与双层不锈钢保温箱的第一入口连接；双层不锈钢保温箱的第二出口通过输水管道与1.5KW水泵的入口连接，1.5KW水泵的出口通过输水管道与60KW镀膜机冷却系统的入口连接，60KW镀膜机冷却系统出口通过输送管道与双层不锈钢保温箱的第二入口连接。40KW镀膜机冷却装置：双层不锈钢保温箱的第一出口通过输水管道与10匹风冷式冷水机组的入口连接，风冷式冷水机组的出口通过输水管道与双层不锈钢保温箱的第一入口连接；双层不锈钢保温箱的第三出口通过输水管道与1.5KW水泵的入口连接，1.5KW水泵的出口通过输水管道与40KW镀膜机冷却系统的入口连接，40KW镀膜机冷却系统出口通过输送管道与双层不锈钢保温箱的第三入口连接。本实施例提供高真空镀膜机的冷却装置具有如下优点：原来2台高真空镀膜机(60KW+40KW)需要2台水冷式冷水机系统，现在采用1台改进后的风冷式冷水机系统来共2台高真空镀膜机，同时将水箱更换为双层不锈钢保温水箱，冷却效果能够满足设备要求。上述改进后高真空镀膜机冷却装置，与原来的冷却装置相比，1小时可节省电7.35度，以高真空镀膜机平均每天运行10小时计，每天可节电73.5度。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于高真空镀膜机的冷却装置，其特征在于，包括风冷式热交换器、水箱、水泵和输水管道，所述水箱的第一出口通过输水管道与风冷式热交换器入口连接，所述风冷式热交换器出口通过输水管道与所述水箱的第一入口连接；所述水箱的第二出口通过输水管道与所述水泵入口连接，所述水泵出口通过输水管道与高真空镀膜机冷却系统入口连接，高真空镀膜机冷却系统出口通过输水管道与所述水箱第二入口连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于高真空镀膜机的冷却装置，其特征在于，包括风冷式热交换器、水箱、水泵和输水管道，所述水箱的第一出口通过输水管道与风冷式热交换器入口连接，所述风冷式热交换器出口通过输水管道与所述水箱的第一入口连接；所述水箱的第二出口通过输水管道与所述水泵入口连接，所述水泵出口通过输水管道与高真空镀膜机冷却系统入口连接，高真空镀膜机冷却系统出口通过输水管道与所述水箱第二入口连接。


2.根据权利要求1所述的用于高真空镀膜机的冷却装置，其特征在于，所述水箱为保温水箱。

【专利技术属性】
技术研发人员：颜见锋，
申请(专利权)人：苏州市唯嘉光学有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32