微机电系统微镜及其制作方法技术方案

公开了一种微机电系统微镜及其制作方法，该微镜包括：驱动器，驱动器包括驱动部和由驱动部支撑的结构平台，驱动部带动结构平台移动或转动；镜面结构，位于结构平台远离驱动部的一侧，且镜面结构远离结构平台的一侧至少具有一个可反射镜面；定位结构，包括至少一个凸起部和至少一个凹陷部，凸起部和凹陷部中的任意一者位于结构平台上，另一者位于镜面结构上，且凸起部与凹陷部相匹配，其中，结构平台在驱动部的带动下向靠近镜面结构的方向运动，由定位结构将结构平台和镜面结构相互连接匹配，形成微机电系统微镜。通过驱动部来使结构平台朝向镜面结构运动，又有定位部使二者相匹配，提高了微镜的表面质量，且无需人工参与，保护了微镜结构。

【技术实现步骤摘要】
微机电系统微镜及其制作方法
本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种微机电系统微镜及其制作方法。
技术介绍
MEMS(MicroelectroMechanicalSystems，微型电子机械系统)器件借助于成熟的半导体生产技术，使用硅等材料作为载体，促进了各式各样的新型微型化传感器与驱动器的蓬勃发展。MEMS微镜就是其中的一种应用，MEMS微镜是基于MEMS驱动器实现的一种能转动或垂直运动的微型镜面，通常运用于通讯、微型光电器件、显示等多个领域。而MEMS驱动器是一种能通过加电或磁力驱动等驱动方式实现转动或上下运动的机械电子结构，通常包括驱动部和与驱动部连接的结构平台。目前，MEMS微镜多是以“结构平台”充当镜面用，此结构平台因受限于MEMS的加工工艺，其尺寸、曲率半径和粗糙度都达不到高表面质量镜面的设计需求，和传统的“镜子”有较大的差距。因此，希望进一步改进MEMS微镜的结构，以提高MEMS微镜的镜面质量。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种微机电系统微镜及其制作方法，通过驱动器的驱本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微机电系统微镜，包括：/n驱动器，所述驱动器包括驱动部和由所述驱动部支撑的结构平台，所述驱动部带动所述结构平台移动或转动；/n镜面结构，位于所述结构平台远离所述驱动部的一侧，且所述镜面结构远离所述结构平台的一侧至少具有一个可反射镜面；/n定位结构，所述定位结构包括至少一个凸起部和至少一个凹陷部，所述凸起部和所述凹陷部中的任意一者位于所述结构平台上，另一者位于所述镜面结构上，且所述凸起部与所述凹陷部相匹配，/n其中，所述结构平台在所述驱动部的带动下向靠近所述镜面结构的方向运动，由定位结构将所述结构平台和所述镜面结构相互连接匹配，形成所述微机电系统微镜。/n

【技术特征摘要】
1.一种微机电系统微镜，包括：
驱动器，所述驱动器包括驱动部和由所述驱动部支撑的结构平台，所述驱动部带动所述结构平台移动或转动；
镜面结构，位于所述结构平台远离所述驱动部的一侧，且所述镜面结构远离所述结构平台的一侧至少具有一个可反射镜面；
定位结构，所述定位结构包括至少一个凸起部和至少一个凹陷部，所述凸起部和所述凹陷部中的任意一者位于所述结构平台上，另一者位于所述镜面结构上，且所述凸起部与所述凹陷部相匹配，
其中，所述结构平台在所述驱动部的带动下向靠近所述镜面结构的方向运动，由定位结构将所述结构平台和所述镜面结构相互连接匹配，形成所述微机电系统微镜。


2.根据权利要求1所述的微机电系统微镜，其中，所述凸起部包括圆锥形结构、圆柱形结构、棱锥形结构或棱柱形结构，所述凹陷部包括通孔、盲孔或凹槽，所述凹陷部的形状与所述凸起部的形状相互匹配。


3.根据权利要求2所述的微机电系统微镜，其中，所述凹陷部为盲孔或凹槽，所述凸起部的高度大于预定高度，所述凹陷部与所述凸起部相匹配使得所述结构平台与所述镜面结构之间形成空隙。


4.根据权利要求1所述的微机电系统微镜，其中，
所述驱动部包括悬臂梁，驱动臂或弹簧结构；
所述镜面结构包括棱柱、圆柱或圆台。


5.根据权利要求1所述的微机电系统微镜，其中，还包括：连接部，位于所述结构平台和所述镜面结构之间，用于连接所述结构平台和所述镜面结构，所述连接部包括胶层或卡合结构。


6.根据权利要求5所述的微机电系统微镜，其中，所述胶层通过点胶工艺或旋涂工艺粘附于所述镜面结构朝向所述结构平台的表面上。


7.根据权利要求1所述的微机电系统微镜，其中，所述驱动部经电磁驱动、静电驱动、电热驱动和压电驱动中的任意一种产生形变或发生位移，从而带动所述结构平台运动。

【专利技术属性】
技术研发人员：薛原，谢会开，王鹏，
申请(专利权)人：无锡微奥科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32