一种制备高纯钌的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种制备高纯钌的装置，包括烘干筒和热风机，所述烘干筒的上端侧壁固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴密封贯穿烘干筒的上端侧壁并固定连接有支架，所述支架的两端均固定连接有竖直的竖杆，所述竖杆的下端侧壁与烘干筒的内壁滑动连接，两个所述竖杆的侧壁之间卡接连接有多个收纳槽，所述热风机的出风口密封连接有导流管，所述导流管密封贯穿烘干筒的侧壁并密封连接有分流管，所述分流管的侧壁与烘干筒的内壁卡接连接，所述分流管远离导流管的侧壁密封连接有多个风嘴，多个所述风嘴分别位于多个收纳槽的上方。本实用新型专利技术能够快速高效地对物料进行烘干，而且取放十分方便，不会有物料泄露造成浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种制备高纯钌的装置
本技术涉及制备高纯钌
，尤其涉及一种制备高纯钌的装置。
技术介绍
在半导体超大规模集成电路生产中用于溅射靶材的高纯钌，要求其纯度至少在4N5(99.995％)以上，同时要求材料中碱金属、过渡金属元素、放射性元素、气体元素等杂质含量非常低。具体要求高纯钌溅射靶材中，排除气态成分，纯钌纯度至少在99.995％以上。现阶段制备高纯度钌多采用湿法加火法工艺，而得到高纯度的钌盐酸溶液是制备高纯钌的一个先决条件。现有技术中，在制备高纯钌时，烘干是非常重要的一步，而在烘干过程中，由于物料堆积在一起，导致烘干的效果较差，而且烘干后取出物料时会有物料掉落到烘干筒中，造成浪费，为此，我们提出一种制备高纯钌的装置来解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中由于物料堆积在一起，导致烘干的效果较差，而且烘干后取出物料时会有物料掉落到烘干筒中，造成浪费的问题，而提出的一种制备高纯钌的装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种制备高纯钌的装置，包括烘干筒和热风机，所述烘干筒的上端侧壁固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴密封贯穿烘干筒的上端侧壁并固定连接有支架，所述支架的两端均固定连接有竖直的竖杆，所述竖杆的下端侧壁与烘干筒的内壁滑动连接，两个所述竖杆的侧壁之间卡接连接有多个收纳槽，所述热风机的出风口密封连接有导流管，所述导流管密封贯穿烘干筒的侧壁并密封连接有分流管，所述分流管的侧壁与烘干筒的内壁卡接连接，所述分流管远离导流管的侧壁密封连接有多个风嘴，多个所述风嘴分别位于多个收纳槽的上方。优选的，所述烘干筒远离分流管的内壁开设有取放口，所述取放口的侧壁设有密封门。优选的，所述密封门上设有锁紧装置，所述密封门的侧壁开设有观察口，所述观察口中密封连接有透明板。优选的，所述竖杆的下端侧壁固定连接有滑块，所述烘干筒的下端内壁开设有与滑块匹配的环形滑槽。优选的，所述竖杆的侧壁固定连接有挂钩，所述收纳槽的上端侧壁设有与收纳槽匹配的挂环。优选的，所述烘干筒的上端内壁开设有排气口，所述烘干筒的上端侧壁密封连接有与排气口匹配的排气管。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、通过伺服电机带动支架和竖杆转动，而竖杆带动收纳槽转动，收纳槽中的物料也会转动，这样在热风机、导流管和风流管的配合作用下，经过风嘴吹出的热风能够快速对物料进行烘干，快速方便，轻松实用，而且取放物料时只需取出收纳槽即可，不会使物料浪费；2、通过密封门可以挡住取放口，避免在烘干过程中产生的气体或杂质跑出，另外，通过滑块和环形滑槽的配合，能够使竖杆稳定地转动，并对竖杆起到良好的支撑效果，还有，通过挂钩和挂环的配合，能够稳定地支撑住收纳槽，也方便取下。附图说明图1为本技术提出的一种制备高纯钌的装置的结构示意图；图2为图1中A处的结构示意图。图中：1烘干筒、2热风机、3伺服电机、4支架、5竖杆、6收纳槽、7导流管、8分流管、9风嘴、10密封门、11锁紧装置、12透明板、13滑块、14挂钩、15挂环、16排气管。