蒸镀掩模用基材及其制造方法、蒸镀掩模及显示装置的制造方法制造方法及图纸

提供一种能够提高通过蒸镀形成的图案的精度的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法。金属板的长度方向DL上的各位置处的沿着金属板的宽度方向的形状互不相同；各形状具有在金属板的宽度方向DW上反复的波；从波的一个谷连结到另一个谷的宽度方向的直线的长度是波的长度；波的高度相对于波的长度的百分率是单位陡峭度；长度方向DL上的金属板的单位长度是500mm；单位长度的金属板中的单位陡峭度的最大值是第1陡峭度；第1陡峭度是0.5％以下。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模用基材及其制造方法、蒸镀掩模及显示装置的制造方法本申请是申请日为2018年3月22日、申请号为201810238626.4、专利技术名称为《蒸镀掩模用基材及其制造方法、蒸镀掩模及显示装置的制造方法》的分案申请。
本专利技术涉及蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法。
技术介绍
蒸镀掩模具备第1面、第2面和从第1面贯通到第2面的孔。第1面与基板等的对象物对置，第2面位于与第1面相反侧。孔具备位于第1面的第1开口和位于第2面的第2开口。从第2开口进入到孔中的蒸镀物质在对象物形成追随于第1开口的位置及第1开口的形状的图案(例如，参照专利文献1)。专利文献1：日本特开2015－055007号公报蒸镀掩模具备的孔具有从第1开口朝向第2开口扩大的截面积，由此，提高从第2开口进入孔中的蒸镀物质的数量，确保到达第1开口的蒸镀物质的数量。另一方面，从第2开口进入孔中的蒸镀物质的至少一部分没有到达第1开口而是附着到划分孔的壁面上。附着在壁面上的蒸镀物质妨碍其他蒸镀物质对孔的穿过，使图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模用基材，是具有带状的金属板，用于通过蚀刻形成多个孔来制造蒸镀掩模，其中，/n上述金属板具有长度方向和宽度方向，上述金属板的上述长度方向上的各位置处的沿着上述宽度方向的形状互不相同，各形状具有在上述宽度方向上反复的波，各波在其两侧分别具有谷；/n从上述波的一个谷连结到另一个谷的宽度方向的直线的长度是波的长度；/n上述波的高度相对于上述波的长度的百分比是单位陡峭度；/n上述长度方向上的上述金属板的单位长度是500mm；/n上述单位长度的金属板中的上述单位陡峭度的最大值是第1陡峭度；/n上述第1陡峭度是0.5％以下。/n

【技术特征摘要】
20171013 JP 2017-1999211.一种蒸镀掩模用基材，是具有带状的金属板，用于通过蚀刻形成多个孔来制造蒸镀掩模，其中，
上述金属板具有长度方向和宽度方向，上述金属板的上述长度方向上的各位置处的沿着上述宽度方向的形状互不相同，各形状具有在上述宽度方向上反复的波，各波在其两侧分别具有谷；
从上述波的一个谷连结到另一个谷的宽度方向的直线的长度是波的长度；
上述波的高度相对于上述波的长度的百分比是单位陡峭度；
上述长度方向上的上述金属板的单位长度是500mm；
上述单位长度的金属板中的上述单位陡峭度的最大值是第1陡峭度；
上述第1陡峭度是0.5％以下。


2.如权利要求1所述的蒸镀掩模用基材，其中，
在上述长度方向上的各位置，上述宽度方向上所包含的全部波的单位陡峭度中的最大值是第2陡峭度；
上述单位长度的金属板中的上述第2陡峭度的平均值是0.25％以下。


3.如权利要求1所述的蒸镀掩模用基材，其中，
在上述长度方向上的各位置，上述宽度方向上所包含的波的数量是该位置处的波数；
上述单位长度的金属板中的上述波数的最大值是4个以下。


4.如权利要求1～3中任一项所述的蒸镀掩模用基材，其中，
在上述长度方向上的各位置，上述宽度方向上所包含的波的数量是该位置处的波数；
上述单位长度的金属板中的上述波数的平均值是2个以下。


5.一种蒸镀掩模用基材的制造方法，上述蒸镀掩模用基材是具有带状的金属板，用于通过蚀刻形成多个孔来制造蒸镀掩模，其中，
上述制造方法包括将母材轧制而得到上述金属板的工序；
上述金属板具有长度方向和宽度方向，上述金属板的上述长度方向上的各位置处的...

【专利技术属性】
技术研发人员：新纳干大，
申请(专利权)人：凸版印刷株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP