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本发明提供的是具有弧形反射面的MEMS反射器及其制备方法，具有弧形反射面的MEMS反射器由反射器衬底、第一扭臂、第二扭臂、反射器驱动电极、反射器驱动机构、弧形反射面组成；该弧形反射面是利用飞秒激光加工制成。弧形反射面通过第一扭臂与第二扭臂相...
该专利属于桂林电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过桂林电子科技大学授权不得商用。

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