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-2，一种制备高纯钌的装置，包括烘干筒1和热风机2，烘干筒1的上端内壁开设有排气口，烘干筒1的上端侧壁密封连接有与排气口匹配的排气管16，通过排气口和排气管16可以快速稳定地排出在烘干过程中的热风和产生的气体，也能够带走水蒸气，保证烘干的顺利进行，烘干筒1远离分流管8的内壁开设有取放口，取放口的侧壁设有密封门10，通过密封门10的开关，可以轻松地取送物料，十分方便，密封门10上设有锁紧装置11，锁上锁紧装置11，避免受到热风的吹拂而导致打开，密封门10的侧壁开设有观察口，观察口中密封连接有透明板12，通过透明板12可以清楚地看到烘干筒1中的烘干效果；烘干筒1的上端侧壁固定连接有伺服电机3，伺服电机3的输出轴密封贯穿烘干筒1的上端侧壁并固定连接有支架4，支架4的两端均固定连接有竖直的竖杆5，竖杆5的下端侧壁与烘干筒1的内壁滑动连接，竖杆5的下端侧壁固定连接有滑块13，烘干筒1的下端内壁开设有与滑块13匹配的环形滑槽，通过滑块13和环形滑槽的配合，能够使竖杆5稳定地转动，并对竖杆5起到良好的支撑效果，竖杆5的侧壁固定连接有挂钩14，收纳槽6的上端侧壁设有与收纳槽6匹配的挂环15，将挂环15挂到挂钩14上，这样可以稳定地带动收纳槽6转动，而且取下挂上都十分方便，轻松省力，两个竖杆5的侧壁之间卡接连接有多个收纳槽6，热风机2的出风口密封连接有导流管7，导流管7密封贯穿烘干筒1的侧壁并密封连接有分流管8，分流管8的侧壁与烘干筒1的内壁卡接连接，分流管8远离导流管7的侧壁密封连接有多个风嘴9，多个风嘴9分别位于多个收纳槽6的上方。本技术在对高纯钌进行制备的烘干步骤时，将物料放到收纳槽6中，利用伺服电机3带动支架4转动，支架4带动竖杆5转动，竖杆5带动收纳槽6转动，从而使收纳槽6中的物料能够均匀地接受热风烘干，收纳槽6在转动过程中，热风机2吹出的热风经过导流管7进入分流管8中，在分流管8中分流成多股热风，并经过风嘴9吹出，分别吹向多个收纳槽6，从而对多个收纳槽6中的物料进行烘干，快捷方便，而在烘干完成后，只需打开密封门10，将收纳槽6从竖杆5上取下，能够将物料取出，避免物料洒落造成浪费，结构简单，实用性强，不仅烘干的效率高，而且避免浪费。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制备高纯钌的装置，包括烘干筒（1）和热风机（2），其特征在于，所述烘干筒（1）的上端侧壁固定连接有伺服电机（3），所述伺服电机（3）的输出轴密封贯穿烘干筒（1）的上端侧壁并固定连接有支架（4），所述支架（4）的两端均固定连接有竖直的竖杆（5），所述竖杆（5）的下端侧壁与烘干筒（1）的内壁滑动连接，两个所述竖杆（5）的侧壁之间卡接连接有多个收纳槽（6），所述热风机（2）的出风口密封连接有导流管（7），所述导流管（7）密封贯穿烘干筒（1）的侧壁并密封连接有分流管（8），所述分流管（8）的侧壁与烘干筒（1）的内壁卡接连接，所述分流管（8）远离导流管（7）的侧壁密封连接有多个风嘴（9），多个所述风嘴（9）分别位于多个收纳槽（6）的上方。/n

【技术特征摘要】
1.一种制备高纯钌的装置，包括烘干筒（1）和热风机（2），其特征在于，所述烘干筒（1）的上端侧壁固定连接有伺服电机（3），所述伺服电机（3）的输出轴密封贯穿烘干筒（1）的上端侧壁并固定连接有支架（4），所述支架（4）的两端均固定连接有竖直的竖杆（5），所述竖杆（5）的下端侧壁与烘干筒（1）的内壁滑动连接，两个所述竖杆（5）的侧壁之间卡接连接有多个收纳槽（6），所述热风机（2）的出风口密封连接有导流管（7），所述导流管（7）密封贯穿烘干筒（1）的侧壁并密封连接有分流管（8），所述分流管（8）的侧壁与烘干筒（1）的内壁卡接连接，所述分流管（8）远离导流管（7）的侧壁密封连接有多个风嘴（9），多个所述风嘴（9）分别位于多个收纳槽（6）的上方。


2.根据权利要求1所述的一种制备高纯钌的装置，其特征在于，所述烘干筒（1）远离分流管（8）的内壁开设有取放口，所述取放口的侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永超，
申请(专利权)人：河南东微电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41