【技术实现步骤摘要】
具有弧形反射面的MEMS反射器及其制备方法(一)
本专利技术涉及的是具有弧形反射面的MEMS反射器及其制备方法，可用于光开关，光交换器等方面，属于光通信、无源光器件、光纤传感技术及微机电系统
(二)
技术介绍
微机电系统(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem)，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，其尺寸在几毫米甚至纳米量级。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS侧重于超精密机械加工，涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。随着网络的迅速发展，普通单模光纤已经不能满足快速增长的传输容量和速率的要求，而基于空分复用结构的多芯光纤可以有效解决传输容量的问题，因此得到了广泛关注。光学器件在光纤通信、光学集成以及光纤传感领域应用广泛，虽然多芯光纤作为传输介质已经获得了行业内的深入研究，但其在...
【技术保护点】
1.一种具有弧形反射面的MEMS反射器，其特征是：所述的具有弧形反射面的MEMS反射器由反射器衬底、第一扭臂、第二扭臂、反射器驱动电极、反射器驱动机构、弧形反射面组成；弧形反射面通过第一扭臂与第二扭臂相接，第二扭臂再与反射器衬底相接，在相接处安装有反射器驱动机构；反射器驱动机构通过布置在衬底以及第二扭上的反射器驱动电极获得驱动电压控制第二扭臂和第一扭臂转动，从而驱动弧形反射面转动。/n
【技术特征摘要】
1.一种具有弧形反射面的MEMS反射器，其特征是：所述的具有弧形反射面的MEMS反射器由反射器衬底、第一扭臂、第二扭臂、反射器驱动电极、反射器驱动机构、弧形反射面组成；弧形反射面通过第一扭臂与第二扭臂相接，第二扭臂再与反射器衬底相接，在相接处安装有反射器驱动机构；反射器驱动机构通过布置在衬底以及第二扭上的反射器驱动电极获得驱动电压控制第二扭臂和第一扭臂转动，从而驱动弧形反射面转动。
2.根据权利要求1所述具有弧形反射面的MEMS反射器，其特征是：所述弧形反射面可以是有焦点的凹面。
3.根据权利要求1所述具有弧形反射面的MEMS反射器，其特征是：所述第一扭臂与第二扭臂的转轴互相垂直且能在一定角度内转动。
4.根据权利要求1或权利要求3所述具有弧形反射面的MEMS反射器，其特征是：所述弧形反射面可以沿两个互相垂直的转轴在一定角度内转动。
5.根据权利要求1所述具有弧形反射面的MEMS反射器，其特征是：所述具有弧形反射面的MEMS反射器可以在MEMS基座上单独安装，也可以是组成阵列安装。
6.根据权利要求1或权利要求5所述具有弧形反射面的MEMS反...
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